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진동수 발진기;
상기 진동수 발진기와 동기화하며 레이저 빔을 발진시키는 제1 내지 제4 레이저 발진부;
상기 진동수 발진기와 상기 제1 내지 제4 레이저 발진부 사이에 위치하여 상기 레이저 발진부에서 등시간 간격으로 레이저 빔이 발진되도록 시간을 지연시키는 제1 내지 제4 지연 발생기;
상기 제1, 제4 레이저 발진부의 후단에 설치되어 입사되는 S 편광을 P 편광으로 변환시키는 제1, 제2 반파장판;
상기 제2, 제3 레이저 발진부 및 상기 제1, 제2 반파장판의 후단에 설치되며 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 제1, 제2 편광빔 가르개;
상기 제1, 제2 편광빔 가르개의 후단에 설치되며 S 편광을 P 편광으로 또는 P 편광을 S 편광으로변환시키는 제1, 제2 포켈스 셀;
상기 제1, 제2 포켈스 셀의 후단에 설치되며 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 제3 편광빔 가르개
를 포함하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
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2
청구항 1에 있어서,
상기 제1 내지 제4 지연 발생기의 지연시간은 D이며, 상기 D는 하기의 식(1)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 멀티플렉싱 레이저 장치
식(1): D = 1/N kHz
(여기서, N은 지연 발생기의 개수)
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3 |
3
청구항 1에 있어서,
상기 제2 레이저 발진부는 상기 제1 포켈스 셀과 동기화하며, 상기 제4 레이저 발진부는 상기 제2 포켈스 셀과 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
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청구항 1에 있어서,
상기 제3 편광빔 가르개의 후단에 설치되는 제3 포켈스 셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
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5 |
5
청구항 4에 있어서,
상기 제3 포켈스 셀은 상기 제3, 제4 레이저 발진부와 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치
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6
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치가 다수로 구비되며, 상기 다수의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치들 중 2개의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치가 편광빔 가르개를 기준으로 하여 대칭 구조로 연결되어 하나의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 군(이하, 제1 레이저 군)을 이루어 반복률을 증대시킨 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템
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7 |
7
청구항 6에 있어서,
상기 제1 레이저 군은 편광빔 가르개를 기준으로 같은 구조를 가진 또 다른 제1 레이저 군과 대칭적으로 연결되어 제2 레이저 군을 이루고, 상기와 같은 편광빔 가르개를 기준으로 한 레이저 군의 대칭 연결을 n회(n은 자연수)반복하여 출력 레이저 빔의 반복률을 2n배로 증대시킨 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 시스템
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8
제1 내지 제4 레이저 발진부에서 진동수 발진기와 동기화하며 레이저 빔을 발진시키는 단계;
등시간 간격으로 레이저 빔이 발진되도록 제1 내지 제4 지연 발생기에서 시간을 지연시키는 단계;
입사되는 레이저 빔이 S 편광인 경우, 제1, 제2 반파장판에서 이를 P 편광으로 변환시키는 단계;
제1, 제2 편광빔 가르개에서, 입사되는 레이저 빔의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 단계;
제1, 제2 포켈스 셀에서 S편광을 P편광으로 또는 P 편광을 S 편광으로 변환시키는 단계; 및,
제3 편광빔 가르개에서, 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 단계
를 포함하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
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9
청구항 8에 있어서,
상기 제1 내지 제4 지연 발생기의 지연시간은 D이며, 상기 D는 하기의 식(1)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
식(1): D = 1/N kHz
(여기서, N은 지연 발생기의 개수)
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10
청구항 8에 있어서,
상기 제2 레이저 발진부는 상기 제1 포켈스 셀과 동기화하며, 상기 제4 레이저 발진부는 상기 제2 포켈스 셀과 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
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11
청구항 8에 있어서,
제3 편광빔 가르개에서, 상기 제1 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 투과시키며, 상기 제2 포켈스 셀을 투과한 레이저 빔은 반사시키는 단계 이후에,
반사된 S 편광을 제3 포켈스 셀에서 P 편광으로 변환시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
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청구항 11에 있어서,
상기 제3 포켈스 셀은 상기 제3, 제4 레이저 발진부와 동기화하는 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
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13
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치를 다수로 구비하며, 상기 다수의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치들 중 2개의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치를 편광빔 가르개를 기준으로 하여 대칭 구조로 연결하여 하나의 템포럴 멀티플렉싱 레이저 군(이하, 제1 레이저 군)을 이루고, 상기 제1 레이저 군은 또 다른 편광빔 가르개를 기준으로 같은 구조를 가진 또 다른 제1 레이저 군과 대칭적으로 연결되어 제2 레이저 군을 이루고, 상기와 같은 편광빔 가르개를 기준으로 한 레이저 군의 대칭 연결을 n회(n은 자연수)반복하여 n개의 레이저 군을 구성한 후, 이를 구동하여 출력 레이저 빔의 반복률을 2n배로 증대시킨 것을 특징으로 하는 템포럴 멀티플렉싱 레이저 구동 방법
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