맞춤기술찾기

이전대상기술

패턴 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015114128
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 패턴 제조 방법은, 기판 상에 은 이온이 유기물과 이온결합되어 투명한 상태를 유지하고 있는 금속 유기 화합물 잉크층을 박막으로 형성하는 제1 단계; 기판을 가열하는 것에 의하여, 은 이온을 환원시켜 상기 금속 유기 화합물 잉크층을 반고상 상태로 경화시키고, 또한 금속 유기 화합물 잉크층에서 유기물을 증발시키는 제2 단계; 유기물이 증발되어 금속 유기 화합물 잉크층의 두께가 제1 단계에서 형성된 때보다 얇아진 상태에서, 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층에 레이저 광을 조사하여, 조사된 부위가 고상상태로 경화되어 패턴이 형성되는 제3 단계; 및 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층을 제거하여 패턴만을 남기는 제4 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/268 (2014.01) B23K 26/351 (2014.01) B23K 26/361 (2014.01) H01L 21/027 (2014.01)
CPC H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01)
출원번호/일자 1020100068120 (2010.07.14)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1114256-0000 (2012.02.02)
공개번호/일자 10-2012-0007381 (2012.01.20) 문서열기
공고번호/일자 (20120305) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.14)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 강봉철 대한민국 대전광역시 유성구
3 이성근 대한민국 대구광역시 수성구
4 노지환 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0455316-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0049015-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0478084-65
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0834266-83
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0834265-37
7 등록결정서
Decision to grant
2012.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0060044-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 은 이온이 유기물과 이온결합되어 투명한 상태를 유지하고 있는 금속 유기 화합물 잉크층을 박막으로 형성하는 제1 단계;상기 기판을 가열하는 것에 의하여, 상기 은 이온을 환원시켜 상기 금속 유기 화합물 잉크층을 반고상 상태로 경화시키고, 또한 상기 금속 유기 화합물 잉크층에서 상기 유기물을 증발시키는 제2 단계;상기 유기물이 증발되어 상기 금속 유기 화합물 잉크층의 두께가 상기 제1 단계에서 형성된 때보다 얇아진 상태에서, 상기 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층에 레이저 광을 조사하여, 조사된 부위가 고상상태로 경화되어 패턴이 형성되는 제3 단계; 및상기 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층을 제거하여 상기 패턴만을 남기는 제4 단계를 포함하는 패턴 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 제2 단계는 가열 램프로 상기 금속 유기 화합물 잉크층이 형성된 기판을 가열하여 상기 금속 유기 화합물 잉크층을 반고상 상태로 경화시키는,패턴 제조 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 제2 단계는 열판 또는 컨벡션 오븐으로 상기 금속 유기 화합물 잉크층이 형성된 기판을 가열하여 상기 금속 유기 화합물 잉크층을 반고상 상태로 경화시키는,패턴 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제4 단계는 상기 기판을 세척액에 담그거나 초음파세척을 하거나 세척액을 분사하여 상기 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층을 제거하는 단계를 더 포함하는 패턴 제조 방법
5 5
제4 항에 있어서, 상기 제4 단계는 상기 패턴이 형성된 기판을 가열하는 단계를 더 포함하는, 패턴 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102338983 CN 중국 FAMILY
2 EP02408283 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP24023380 JP 일본 FAMILY
4 JP26170973 JP 일본 FAMILY
5 US20120015112 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102338983 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102338983 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP2408283 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2012023380 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2014170973 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US2012015112 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.