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기판 홀더와 마주보고 RF 전원으로부터 임피던스 매칭 네트워크를 통하여 그 중심에 전력을 공급받고 진공 용기의 내부에 축전 결합 플라즈마를 형성하는 사각형 전극; 상기 기판 홀더 상에 배치된 기판과 마주보고 상기 사각형 전극의 중심에 대하여 대칭적으로 배치되고 상기 사각형 전극을 관통하는 적어도 4개의 트렌치; 및상기 트렌치를 채우는 절연 부재를 포함하고,복수의 노즐은 상기 사각형 전극에 형성되고,상기 노즐은 일정한 간격으로 매트릭스 형태로 배치되고,상기 전극의 일면은 상기 기판 홀더를 바라보고,가드부는 상기 사각형 전극의 타면을 감싸도록 배치되고,상기 가드부와 상기 사각형 전극의 타면 사이의 공간은 상기 노즐들에 가스를 공급하는 가스 분배 영역을 형성하고,가스 공급관은 상기 가스 분배 영역에 가스를 공급하고,상기 트렌치는 일정한 내반경 및 외반경을 가지는 호 형상이고, 상기 트렌치는 상기 사각형 전극의 대각선 방향에서 서로 분리되고,상기 외반경과 내반경의 차이는 10 밀리미터 내지 30 밀리미터이고,상기 RF 전원의 주파수는 30 Mhz 내지 100Mhz인 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마 발생용 전극 구조체
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기판 홀더와 마주보고 RF 전원으로부터 임피던스 매칭 네트워크를 통하여 그 중심에 전력을 공급받고 진공 용기의 내부에 축전 결합 플라즈마를 형성하는 사각형 전극; 상기 기판 홀더 상에 배치된 기판과 마주보고 상기 사각형 전극의 중심에 대하여 대칭적으로 배치되고 상기 사각형 전극을 관통하는 적어도 4개의 트렌치; 및상기 트렌치를 채우는 절연 부재를 포함하고,복수의 노즐은 상기 사각형 전극에 형성되고,상기 노즐은 일정한 간격으로 매트릭스 형태로 배치되고,상기 전극의 일면은 상기 기판 홀더를 바라보고,가드부는 상기 사각형 전극의 타면을 감싸도록 배치되고,상기 가드부와 상기 사각형 전극의 타면 사이의 공간은 상기 노즐들에 가스를 공급하는 가스 분배 영역을 형성하고,가스 공급관은 상기 가스 분배 영역에 가스를 공급하고,상기 트렌치는 소정의 폭을 가지는 직선 슬롯 형상이고, 상기 트렌치는 상기 사각형 전극의 변을 따라 배열되고, 상기 트렌치는 상기 사각형 전극의 대각선 방향에서 서로 분리되고,상기 트렌치의 폭은 10 밀리미터 내지 30 밀리미터이고,상기 RF 전원의 주파수는 30 Mhz 내지 100Mhz인 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마 발생용 전극 구조체
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기판 홀더와 마주보고 RF 전원으로부터 임피던스 매칭 네트워크를 통하여 그 중심에 전력을 공급받고 진공 용기의 내부에 축전 결합 플라즈마를 형성하는 사각형 전극; 상기 기판 홀더 상에 배치된 기판과 마주보고 상기 사각형 전극을 관통하는 적어도 4개의 직선 슬롯 형상의 트렌치; 및상기 트렌치를 채우는 절연 부재를 포함하고,복수의 노즐은 상기 사각형 전극에 형성되고,상기 노즐은 일정한 간격으로 매트릭스 형태로 배치되고,상기 전극의 일면은 상기 기판 홀더를 바라보고,가드부는 상기 사각형 전극의 타면을 감싸도록 배치되고,상기 가드부와 상기 사각형 전극의 타면 사이의 공간은 상기 노즐들에 가스를 공급하는 가스 분배 영역을 형성하고,가스 공급관은 상기 가스 분배 영역에 가스를 공급하고,상기 트렌치는 소정의 폭을 가지는 직선 슬롯 형상이고,상기 트렌치의 폭은 10 밀리미터 내지 30 밀리미터이고,상기 RF 전원의 주파수는 30 Mhz 내지 100Mhz이고,상기 사각형 전극의 중심은 직각좌표계의 중심과 일치하고, 상기 사각형 전극의 변은 x-y 평면의 좌표축과 나란히 배치되고, 상기 트렌치는 제1 내지 제4 트렌치를 포함하고,상기 제1 트렌치는 양의 x축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근에서 양의 y축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근을 향하여 연장되고,상기 제2 트렌치는 양의 y축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근에서 음의 x축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근을 향하여 연장되고,상기 제3 트렌치는 음의 x축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근에서 음의 y축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근을 향하여 연장되고,상기 제4 트렌치는 음의 y축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점 부근에서 양의 x축이 상기 사각형 전극의 변을 이등분하는 지점을 향하여 연장되는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마 발생용 전극 구조체
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제 8항에 있어서,상기 제1 트렌치 내지 제4 트렌치는 각각 2 개로 분할되는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마 발생용 전극 구조체
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