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제1방향 및 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 펼쳐지는 2차원 평면 형태의 기판(110);상기 기판(110) 상에 제1방향으로 서로 이격 배치되는 한 쌍의 전극(120);제1방향의 양단이 한 쌍의 상기 전극(120)에 접촉하도록 상기 기판(110) 상에 배치되는 그래핀(130);제2방향으로 연장되며 상기 그래핀(130)의 제1방향 중간 부분에 배치되는 금선(135);제1방향으로 연장되며 상기 그래핀(130)에 상응하는 위치를 포함하는 위치에 배치되는 홈 형태로 이루어지는 마이크로채널(145)이 하부에 형성되며, 상기 전극(120), 상기 그래핀(130) 및 상기 금선(135)이 배치된 상기 기판(110) 상부를 덮도록 배치되는 실링부(140);를 포함하여 이루어져,상기 마이크로채널(145)을 통해 제1방향으로 흐르도록 유통되는 검사대상유체에 포함된 수은 이온과 상기 그래핀(130) 및 상기 금선(135)의 상호작용에 의하여 발생되어 한 쌍의 상기 전극(120)에서 검출되는 전기 신호를 사용하여 검사대상유체 내의 수은 이온의 농도를 측정하는 것을 특징으로 하는 수은 센서
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제 1항에 있어서, 상기 금선(135)은폭이 수십 μm 범위로 형성되며, 깊이가 수십 nm 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 수은 센서
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제 1항에 있어서, 상기 전극(120)은크롬 또는 금 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수은 센서
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제 1항에 있어서, 상기 실링부(140)는PDMS 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수은 센서
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제 1항에 있어서, 상기 수은 센서(100)는상기 그래핀(130)의 제1방향 일측으로 검사대상유체를 공급하는 공급로(151), 상기 그래핀(130)의 제1방향 타측에 구비되어 제1방향을 따라 상기 그래핀(130) 위를 흘러간 검사대상유체를 배출하는 배출로(152), 상기 공급로(151) 또는 상기 배출로(152) 중 선택되는 적어도 어느 하나에 구비되어 검사대상유체를 유통시키는 주입펌프(153)를 포함하여 이루어지는 유체유통부(150);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수은 센서
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제 1항의 수은 센서(100)를 제작하는 방법에 있어서,상기 기판(110)이 배치되는 단계;상기 기판(110) 상에 한 쌍의 상기 전극(120)이 패터닝되는 단계;한 쌍의 상기 전극(120) 사이에 상기 그래핀(130)이 전사되는 단계;상기 전극(120) 및 상기 그래핀(130) 위에 포토레지스트가 도포되는 단계;상기 그래핀(130)의 중간 부분 위치에 상기 그래핀(130) 및 상기 기판(110)이 에칭되어 제2방향으로 연장되는 선형 홈이 형성되는 단계;상기 선형 홈 내에 금이 증착되어 채워짐으로써 상기 금선(135)이 형성되는 단계;상기 포토레지스트가 제거되는 단계;상기 실링부(140)가 상기 전극(120), 상기 그래핀(130) 및 상기 금선(135)을 덮도록 배치되어 고정되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수은 센서의 제작 방법
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