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LE방법을 이용한 칩사이즈 패키지의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015111408
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자 등의 구성부분을 배치, 접속 보호하기 위한 패키지 제조 방법에 관한 것으로, 특히 LE(Lamination Encapsulation)방법을 이용한 칩사이즈 패키지(Chip Size Package : CSP) 제조방법에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은 라미네이션과 엔 캡슐레이션을 사용하여 신뢰성 및 가격의 저렴화를 도모하고, 대량생산에 따른 시장의 안정성과 메모리 및 비메모리용으로 공통 사용 가능케 하며, 패키지 크기가 반도체 칩 크기의 1.2배 이하로 하면서도 전기적 성능면에서 고전기적 성능을 가지게 하도록 함을 목적으로 한다.이를 위하여 본 발명은 최종 공정된 웨이퍼(Wafer)를 다이아몬드 톱(Saw)으로 약 4 - 6개 다이를 갖는 스트립(Strip)으로 절단하는 단계와, 절단된 웨이퍼 스트립을 라미네이션(Lamination)할 프레임(Frame)위에 약 5mm 간격으로 정렬시키되, 칩(Chip)의 앞면은 폴리머(Polymer)표면을 향하게 하는 단계와, 웨이퍼 스트립이 정렬된 상태에서 라미네이션시켜 웨이퍼와 리미네이션 필름을 접착시키고, 라미네이션 된 웨이퍼 뒷면이 있는 폴리마이드 프레임 주변에 폴리머를 사용하여 만든 댐(DAM) 안쪽웨이퍼가 있는 곳에 에폭시 계통의 엔캡슐랜트(Encapsulant)를 채운후 경화시키거나 몰딩하는 단계와, 비아(Via)가 형성된 필름위에 금속박막층을 형성하고, 이에 포토 레지스트(Photoresist)를 도포한 후 패터링(Patterning)을 통해 1/10 패드를 재배열 하는 단계와, 격자모양으로 배열된 I/O 패드 위에 플럭스(flux)를 도포한후 솔더 볼을 패드위에 정열시키고, 솔더 리플로우 오븐(reflow oven)을 이용하여 솔더 볼을 금속 패드위에 용융시켜 접속시킨 후 플럭스를 유기용매를 사용하여 세척하도록 하는 단계와, 구조물의 뒷면을 연마하고 한 롯트(lot)에 들어 있는 수십개의 다이(die)를 별개의 패키지로 절단시키는 단계로 이루어짐을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 23/28 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019970031375 (1997.07.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0253116-0000 (2000.01.21)
공개번호/일자 10-1999-0009095 (1999.02.05) 문서열기
공고번호/일자 (20000415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.07.07)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백경욱 대한민국 대전광역시 유성구
2 장세영 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박형준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로*길 **, *층 (서초동, 삼호빌딩)(한솔국제특허법률사무소)
2 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.07.07 수리 (Accepted) 1-1-1997-0099614-96
2 출원심사청구서
Request for Examination
1997.07.07 수리 (Accepted) 1-1-1997-0099613-40
3 특허출원서
Patent Application
1997.07.07 수리 (Accepted) 1-1-1997-0099611-59
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.07.07 수리 (Accepted) 1-1-1997-0099612-05
5 출원심사청구서
Request for Examination
1997.07.07 수리 (Accepted) 1-1-1997-0099615-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1999.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0158167-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
12 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1999.07.24 수리 (Accepted) 1-1-1999-5268634-26
13 보정통지서
Request for Amendment
1999.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1999-0019856-36
14 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
1999.08.10 수리 (Accepted) 1-1-1999-5288258-20
15 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1999.08.24 수리 (Accepted) 1-1-1999-5302992-44
16 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.09.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5328507-22
17 의견서
Written Opinion
1999.09.10 수리 (Accepted) 1-1-1999-5328504-96
18 등록사정서
Decision to grant
1999.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0354253-93
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
25 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
26 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
27 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

최종공정을 마친 웨이퍼를 다이아몬드 톱으로 4-6개의 다이(1)를 갖는 스트립(2)으로 절단하는 단계와; 절단된 웨이퍼스트립(2)을 접착제가 미리 도포된 링프레임(5) 위에 5 mm 정도의 간격으로 정렬시키되, 칩의 앞면을 캡톤 폴리이미드 필름(4)의 표면을 향하게 하는 단계와; 웨이퍼스트립(2)이 정렬된 상태에서 라미네이션시켜 웨이퍼와 캡톤 폴리이미드 필름(4)을 접착시키고, 라미네이션된 웨이퍼의 뒷면에 있는 폴리이미드 프레임 주변에 고점성의 에폭시 폴리머를 사용하여 만든 댐(6) 안쪽의 웨이퍼가 있는 곳에 에폭시 계통의 인캡슐런트(7)를 채운 후 경화시키거나 몰딩을 하는 단계와; 비아(8)가 형성된 필름 위에 금속박막층을 형성한 다음, 포토레지스트를 도포한 후 패터닝을 통해 I/O 패드를 재배열하는 단계와; 격자모양으로 배열된 I/O패드 위에 플럭스를 도포한 후 숄더볼(9)을 패드 위에 정열시키고, 숄더 리플로우 오븐을 이용하여 숄더볼(9)을 금속패드 위에 응용시켜 접속시킨 후 유기용매를 사용하여 플럭스를 세척하는 단계와; 구조물의 뒷면을 연마하고 한개의 롯트에 들어 있는 수십개의 다이를 별개의 패키지로 절단하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 LE방법을 이용한 칩 사이즈 패키지의 제조방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US05879964 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US5879964 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.