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그래핀의 제조 장치 및 이를 이용한 그래핀의 제조 방법
- 기술번호 : KST2015115919
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 그래핀의 제조 장치는 기판을 처리하기 위한 공간을 제공하는 챔버를 포함한다. 상기 기판 지지부는 상기 챔버 내에 배치되며, 상기 기판을 지지한다. 가스 공급부는 상기 챔버 내에 탄소 소스 가스를 공급한다. 램프 유닛은 상기 챔버 내에서 상기 기판에 대하여 상대이동 가능하도록 설치되며, 광원 및 상기 광원으로부터의 광을 상기 기판 상의 국부적 위치상으로 집속시키기 위한 집속 수단을 구비하여 국부적 열처리를 수행한다. |
|---|---|
| Int. CL | C01B 31/02 (2006.01) B01J 23/755 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01) |
| CPC | C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120056198 (2012.05.25) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1340037-0000 (2013.12.04) |
| 공개번호/일자 | 10-2013-0132087 (2013.12.04) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20131210) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.05.25) |
| 심사청구항수 | 20 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 전석우 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 조병진 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 장병욱 | 대한민국 | 경상북도 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박영우 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.05.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0422330-45 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.07.02 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.08.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0064858-29 |
| 5 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.09.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0836520-02 |
| 6 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0663740-73 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판을 처리하기 위한 공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 내에 배치되며, 상기 기판을 지지하기 위한 기판 지지부;상기 챔버 내에 탄소 소스 가스를 공급하기 위한 가스 공급부; 및상기 챔버 내에서 상기 기판에 대하여 상대이동 가능하도록 설치되며, 광원 및 상기 광원으로부터의 광을 상기 기판 상의 국부적 위치상으로 집속시키기 위한 집속 수단을 구비하여 국부적 열처리를 수행하기 위한 램프 유닛을 포함하는 그래핀의 제조 장치 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 광원은 선형의 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서, 상기 집속 수단은 상기 램프로부터의 조사된 광을 상기 기판 상으로 반사시키기 위한 타원형 반사부를 갖는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 램프 유닛은 교대로 작동가능한 적어도 2개의 상기 램프들을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서, 상기 집속 수단은 상기 램프들 각각에 대응하도록 상기 램프로부터의 조사된 광을 상기 기판 상으로 반사시키기 위한 적어도 2개의 반사부들을 구비하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 램프 유닛은 상기 램프를 수용하기 위한 수용부를 갖는 홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 7 |
7 제 6 항에 있어서, 상기 홀더는 적어도 2개의 상기 수용부들을 구비하고, 상기 수용부 각각에는 적어도 2개의 램프들이 탈착가능하도록 수용되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 8 |
8 제 7 항에 있어서, 상기 램프들은 상기 홀더 내에서 회전하여 순차적으로 교체되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 9 |
9 제 7 항에 있어서, 상기 수용부들에 수용된 상기 램프들이 동시에 조사되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 10 |
10 제 9 항에 있어서, 상기 램프들은 다른 국부적 위치들 상으로 각각 조사되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 11 |
11 제 9 항에 있어서, 상기 램프들은 동일한 국부적 위치상으로 동시에 조사되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 12 |
12 제 1 항에 있어서, 상기 광원은 구형의 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 13 |
13 제 12 항에 있어서, 상기 집속 수단은 상기 램프로부터의 조사된 광을 상기 기판 상으로 반사시키기 위한 구형 반사부를 갖는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 14 |
14 제 1 항에 있어서, 상기 집속 수단을 조절하여 상기 기판 상으로 집속된 광의 상기 국부적 위치의 크기를 변화시키는 것을 특징으로 그래핀의 제조 장치 |
| 15 |
15 제 1 항에 있어서, 상기 램프 유닛을 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동시키기 위한 이송 메커니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 16 |
16 제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지부는 상기 기판을 예비적으로 가열하기 위한 가열 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 17 |
17 제 1 항에 있어서, 상기 챔버와 연결되고, 상기 기판 상에 형성된 그래핀층을 타겟 기판 상으로 전사하기 위한 롤러부를 갖는 그래핀의 전사 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치 |
| 18 |
18 촉매층이 증착된 기판을 챔버 내에 로딩하는 단계;상기 챔버 내에 탄소 소스 가스를 공급하는 단계;광원으로부터의 광을 상기 기판 상의 국부적 위치상으로 집속시켜 상기 촉매층의 제1 부분을 가열함으로써, 상기 촉매층의 상기 제1 부분에 탄소 성분을 고용시키는 단계; 및상기 광원을 이동시켜 상기 촉매층의 상기 제1 부분을 냉각시킴과 동시에 다른 위치의 제2 부분을 가열하여 상기 촉매층 상에 연속적인 열처리를 수행함으로써, 상기 촉매층 상에 상기 고용된 탄소 성분으로부터 석출된 그래핀층을 형성하는 단계를 포함하는 그래핀의 제조 방법 |
| 19 |
19 제 18 항에 있어서, 상기 광원으로부터의 광을 상기 기판 상의 국부적 위치상으로 집속시키는 단계는,상기 기판 상에 램프를 위치시키는 단계;상기 램프로부터 광을 조사시키는 단계; 및타원형 반사부를 이용하여 상기 조사된 광을 상기 기판 상으로 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법 |
| 20 |
20 제 18 항에 있어서, 롤투롤 공정을 수행하여 상기 기판 상에 형성된 상기 그래핀층을 타겟 기판 상으로 전사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 한국과학기술원 | 글로벌프론티어사업 | 차원 융합형 소프트 나노소재 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1340037-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120525 출원 번호 : 1020120056198 공고 연월일 : 20131210 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130926 청구범위의 항수 : 20 유별 : C01B 31/02 발명의 명칭 : 그래핀의 제조 장치 및 이를 이용한 그래핀의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 412,500 원 | 2013년 12월 05일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 336,000 원 | 2016년 11월 29일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 336,000 원 | 2017년 11월 24일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2018년 12월 03일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 442,900 원 | 2019년 12월 30일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.05.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0422330-45 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.07.02 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2013.08.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0064858-29 |
| 5 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.09.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0836520-02 |
| 6 | 등록결정서 | 2013.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0663740-73 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345169615 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011-0031630 |
| 연구과제명 | 차원 융합형 소프트 나노소재 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 서강대학교 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201109~202008 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345212263 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R32-2012-000-10051-0 |
| 연구과제명 | 저비용, 유연성 광전자 표지소자와 이를 위한 핵심재료 및 공정연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200812~201308 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1345146414 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0066879 |
| 연구과제명 | 다양한 배향 카본나노튜브의 성장과 그 메카니즘 연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200905~201204 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345169615 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011-0031630 |
| 연구과제명 | 차원 융합형 소프트 나노소재 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 서강대학교 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201109~202008 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345177111 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2010-0029332 |
| 연구과제명 | 반도체 공정기반 수직정렬 나노선 열전소자 원천기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201009~201508 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345194346 |
|---|---|
| 세부과제번호 | KINC01 |
| 연구과제명 | 그래핀 합성, 물성제어 및 응용 소자 원천기술 연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201201~201612 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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