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하기 A로 표시되는 단량체와 B로 표시되며 에폭시기를 함유하는 단량체로 이루어지며 광가교 개시제를 포함하는 콜로이드 입자 공중합체인 광가교 가능한 콜로이드 입자를 기판에 자가배열 시키는 단계,광가교 가능한 콜로이드가 배열된 기판 위에 마스크를 구비하고 선택적으로 광을 조사한 후 기판을 가열하여 가교되지 않은 콜로이드 입자를 변형시키는 단계,콜로이드 입자를 변형시킨 후 기판을 식각한 다음 고분자 콜로이드 입자를 제거하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴 형성방법
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하기 A로 표시되는 단량체와 B로 표시되며 에폭시기를 함유하는 단량체로 이루어지며 광가교 개시제를 포함하는 콜로이드 입자 공중합체인 광가교 가능한 콜로이드 입자를 기판에 자가배열 시키는 단계,광가교 가능한 콜로이드가 배열된 기판 위에 마스크를 구비하고 선택적으로 광을 조사한 후 기판을 가열하여 가교되지 않은 콜로이드 입자를 변형시키는 단계,콜로이드 입자를 변형시킨 후 콜로이드 입자 위에 금속 또는 무기물을 증착시키고 콜로이드 입자를 제거하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴 형성방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 콜로이드 입자 공중합체의 입자크기는 수마이크로미터∼수백나노 임을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴 형성방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 광 조사는 자외선을 10∼15mW/cm2 세기에서 1∼10초 동안 조사함을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴 형성방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 가열은 콜로이드 입자 공중합체의 유리전이온도 보다 1∼3℃ 높은 온도에서 실시함을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴의 형성방법
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제1항에 있어서, 기판의 식각은 CF4, SF6 중에서 선택된 어느 하나의 플루오르 계열의 기체를 이용하여 실시함을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴의 형성방법
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제2항에 있어서, 금속은 금(Au), 은(Ag), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 코발트(Co) 중에서 선택된 어느 하나 이고, 무기물은 실리카, 타이타니아, 지르코니아 중에서 선택된 어느 하나 임을 특징으로 하는 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴의 형성방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 광가교 개시제는 N-페닐글리신(N-phenylglycine), 설피네이트(sulfinates), 이놀레이트(enolates), 카르복실레이트(carboxylates)으로 나타낼 수 있는 전자 공여성 개시제 중의 어느 하나이거나, p-톨루엔 소디움 염(p-toluene sodium salt), 아세틸아세톤(acetylacetone), tt-부틸 하이드로겐 퍼옥사이드(tt-butyl hydrogen peroxide), 페릭 암모니움 시트레이트(ferric ammonium citrate), 방향족 카르보닐 화합물(benzoin ether, ketal, acetophenone, acyl phosphine oxide 주의 어느 하나), 케톤(ketone) 유도체, 퀴논(quinone) 유도체 중의 어느 하나 이거나, 메틸렌블루, 옐로우이오신, 티오닌, 로즈 벤갈(Rose Bengal), 에리트로신 B(Erythrosin B), 아크리플라빈(acryiflavine)으로 나타낼 수 있는 전자 수용성 광민감제 중의 어느 하나인, 광가교 가능한 콜로이드 입자를 이용한 다차원 나노패턴의 형성방법
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