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나노와이어의 정렬을 통한 전계방출 에미터 전극의제조방법

  • 기술번호 : KST2015112501
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노와이어가 전자기장 발생 방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 전계방출 에미터 전극의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 나노와이어(Nanowire)를 용매에 희석시킨 다음, 전자기장 발생 장치 상단에 고정된 기질 상에 분산시켜 전자기장 발생 방향으로 정렬된 나노와이어를 고정시키는 단계를 포함하는 나노와이어가 전자기장 발생 방향에 따라 수직, 수평 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 전계방출 에미터 전극의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 간단한 공정으로 고밀도, 대용량의 전자기장 발생 방향에 따라 정렬된 나노와이어를 얻을 수 있어, 전계방출 디스플레이(field emission display; FED), 센서, 전극, 백라이트 등의 양극 소자로 응용할 수 있다. 나노와이어, 전자기성 입자, 자기장, 전기장, 전계방출 디스플레이
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01J 9/02 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) H01J 1/304 (2011.01)
CPC H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020060074800 (2006.08.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0013366 (2008.02.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
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법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정희태 대한민국 대전 유성구
2 윤상천 대한민국 강원 동
3 고영관 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이처영 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 (역삼동, 윤익빌딩)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0567422-51
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
다음의 단계를 포함하는 나노와이어가 자기장의 방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 전계방출 에미터 전극의 제조방법:(a) 나노와이어 또는 자기성 입자가 결합된 나노와이어를 유기용매에 희석시킨 분산액을, 자기장 발생 장치 상단에 고정된 기질 상에 분산시키는 단계;(b) 상기 기질 상에 분산된 용액에서 유기용매를 증발시켜, 나노와이어를 자기장 안에서 자기장의 방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬시키는 단계; 및(c) 자기장의 방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 나노와이어가 자기장이 없는 상태에서도 정렬된 방향으로 고정되게 하기 위하여, 상기 기질 상에 금속을 증착시키는 단계
2 2
제1항에 있어서, 상기 자기성 입자가 결합된 나노와이어는 자기성입자와 나노와이어가 물리 화학적 방법으로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 물리 화학적 방법은, 나노와이어를 산처리하는 방법, 자기성 입자를 환원시키는 방법 및 자기성 입자를 도금시키는 방법으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자기성 입자는 철(Fe) 함유 입자인 것을 특징으로 하는 방법
5 5
다음의 단계를 포함하는 나노와이어가 전기장 발생방향으로 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 전계방출 에미터 전극의 제조 방법; (a) 나노와이어를 유기용매에 희석시킨 분산액을, 전기장 발생 장치 상단에 고정된 기질 상에 분산시키는 단계;(b) 상기 기질 상에 분산된 용액에서 유기용매를 증발시켜, 나노와이어를 전기장 안에서 기질 상에 전기장 발생방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬시키는 단계; 및(c) 상기 전기장 발생방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 나노와이어가 전기장이 없는 상태에서도 정렬된 방향으로 고정되도록 하기 위하여, 상기 기질 상에 금속을 증착시키는 단계
6 6
제5항에 있어서, 상기 (a) 단계의 전기장 발생 장치는 전계(electric field)인 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 전계(electric field)의 전기장은 1~50 V/mm인 것을 특징으로 하는 방법
8 8
제5항에 있어서, 상기 (a) 단계는 용매 분산 보조제를 추가로 첨가하는 것을 특징으로 하는 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 분산보조제는 유기용매인 TOAB(tetra otylammonium bromide), 계면활성제인 Triton X-100 및 SDS(sodium dodecylsurfate)로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
10 10
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 나노와이어를 유기용매에 희석시킨 분산액을 기질 상에 분산시키는 방법은 스핀코팅 방법, 스프레이 방법, 딥코팅 방법 및 잉크젯 방법으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
11 11
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (a) 단계 및 (b)단계를 5~1000회 반복하여, 나노와이어의 밀도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 방법
12 12
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (a) 단계의 용매는 물(H2O), 디메틸포름아마이드(DMF), N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 디메틸아세트아마이드(DMAc), 사이클로헥사논, 에틸알콜, 클로로포름, 디클로로메탄 및 에틸에테르로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
13 13
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (a) 단계의 기질은 인디듐틴옥사이드 글라스(ITO glass), 유리, 수정(quartz), 글래스 웨이퍼, 실리콘 웨이퍼, 응용실리카, 플라스틱 및 투명 고분자로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
14 14
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (a) 단계의 나노와이어의 분산액의 농도는 0
15 15
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (b) 단계에서 용매를 온도를 50~150℃로 올려 제거하는 것을 특징으로 하는 방법
16 16
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 기질 상에 분산시키는 나노와이어의 양은 1pg/cm2~1g/cm2인 것을 특징으로 하는 방법
17 17
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (c) 단계의 금속은 1~5000nm로 증착하는 것을 특징으로 하는 방법
18 18
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 (c) 단계의 금속은 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 칼슘(Ca), 카드뮴(Cd), 철(fe), 니켈(Ni), 백금(Pt), 아연(Zn) 및 구리(Cu)로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
19 19
제1항 내지 제18항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되고, 금속이 증착된 기질상에 자기성 입자가 결합된 나노와이어가 자기장 방향에 따라 수평, 수직 또는 수평과 수직 사이의 임의의 각으로 정렬된 전계방출 에미터 전극
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4 EP02244277 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
5 EP02244277 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
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5 EP2052398 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
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7 EP2244277 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
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9 JP2010500719 JP 일본 DOCDBFAMILY
10 JP2010500719 JP 일본 DOCDBFAMILY
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12 WO2008018701 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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