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고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법

  • 기술번호 : KST2015113838
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 미세패턴을 포함하는 고무몰드와 기판을 접착시켜 미세 유체 소자를 제작하는 단계, 상기 미세 유체 소자에 고분자 용액을 주입하는 단계, 고분자를 건조시켜 미세 유체관의 패턴에 따라 고분자 선 어레이를 제작하는 단계, 빛의 조사에 의해 방향성 광유체화 현상을 유도하여 미세 구조체 어레이의 모양 및 크기를 제어하는 단계, 방향성 광유체화로 구조가 제어된 고분자 어레이 위에 금속을 도포하고 고분자를 선택적으로 제거하여 고분자 모양과 같이 미세 구조체 어레이를 전사하는 단계를 포함하는 미세 구조체 어레이 제작방법으로 구성된다.본 발명은 빛의 편광에 의해서 유체화 방향이 결정되고 빛의 조사 시간에 따라서 유체화에 의한 변형 정도가 달라지는 성질 즉, 방향성 광유체화 현상을 갖는 고분자 어레이 형틀의 모양과 크기를 정밀하게 제어하고 이렇게 제어된 형틀을 전사함으로써 규칙적으로 배열된 모양과 크기가 다양한 미세 구조체를 대면적으로 제작할 수 있다.방향성 광유체화 현상, 패턴화된 미세 구조체, 어레이, 모세관현상
Int. CL B82B 3/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090124842 (2009.12.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1135921-0000 (2012.04.05)
공개번호/일자 10-2011-0068023 (2011.06.22) 문서열기
공고번호/일자 (20120413) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.15)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정기 대한민국 대전광역시 유성구
2 이승우 대한민국 대전광역시 유성구
3 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0775157-38
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0476476-13
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0824950-15
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0824952-17
5 등록결정서
Decision to grant		 2012.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0192639-10
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세패턴을 포함하는 고무몰드와 기판을 접착시켜 미세 유체 소자를 제작하는 단계와; 상기 미세 유체 소자에 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자 용액을 주입하는 단계와;아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자를 건조시켜 미세 유체관의 패턴에 따라 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자 선 어레이를 제작하는 단계와; 빛의 조사에 의해 방향성 광유체화 현상을 유도하여 미세 구조체 어레이의 모양 및 크기를 제어하는 단계와; 방향성 광유체화로 구조가 제어된 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자 어레이 위에 금속을 도포하고 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자를 선택적으로 제거하여 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자 모양과 같이 미세 구조체 어레이를 전사하는 단계;를 포함하는 미세 구조체 어레이 제작방법으로 구성되는 것을 특징으로 하는 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 어레이는 고분자의 방향성 유체화 현상에 의해서 제조된 선형 또는 타원체 어레이 패턴인 것을 특징으로 하는 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법
4 4
제 1항에 있어서, 편광 방향 및 조사 시간을 이용하여 방향성 유체화 현상의 방향 및 정도를 제어하는 것을 특징으로 하는 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법
5 5
제 1항에 있어서, 홀로그래픽 1차원 간섭패턴을 조사하여 부분적으로 고분자의 방향성 유체화 현상을 유도하고 타원체 어레이 패턴을 제작하는 것을 특징으로 하는 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법
6 6
제 1항에 있어서, 방향성 유체화 현상에 의해서 구조가 제어된 고분자 선형 패턴 어레이를 이용하여 금속을 도포한 후 고분자를 선택적으로 제거하여 미세 구조체를 전사하는 것을 특징으로 하는 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법
7 7
제 1항에 있어서, 방향성 유체화 현상에 의해서 구조가 제어된 고분자 타원체 패턴 어레이를 이용하여 금속을 도포한 후 고분자를 선택적으로 제거하여 미세 구조체를 전사하는 것을 특징으로 하는 고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 패턴화된 미세 구조체 제작방법
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청구항 제1항, 제3항 내지 제7항 중에서 선택된 어느 한 항의 방법으로 제조한 패턴화된 미세 구조체
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국과학기술원 21세기프론티어사업 광반응성 고분자에서의 빛의 간섭현상을 이용한 정보저장 및 나노광학소자로의 응용