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다원계 솔더범프의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015112222
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 전자부품을 구성하는 하부금속층의 상부에 적어도 1종 이상의 금속을 소정의 두께로 적층하는 단계; (b) 상기 적어도 1종 이상의 금속이 적층된 하부금속층에 솔더볼을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 솔더볼을 리플로우시켜 상기 솔더의 조성내로 상기 하부금속층의 상부에 적층된 적어도 1종 이상의 금속성분을 혼입시키는 단계를 포함하는 다원계 솔더범프의 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01)
CPC H01L 24/11(2013.01)
출원번호/일자 1020040038518 (2004.05.28)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0599407-0000 (2006.07.04)
공개번호/일자 10-2005-0113032 (2005.12.01) 문서열기
공고번호/일자 (20060713) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.05.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백경욱 대한민국 대전광역시유성구
2 손호영 대한민국 대구광역시달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2004-0229715-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0058562-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0571606-17
5 의견서
Written Opinion		 2006.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0017559-07
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0017558-51
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0216321-52
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 전자부품을 구성하는 하부금속층의 상부에 적어도 1종 이상의 금속을 소정의 두께로 적층하는 단계; (b) 상기 적어도 1종 이상의 금속이 적층된 하부금속층에 솔더볼을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 솔더볼을 리플로우시켜 상기 솔더의 조성내로 상기 하부금속층의 상부에 적층된 적어도 1종 이상의 금속성분을 혼입시키는 단계를 포함하는 다원계 솔더범프의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 단계 b의 솔더는 주석계 무연솔더인 다원계 솔더범프의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 단계 b의 솔더는 Ag 또는 Cu를 추가로 포함하는 다원계 솔더범프의 제조방법
4 4
제 2항에 있어서, 단계 b의 솔더는 Ag 또는 Bi를 추가로 포함하는 다원계 솔더범프의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 단계 a에서 적층되는 금속으로는 Ag, Cu 또는 Bi 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다원계 솔더범프의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 단계 a에서 적층되는 금속으로는 Ag 및 Cu인 것을 특징으로 하는 다원계 솔더범프의 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 단계 a에서 적층되는 금속으로는 Ag 및 Bi인 것을 특징으로 하는 다원계 솔더범프의 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 단계 b의 솔더볼은 솔더제팅법, 스크린프린팅법, 솔더볼 접착법 또는 전해도금법 중 어느 한 방법에 의해 형성되는 다원계 솔더범프의 제조방법
9 9
제 1항에 있어서, 단계 b의 솔더볼은 용융솔더에 전기적인 신호와 질소압력을 이용한 솔더제팅에 의해 형성되는 다원계 솔더범프의 제조방법
10 10
제 1항에 있어서, 단계 a의 하부금속층은 Al층, Ti층, 및 Ni층이 순차적층된 UBM 구조인 다원계 솔더범프의 제조방법
11 10
제 1항에 있어서, 단계 a의 하부금속층은 Al층, Ti층, 및 Ni층이 순차적층된 UBM 구조인 다원계 솔더범프의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.