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탄소나노튜브를 이용한 유연소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015113226
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 유연소자의 제조방법은 기판 위에 중간막을 형성하는 단계와, 중간막 위에 탄소나노튜브 막을 적층하는 단계와, 탄소나노튜브 막을 패터닝하여 중간막 위에 탄소나노튜브 패턴을 형성하는 단계와, 중간막 위에 폴리머 용액을 도포한 후 경화시켜 탄소나노튜브 패턴을 포함하는 폴리머 막을 형성하는 단계와, 탄소나노튜브 패턴을 갖는 폴리머 막을 중간막으로부터 분리하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의한 유연소자는, 그 제조가 폴리머의 분해 및 녹는 온도 미만에서 수행되므로, 제조 비용을 줄일 수 있고, 대량생산이 가능하다.
Int. CL H01L 29/84 (2006.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC B81C 1/00134(2013.01) B81C 1/00134(2013.01) B81C 1/00134(2013.01) B81C 1/00134(2013.01)
출원번호/일자 1020080116767 (2008.11.24)
출원인 한국과학기술원, 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1065280-0000 (2011.09.08)
공개번호/일자 10-2010-0058083 (2010.06.03) 문서열기
공고번호/일자 (20110919) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.24)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 대전 서구
2 이강원 대한민국 대전광역시 유성구
3 이정아 대한민국 대전광역시 유성구
4 이광철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0807510-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0052817-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0459696-62
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0790821-68
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0790819-76
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0356908-54
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2011.09.08 수리 (Accepted) 2-1-2011-0209929-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 기판 위에 중간막을 형성하는 단계와; b) 상기 중간막 위에 탄소나노튜브 막을 적층하는 단계와; c) 상기 탄소나노튜브 막을 패터닝하여 상기 중간막 위에 탄소나노튜브 패턴을 형성하는 단계와; d) 상기 중간막 위에 폴리머 용액을 도포한 후 경화시켜 상기 탄소나노튜브 패턴을 포함하는 폴리머 막을 형성하는 단계와; e) 상기 탄소나노튜브 패턴을 갖는 상기 폴리머 막을 상기 중간막으로부터 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소자의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 중간막은 금속막이고, 상기 a) 단계는 상기 기판 위에 상기 금속막을 증착하는 것을 특징으로 하는 유연소자의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 d) 단계를 수행한 후, 상기 중간막을 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 더 포함하고, 상기 e) 단계는 상기 중간막을 에칭하여 제거하는 것을 특징으로 하는 유연소자의 제조방법
4 4
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
5 5
청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
6 6
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 패턴을 갖는 상기 폴리머 막에 상기 탄소나노튜브 패턴과 연결되도록 금속 배선을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소자의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서, f) 베이스 위에 몰드를 형성하는 단계와; g) 상기 몰드가 형성된 상기 베이스 위에 폴리머 용액을 도포한 후 경화시켜 폴리머 구조체를 형성하는 단계와; h) 상기 폴리머 구조체를 상기 베이스 및 상기 몰드로부터 분리하는 단계와; i) 상기 폴리머 구조체를 상기 탄소나노튜브 패턴을 갖는 상기 폴리머 막에 부착하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소자의 제조방법
9 9
청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
10 10
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
11 11
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 의한 제조방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 유연소자
12 12
폴리머 막과; 상기 폴리머 막에 매립되어 있되, 그 일면이 상기 폴리머 막의 일면으로 노출된 탄소나노튜브 패턴과; 상기 탄소나노튜브 패턴과 연결되도록 상기 폴리머 막의 일면에 부착된 금속 배선;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소자
13 13
삭제
14 14
제 12 항에 있어서, 상기 폴리머 막의 타면에 일체로 결합된 폴리머 구조체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.