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백색광주사간섭법을 이용한 투명한 박막층의 3차원 두께 형상 측정 및 굴절률 측정 방법 및 그 기록매체

  • 기술번호 : KST2015111633
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 두께 형상 측정 및 굴절률 측정 방법 및 그 기록매체에 관한 것이며, 특히 백색광주사간섭법을 이용하여 반도체 및 관련 산업 분야에서 제작되는 패턴을 가지거나 또는 패턴이 없는 투명한 유전체 박막(transparent dielectric thin-film)의 두께형상(thickness profile)을 삼차원적으로 측정하거나 굴절률을 측정할 수 있도록 하는 백색광주사간섭법을 이용한 투명한 박막층의 3차원 두께 형상 측정 및 굴절률 측정 방법 및 그 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.또한, 본 발명에 따르면, 백색광주사간섭법에 있어서, 간섭 신호를 획득하여 푸리에 변환을 수행하여 위상 그래프를 산출하는 제 1 단계; 측정물에 대한 모델링 및 이를 통한 수학적 위상 그래프를 산출하는 제 2 단계; 및 상기 제 1 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차함수를 설정하여 설정된 오차 함수에 최적화 기법을 적용하여 형상 및 두께값을 측정하는 제 3 단계를 포함하여 이루어진 두께 형상 측정 방법이 제공된다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019990009808 (1999.03.23)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0290086-0000 (2001.02.27)
공개번호/일자 10-2000-0061037 (2000.10.16) 문서열기
공고번호/일자 (20010515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.03.23)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전광역시유성구
2 김기홍 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.03.23 수리 (Accepted) 1-1-1999-0025042-92
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
3 등록사정서
Decision to grant		 2000.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0322291-61
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

백색광주사간섭법의 광학계에 있어서,

간섭 신호를 획득하여 푸리에 변환을 수행하여 위상 그래프를 산출하는 제 1 단계;

측정물에 대한 모델링 및 이를 통한 수학적 위상 그래프를 산출하는 제 2 단계; 및

상기 제 1 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차함수를 설정하여 설정된 오차 함수에 최적화 기법을 적용하여 형상 및 두께값을 측정하는 제 3 단계를 포함하여 이루어진 두께 형상 측정 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 제 3 단계는,

상기 제 1 단계 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차 함수를 설정하는 제 4 단계;

임의의 측정점에서의 검색 영역을 설정하여 검색 시작점을 설정하는 제 5 단계;

설정된 각각의 검색 시작점에 대하여 최적화 기법을 사용하여 오차 함수가 최소가 되는 수렴점 및 오차 함수값을 계산하는 제 6 단계;

상기 임의의 측정점에서의 검색 시작점중에서 오차 함수가 최소가 되는 수렴점을 상기 임의의 측정점에서의 측정값으로 설정하는 제 7 단계; 및

모든 측정점에 대하여 측정값을 설정하였는지를 판단하여, 설정하기 않았으면 상기 제 5 단계부터 반복수행하는 제 8 단계를 포함하여 이루어진 두께 형상 측정 방법

3 3

제 2 항에 있어서,

상기 제 4 단계의 오차함수는

다음 수학식,

4

제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 3 단계의 형상 및 두께값을 검출하는데 사용되는 최적화 기법은,

비선형 최소 자승법을 이용하는 것을 특징으로 하는 두께 형상 측정 방법

5 5

제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 3 단계의 형상 및 두께값을 검출하는데 사용되는 최적화 기법은,

Levenberg-Marquardt의 비선형 최소 자승법을 이용하는 것을 특징으로 하는 두께 형상 측정 방법

6 6

컴퓨터에,

백색광주사간섭법의 광학계에 있어서,

간섭 신호를 획득하여 푸리에 변환을 수행하여 위상 그래프를 산출하는 제 1 단계;

측정물에 대한 모델링 및 이를 통한 수학적 위상 그래프를 산출하는 제 2 단계; 및

상기 제 1 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차함수를 설정하여 설정된 오차 함수에 최적화 기법을 적용하여 형상 및 두께값을 측정하는 제 3 단계를 실행시키키기 위한 프로그램을 저장하고 있는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체

7 7

백색광주사간섭법의 광학계에 있어서,

간섭 신호를 획득하여 푸리에 변환을 수행하여 위상 그래프를 산출하는 제 1 단계;

측정물에 대한 모델링 및 이를 통한 수학적 위상 그래프를 산출하는 제 2 단계; 및

상기 제 1 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차함수를 설정하여 설정된 오차 함수에 최적화 기법을 적용하여 굴절률 값을 측정하는 제 3 단계를 포함하여 이루어진 굴절률 측정 방법

8 8

제 7 항에 있어서,

상기 제 3 단계는,

상기 제 1 단계 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차 함수를 설정하는 제 4 단계;

임의의 측정점에서의 검색 영역을 설정하여 검색 시작점을 설정하는 제 5 단계;

설정된 각각의 검색 시작점에 대하여 최적화 기법을 사용하여 오차 함수가 최소가 되는 수렴점 및 오차 함수값을 계산하는 제 6 단계;

상기 임의의 측정점에서의 검색 시작점중에서 오차 함수가 최소가 되는 수렴점을 상기 임의의 측정점에서의 측정값으로 설정하는 제 7 단계; 및

모든 측정점에 대하여 측정값을 설정하였는지를 판단하여, 설정하기 않았으면 상기 제 5 단계부터 반복수행하는 제 8 단계를 포함하여 이루어진 굴절률 측정 방법

9 9

제 8 항에 있어서,

상기 제 4 단계의 오차함수는

다음 수학식,

10

제 7 항 내지 제 9 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 3 단계의 굴절률을 검출하는데 사용되는 최적화 기법은,

비선형 최소 자승법을 이용하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 방법

11 11

제 7 항 내지 제 9 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 3 단계의 굴절률을 검출하는데 사용되는 최적화 기법은,

Levenberg-Marquardt의 비선형 최소 자승법을 이용하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 방법

12 12

컴퓨터에,

백색광주사간섭법의 광학계에 있어서,

간섭 신호를 획득하여 푸리에 변환을 수행하여 위상 그래프를 산출하는 제 1 단계;

측정물에 대한 모델링 및 이를 통한 수학적 위상 그래프를 산출하는 제 2 단계; 및

상기 제 1 및 제 2 단계에서 구한 위상값을 이용하여 오차함수를 설정하여 설정된 오차 함수에 최적화 기법을 적용하여 굴절률을 측정하는 제 3 단계를 실행시키키기 위한 프로그램을 저장하고 있는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체

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1 US6545763 US 미국 DOCDBFAMILY
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