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원형단면의 벽을 가지는 진공실본체(12)와, 이 진공실본체(12)에 의하여 형성되는 진공실(14)과, 플라즈마아크를 발생하기 위하여 상기 진공실(14) 내에 유동가능하게 설치되는 전극(20)과, 이 전극(20)의 중심선 상에 대향하여 회전가능하게 설치되는 모합금 잉고트(30)와, 상기 모합금 잉고트(30)를 회전시키는 고속 회전축(33)과, 상기 진공실본체(12)와 상기 고속 회전축(33) 사이의 회전 기밀성을 유지하기 위한 실링부(60)와, 상기 실링부(60)에 윤활유를 공급함과 동시에 상기 진공실(14) 내에 상기 실링부(60)를 통하여 불활성 가스를 공급하기 위한 오일공급펌프(80)와, 상기 진공실본체(12)의 하부에 설치되어 분말을 수집하는 분말수집부(16)로 구성되는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 진공실(14)과 분말수집부(16)는 플랜지형 분말수집관 (15)을 통하여 상호 연결되어 제조된 분말을 포집하는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 유도가능하게 설치된 전극(20)은, 그 직선운동 거리가 최대 200㎜이고, 좌우 직선운동의 범위는 모합금 잉고트 직경의 반경거리에 해당하는 50∼70㎜인 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 전극(20)의 중심선 상에 대향하여 설치되는 모합금 잉고트(30)는, 척(chuck) 고정방식의 잉고트 홀더(32)에 의하여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 실링부(60)는 윤활유가 흡입되는 오일흡입구(67)와, 전반부 공간인 로터리 실링부(63)와, SiN개스킷(64) 및 흑연개스킷(65)으로 구성된 후미 공간부(floating seat)(68)와, 기밀성을 위한 적어도 5군데의 오링(70)과, 상기 고속 회전축(33)을 축받이하는 대형 베어링(72)을 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 모합금 잉고트(30)의 회전에 필요한 윤활유의 공급은, 상기 실링부(60)에 접속되는 오일공급펌프(80)로부터 공급되는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제6항에 있어서, 상기 오일공급펌프(80)는, 오일을 저장하는 오일저장실(83)과, 상기 진공실(14) 내에 불활성가스를 공급하기 위한 가스주입구(82)와, 상기 오일저장실(83)로부터 오일을 공급하는 오일배기구(85)를 포함하며, 실리콘 계통의 오일을 사용하는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제7항에 있어서, 상기 오일저장실(83)은 오일의 자동공급을 위한 스프링밸브( 84)를 가지며, 압력조절 및 감지를 위한 볼밸브(86) 및 압력게이지(87)가 설치되어 있고, 오일수위를 감지하기 위한 레벨게이지(89)를 포함하는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제8항에 있어서, 상기 오일수위를 감지하기 위한 레벨게이지(89)는, 실런트의 주입/배출을 위한 주입구(90) 및 배출구(92) 및 배출구(92)를 설치하고 있는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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제5항에 있어서, 상기 대형 베어링(72)은 다수 개의 고정핀(74)에 의하여 상기 실링부(60)와 상기 고속 회전축(33) 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조장치
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철(Fe)계, 코발트(Co)계, 니켈(Ni)계 합금 중에서 선택되는 어느 하나의 연자성 합금의 잉고트(30)를 유도 용해로에서 일정형상으로 제작하여 진공실(14) 내부에 연결되어 있는 고속 회전축(33)의 끝에 설치된 잉고트 홀더(32)에 끼우는 단계와, 상기 진공실(14) 내를 10-5∼10-6Torr 진공도까지 진공을 실시하는 단계와, 상기 진공실(14) 내에 아르곤 가스를 역주입하여 진공실(14) 내부의 압력을 0
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제11항에 있어서, 상기 잉고트(30)의 회전속도는 10,000rpm용 회전 구동용 모터에 의하여 제어되는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 잉고트(30)는, 직경 100∼200㎜φ, 길이 200∼600㎜의 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 전극(20)은 다음의 작동범위를 만족하는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 연자성 분말의 평균입도는 50∼200㎛인 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 연자성 분말의 평균입도는 다음 식에 의해 구해지는 것을 특징으로 하는 연자성 분말의 제조방법
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