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(ㄱ) 표면에 패턴이 형성된 고분자 몰드를 제조하는 단계와,(ㄴ) 상기 고분자 몰드의 패턴 내에 유동성 재료를 도포하는 단계와,(ㄹ) 2차 구조체 지지 기판을 상기 고분자 몰드의 패턴 위에 배치하는 단계와,(ㅁ) 상기 유동성 재료를 경화시켜 상기 2차 구조체 지지 기판에 부착하는 단계와,(ㅂ) 상기 2차 구조체 지지 기판과 상기 고분자 몰드를 분리시켜, 상기 유동성 재료가 경화되면서 형성된 유동성 재료 경화구조체가 부착된 2차 구조체 지지 기판을 얻는 단계를 포함하고,상기 (ㄱ)단계는,(ㄱ-1) 마스터 기판에 패턴을 형성하여 마스터 몰드를 제작하는 단계와,(ㄱ-2) 상기 마스터 몰드 상에 제1고분자 용액을 도포한 후 경화 전에 상기 제1고분자 용액 위에 고분자 몰드용 기판을 배치하여 경화함으로써 역상의 패턴이 형성된 고분자 몰드를 제조하는 단계와,(ㄱ-3) 상기 고분자 몰드를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계와,(ㄱ-4) 상기 고분자 몰드의 역상의 패턴 상에 금속 층을 형성하는 단계를 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄴ)단계 이후에(ㄷ) 스크래핑 공정을 이용하여 상기 고분자 몰드의 패턴 내부로 유동성 재료를 밀어 넣어 충진하고, 외부에 잔류하는 유동성 재료를 제거하는 단계를 더 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄱ)단계는,(ㄱ-5) 상기 고분자 몰드의 금속 층에 제2고분자 용액을 도포한 후 경화하여 마스터 몰드와 동일한 패턴이 형성된 복제 고분자 몰드를 제조하는 단계와,(ㄱ-6) 상기 복제 고분자 몰드를 상기 고분자 몰드에서 분리하는 단계와, (ㄱ-7) 상기 복제 고분자 몰드의 패턴 상에 금속 층을 형성하는 단계를 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 층은, Cr, Ti, Pt, Mn, Au, Ni, Cu, Al, Zn, Fe, Co, W, Sn, P로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 몰드용 기판은 롤 형태로 감겨 있는 유연한 재질의 기판이며, 상기 고분자 몰드용 기판을 배치하는 단계는 제1고분자 용액이 도포된 상기 마스터 몰드에 롤 형태로 감겨 있는 기판을 접촉시킨 후 상기 롤을 상기 마스터 몰드에 대해서 굴려 유연한 재질의 기판을 상기 제1고분자 용액 위에 배치하는 단계인 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 몰드용 기판을 배치하는 단계는, 상기 고분자 몰드용 기판을 제1고분자 용액이 도포된 상기 마스터 몰드 위에 올린 후 롤러를 이용하여 가압하는 단계를 포함하는 단계인 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄴ)단계는,상기 유동성 재료가 도포된 고분자 용액 롤러를 이용하여, 상기 고분자 몰드 상에 유동성 재료를 도포하는 단계를 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄴ)단계는,스핀코팅, 드랍핑(dropping), 프린팅 중에서 선택된 방법으로 유동성 재료를 도포하는 단계인 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유동성 재료는,열경화성 수지 조성물, 광경화성 수지 조성물, 자연경화성 수지 조성물, 전도성 페이스트, 투명한 수지 조성물 중에서 선택되는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄹ)단계 이후에,상기 2차 구조체 지지 기판을 가압하는 단계를 더 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 2차 구조체 지지 기판에는 2차 구조체 막과 희생층이 순차적으로 형성되어 있으며,상기 (ㅂ)단계 이후에,(ㅅ) 식각 공정을 통해서 노출된 상기 희생층과 2차 구조체 막을 제거하는 단계와,(ㅇ) 잔존하는 희생층과 그 희생층 위에 형성된 상기 유동성 재료 경화구조체를 제거하여 2차 구조체 패턴이 형성된 2차 구조체 지지 기판을 얻는 단계를 더 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 2차 구조체 지지 기판에는 희생층이 형성되어 있으며,상기 (ㅂ)단계 이후에,(ㅈ) 식각 공정을 통해서 노출된 상기 희생층을 제거하는 단계와,(ㅎ) 희생층이 제거된 2차 구조체 지지 기판에 2차 구조체 막을 증착하는 단계와, (ㅋ) 잔존하는 희생층과 그 희생층 위에 형성된 상기 유동성 재료 경화구조체와 2차 구조체 막을 제거하여 2차 구조체 패턴이 형성된 2차 구조체 지지 기판을 얻는 단계를 더 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄱ)단계는,표면에 패턴이 형성된 롤러 형태의 마스터 몰드를 제작하는 단계와,고분자 기판을 제공하는 단계와,상기 마스터 몰드를 이용하여 상기 고분자 기판에 상기 마스터 몰드 표면에 형성된 패턴을 전사하여 고분자 몰드를 제조하는 단계와, 상기 고분자 몰드의 역상의 패턴 상에 금속 층을 형성하는 단계를 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄱ)단계는 고분자 몰드의 패턴 상에 이형성 향상을 위한 금속 층을 형성하는 단계를 포함하는 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (ㄱ) 단계는 음각 패턴의 내부에 복수의 기둥 형태의 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 단계인 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법
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