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반복률의 조정이 가능한 대칭적 구조를 갖는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템 및 그 구동 방법

  • 기술번호 : KST2015113166
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 2개 이상의 레이저들을 대칭적 구조로 구성함으로써 출력광 펄스의 반복률을 자유롭게 조정 가능한 대칭적 구조를 갖는 템포럴 멀티플렉싱 레이저장치, 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템 및 그 구동 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치는, 진동수 발진기; 상기 진동수 발진기와 동기화하며 레이저 빔을 발진시키는 제1 내지 제4 레이저 발진부; 상기 진동수 발진기와 상기 제1 내지 제4 레이저 발진부 사이에 위치하여 상기 레이저 발진부에서 등시간 간격으로 레이저 빔이 발진되도록 시간을 지연시키는 제1 내지 제4 지연 발생기; 상기 제1, 제4 레이저 발진부의 후단에 설치되어 입사되는 S 편광을 P 편광으로 변환시키는 제1, 제2 반파장판; 상기 제2, 제3 레이저 발진부 및 상기 제1, 제2 반파장판의 후단에 설치되며 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 제1, 제2 편광빔 가르개; 상기 제1, 제2 편광빔 가르개의 후단에 설치되며 S 편광을 P 편광으로(또는 P 편광을 S 편광으로) 변환시키는 제1, 제2 포켈스 셀; 및, 상기 제1, 제2 포켈스 셀의 후단에 설치되며 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 제3 편광빔 가르개를 포함한다. 또한, 본 발명에 따른 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템은, 전술한 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치가 다수로 구비되며, 상기 다수의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치들 중 2개의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치가 편광빔 가르개를 기준으로 하여 대칭 구조로 연결되어 하나의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 군(이하, 제1 레이저 군)을 이루어 반복률을 증대시킨 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 제1 레이저 군은 편광빔 가르개를 기준으로 같은 구조를 가진 또 다른 제1 레이저 군과 대칭적으로 연결되어 제2 레이저 군을 이루고, 상기와 같은 편광빔 가르개를 기준으로 한 레이저 군의 대칭 연결을 n회(n은 자연수)반복하여 출력 레이저 빔의 반복률을 2n배로 증대시킬 수 있다. 고반복 레이저, 고출력 레이저, 반복률 조정, 템포럴 멀티플렉싱 레이저
Int. CL H01S 3/10 (2006.01)
CPC H01S 5/06236(2013.01) H01S 5/06236(2013.01) H01S 5/06236(2013.01) H01S 5/06236(2013.01)
출원번호/일자 1020080097675 (2008.10.06)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0980318-0000 (2010.08.31)
공개번호/일자 10-2010-0038632 (2010.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20100907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.06)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 공홍진 대한민국 대전 유성구
2 백두현 대한민국 서울 광진구
3 이동원 대한민국 대전 유성구
4 윤진우 대한민국 부산 사상구
5 신재성 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.10.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-0696621-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.07.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0047647-21
4 등록결정서
Decision to grant
2010.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0379818-92
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
진동수 발진기; 상기 진동수 발진기와 동기화하며 레이저 빔을 발진시키는 제1 내지 제4 레이저 발진부; 상기 진동수 발진기와 상기 제1 내지 제4 레이저 발진부 사이에 위치하여 상기 레이저 발진부에서 등시간 간격으로 레이저 빔이 발진되도록 시간을 지연시키는 제1 내지 제4 지연 발생기; 상기 제1, 제4 레이저 발진부의 후단에 설치되어 입사되는 S 편광을 P 편광으로 변환시키는 제1, 제2 반파장판; 상기 제2, 제3 레이저 발진부 및 상기 제1, 제2 반파장판의 후단에 설치되며 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 제1, 제2 편광빔 가르개; 상기 제1, 제2 편광빔 가르개의 후단에 설치되며 S 편광을 P 편광으로 또는 P 편광을 S 편광으로변환시키는 제1, 제2 포켈스 셀; 상기 제1, 제2 포켈스 셀의 후단에 설치되며 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 제3 편광빔 가르개 를 포함하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 제1 내지 제4 지연 발생기의 지연시간은 D이며, 상기 D는 하기의 식(1)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 멀티플렉싱 레이저 장치 식(1): D = 1/N kHz (여기서, N은 지연 발생기의 개수)
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 제2 레이저 발진부는 상기 제1 포켈스 셀과 동기화하며, 상기 제4 레이저 발진부는 상기 제2 포켈스 셀과 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 제3 편광빔 가르개의 후단에 설치되는 제3 포켈스 셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 제3 포켈스 셀은 상기 제3, 제4 레이저 발진부와 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
6 6
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치가 다수로 구비되며, 상기 다수의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치들 중 2개의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치가 편광빔 가르개를 기준으로 하여 대칭 구조로 연결되어 하나의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 군(이하, 제1 레이저 군)을 이루어 반복률을 증대시킨 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 제1 레이저 군은 편광빔 가르개를 기준으로 같은 구조를 가진 또 다른 제1 레이저 군과 대칭적으로 연결되어 제2 레이저 군을 이루고, 상기와 같은 편광빔 가르개를 기준으로 한 레이저 군의 대칭 연결을 n회(n은 자연수)반복하여 출력 레이저 빔의 반복률을 2n배로 증대시킨 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템
8 8
제1 내지 제4 레이저 발진부에서 진동수 발진기와 동기화하며 레이저 빔을 발진시키는 단계; 등시간 간격으로 레이저 빔이 발진되도록 제1 내지 제4 지연 발생기에서 시간을 지연시키는 단계; 입사되는 레이저 빔이 S 편광인 경우, 제1, 제2 반파장판에서 이를 P 편광으로 변환시키는 단계; 제1, 제2 편광빔 가르개에서, 입사되는 레이저 빔의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 단계; 제1, 제2 포켈스 셀에서 S편광을 P편광으로 또는 P 편광을 S 편광으로 변환시키는 단계; 및, 제3 편광빔 가르개에서, 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 단계 를 포함하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
9 9
청구항 8에 있어서, 상기 제1 내지 제4 지연 발생기의 지연시간은 D이며, 상기 D는 하기의 식(1)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 멀티플렉싱 레이저 구동 방법 식(1): D = 1/N kHz (여기서, N은 지연 발생기의 개수)
10 10
청구항 8에 있어서, 상기 제2 레이저 발진부는 상기 제1 포켈스 셀과 동기화하며, 상기 제4 레이저 발진부는 상기 제2 포켈스 셀과 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
11 11
청구항 8에 있어서, 제3 편광빔 가르개에서, 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 단계 이후에, 반사된 S 편광을 제3 포켈스 셀에서 P 편광으로 변환시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
12 12
청구항 11에 있어서, 상기 제3 포켈스 셀은 상기 제3, 제4 레이저 발진부와 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
13 13
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치를 다수로 구비하며, 상기 다수의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치들 중 2개의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치를 편광빔 가르개를 기준으로 하여 대칭 구조로 연결하여 하나의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 군(이하, 제1 레이저 군)을 이루고, 상기 제1 레이저 군은 또 다른 편광빔 가르개를 기준으로 같은 구조를 가진 또 다른 제1 레이저 군과 대칭적으로 연결되어 제2 레이저 군을 이루고, 상기와 같은 편광빔 가르개를 기준으로 한 레이저 군의 대칭 연결을 n회(n은 자연수)반복하여 n개의 레이저 군을 구성한 후, 이를 구동하여 출력 레이저 빔의 반복률을 2n배로 증대시킨 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
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1 WO2010041801 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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