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진동수 발진기;레이저 광을 발진시키는 제 1, 2,
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제 1항에 있어서,상기 선편광자와 편광빔 가르개 사이에 위치하여 입사되는 선편광을 회전시켜 해당 편광빔 가르개에서 반사되는 펄스 에너지를 일정하게 조정하는 제 1, 2,
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제 1항 또는 2항에 있어서,상기 제 1 편광빔 가르개와 제 2 편광빔 가르개 사이의 광 경로에 반파장판 대신 포켈스셀을 구비하되, 상기 포켈스셀은 제 1 레이저 발진부와 동기화되도록 하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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제 1항 또는 2항에 있어서,각 지연 발생기에서의 지연 시간 Dn = (n - 1)/(N1 × D의 개수)(단, N1은 진동수 발진기에서 발진된 진동수, D는 지연 발생기의 총 개수, n은 레이저 발진부의 해당 번지를 나타냄)인 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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진동수 발진기 및 레이저 광을 발진시키는 4개의 레이저 발진부(제 1, 2, 3, 4 레이저 발진부)를 포함하고;상기 4개의 레이저 발진부를 2개씩 그룹화(제 1 그룹, 제 2 그룹)시키고, 각 그룹당 1개씩의 지연 발생기를 구비시키되, 상기 지연발생기는 상기 진동수 발진기와 레이저 발진부 사이에 위치하여 등시간 간격으로 해당 그룹에 있는 레이저 발진부에서 레이저 빔이 발진되도록 하며;상기 레이저 발진부의 후단에 각각 선편광자를 구비하여 해당 레이저 발진부를 통과한 광을 S 편광으로 세팅시키고;상기 선편광자의 후단에 각각 편광빔 가르개(제 1, 2, 3, 4 편광빔 가르개)를 구비하여 S 편광은 반사시키고, P 편광은 투과시키며;각 그룹에서 발진된 레이저 빔을 결합하는 제 5 편광빔 가르개를 더 구비시키고;제 1 그룹에 있는 제 1 편광빔 가르개와 제 2 그룹에 있는 제 3 편광빔 가르개 사이의 광 경로 및 제 1 그룹에 있는 제 2 편광빔 가르개와 제 2 그룹에 있는 제 4 편광빔 가르개 사이의 광 경로에는 각각 반파장판을 구비시켜 입사된 S 편광을 90도 회전시키고;제 2 그룹에 있는 제 3 편광빔 가르개와 제 5 편광빔 가르개 사이의 광경로 및 제 2 그룹에 있는 제 4 편광빔 가르개와 제 5 편광빔 가르개 사이의 광경로에는 입사된 S 편광을 90도 회전시키는 포켈스셀(제 1, 2 포켈스셀)을 각각 구비시키되, 상기 제 1 포켈스셀은 제 2 그룹에 있는 제 3 레이저 발진부와 제 4 레이저 발진부와 동기화되고, 상기 제 2 포켈스셀은 제 1 그룹에 있는 제 1 레이저 발진부와 제 2 레이저 발진부와 동기화되도록 하여제 1 레이저 발진부와 제 2 레이저 발진부에서 레이저 빔이 발진될 때 제 1 포켈스셀은 미작동(OFF), 제 2 포켈스셀은 작동(ON) 되고, 제 3 레이저 발진부와 제 4 레이저 발진부에서 레이저 빔이 발진될 때 제 1 포켈스셀은 작동(ON), 제 2 포켈스셀은 미작동(OFF) 되도록 제어함으로써 제 5 편광빔 가르개를 통과한 출력은 펄스당 에너지가 2배, 펄스의 반복율이 2배로 향상되도록 하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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제 5항에 있어서,상기 제 2 포켈스셀의 출력광(S편광)을 반사시켜 제 5 편광빔 가르개에 입사시키는 거울을 더 포함함을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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제 5항에 있어서,상기 선편광자와 편광빔 가르개 사이에 각각 위치하여 입사되는 선편광을 회전시켜 해당 편광빔 가르개에서 반사되는 펄스 에너지를 일정하게 조정하는 반파장판을 더 포함함을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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진동수 발진기 및 레이저 광을 발진시키는 n개의 레이저 발진부를 포함하고;상기 n개의 레이저 발진부를 p개씩 그룹화시키고, 각 그룹당 1개씩의 지연 발생기를 구비시키되, 상기 지연발생기는 상기 진동수 발진기와 레이저 발진부 사이에 위치하여 등시간 간격으로 해당 그룹에 있는 레이저 발진부에서 레이저 빔이 발진되도록 하며;상기 레이저 발진부의 후단에 각각 선편광자를 구비하여 해당 레이저 발진부를 통과한 광을 S 편광으로 세팅시키고;상기 선편광자의 후단에 각각 편광빔 가르개를 구비하여 S 편광은 반사시키고, P 편광은 투과시키며;각 그룹에서 발진된 레이저 빔을 결합하는 제 n+1 편광빔 가르개를 더 구비시키고;제 1 그룹에 있는 제 1 편광빔 가르개와 제 2 그룹에 있는 제 p+1 편광빔 가르개 사이의 광 경로 및 제 1 그룹에 있는 제 2 편광빔 가르개와 제 2 그룹에 있는 제 p+2 편광빔 가르개 사이의 광 경로에는 반파장판을 구비시켜 입사된 S 편광을 90도 회전시키고;제 2 그룹에 있는 제 p+1 편광빔 가르개 내지 제 n+1 편광빔 가르개 사이의 광경로에는 입사된 S 편광을 90도 회전시키는 포켈스셀을 구비시키되, 상기 포켈스셀들은 해당 그룹에 있는 레이저 발진부와 동기화되어 해당 레이저 발진부가 발진될 때 작동이 이루어지도록 하여제 n+1 편광빔 가르개를 통과한 출력은 펄스당 에너지가 p배, 펄스의 반복율이 n/p배가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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제 8항에 있어서,상기 선편광자와 편광빔 가르개 사이에 각각 위치하여 입사되는 선편광을 회전시켜 해당 편광빔 가르개에서 반사되는 펄스 에너지를 일정하게 조정하는 반파장판을 더 포함함을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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제 8항 또는 9항에 있어서,각 지연 발생기에서의 지연 시간 D(n/p) = (n/p - 1)/(N1 × D의 개수)(단, N1은 진동수 발진기에서 발진된 진동수, D는 지연 발생기의 총 개수, n은 레이저 발진부의 해당 번지를 나타냄)인 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉스 레이저 장치
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