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미세 패턴을 구비한 폴리머 시트를 제작하는 방법

  • 기술번호 : KST2015112631
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 회전 벨트에 부착되어 이동하는 소프트 몰드를 이용하여 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트를 대량으로 제작하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트의 제작 방법은 연속하여 회전하는 벨트에 다수의 소프트 몰드를 장착하고 장착된 소프트 몰드를 이용하여 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트를 제작함으로써, 원하는 미세 패턴을 가지는 폴리머 시트를 대량으로 생산할 수 있다. 또한 원하는 미세 패턴을 가지는 다수의 소프트 몰드를 회전 벨트에 부착하여 폴리머 시트를 제작함으로써, 핸드폰의 키패드와 같이 미세 패턴이 그룹으로 이루어져 한 개의 개체를 형성하는 미세 구조물의 생산에 효율적이다. MEMS, 폴리머 시트, 소프트 몰드, 사진 공정, 포토리소그래피
Int. CL B29D 7/01 (2006.01) B29C 59/02 (2006.01)
CPC B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01) B29C 43/222(2013.01)
출원번호/일자 1020060082154 (2006.08.29)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0760480-0000 (2007.09.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071004) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 대전 유성구
2 양동열 대한민국 대전 서구
3 전영균 대한민국 대전 유성구
4 류승민 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0622419-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.03.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0022905-18
4 등록결정서
Decision to grant		 2007.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0383992-74
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 사진 공정(photolithography)을 이용하여 소정의 미세 패턴을 구비한 소프트 몰드를 제작하는 단계;(b) 상기 제작된 소프트 몰드의 미세 패턴이 위를 향하도록 회전하는 벨트에 다수의 소프트 몰드를 소정 간격으로 부착하는 단계;(c) 상기 소프트 몰드의 미세 패턴에 경화성 수지가 충진되도록 도포하는 단계;(d) 상기 경화성 수지를 도포한 소프트 몰드 위에 폴리머 시트(sheet)를 덮고 상기 경화성 수지를 도포한 소프트 몰드와 폴리머 시트를 서로 가압 밀착하는 단계; 및(e) 상기 가압 밀착된 경화성 수지를 경화시키는 단계를 포함하는 폴리머 시트의 제작 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 경화성 수지는 자외선 경화성 수지이며,상기 도포된 자외선 경화성 수지는 조사되는 자외선에 의해 경화되는 폴리머 시트의 제작 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 (a) 단계는사진 공정을 이용하여 소정의 미세 패턴을 가지는 원본 몰드(master mold)를 제작하는 단계;상기 제작된 원본 몰드의 미세 패턴를 전기 도금한 후, 소정의 금속을 전기 도금된 미세 패턴에 주입하여 금속 몰드를 제작하는 단계; 및상기 제작된 금속 몰드에 PDMS(polydimethylsiloxane)를 주입하여 소프트 몰드를 복제하는 단계를 포함하는 폴리머 시트의 제작 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 폴리머 시트의 제작 방법은상기 경화된 경화성 수지에 열풍을 가하는 단계를 더 포함하는 폴리머 시트의 제작 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 폴리머 시트의 제작 방법은상기 경화된 경화성 수지를 소프트 몰드로부터 분리하고 미세 패턴이 형성된 폴리머 시트에 상기 미세 패턴을 보호하기 위한 보호 필름을 부착하는 단계를 더 포함하는 폴리머 시트의 제작 방법
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 소프트 몰드는지그(jig)에 의해 상기 벨트에 고정 부착되는 폴리머 시트의 제작 방법
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 경화성 수지를 도포한 소프트 몰드와 폴리머 시트는두 개의 압착 롤러에 의해 가압 밀착되는 폴리머 시트의 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.