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고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법에 있어서,(i) 제 1 기판 상에 초기 미세 구조 패턴을 형성하는 단계; (ii) 상기 제 1 기판 상의 초기 미세 구조 패턴을 변형시켜, 미세 구조 패턴을 형성하는 마스터 몰드 제조 단계; (iii) 상기 마스터 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고, 경화시켜 고분자 몰드를 제조하는 단계; (iv) 상기 경화된 고분자 몰드를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계;(v) 상기 분리된 고분자 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고, 상기 고분자 용액을 반경화시키는 단계;(vi) 상기 반경화된 고분자 용액 상에 제 2 기판을 부착시키고, 상기 고분자 용액을 경화시키는 단계; 및(vii) 상기 경화된 고분자 용액에서 상기 고분자 몰드를 분리하여 미세 구조를 완성하는 단계를 포함하며,상기 (ⅴ)단계 이전에, 상기 고분자 몰드를 SiO2로 코팅하여, 제조되는 상기 미세 구조 표면에 친수성을 부여하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (i) 단계는 (a) silicon(Si), PDMS(Polydimethylsiloxane), 유리(Glass), 석영(Quartz), PET(polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PU(polyurethene) 및 COC(cyclic olefin copolymer) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 상기 제 1 기판을 준비하는 단계;(b) 산화(oxidation), 증착(evaporation), 에칭(etching) 포토리소그래피(photolithography), 포토레지스트 몰드(Photoresist mold) 및 전기도금(electroplating) 중의 적어도 어느 하나 이상의 기법을 이용해 상기 제 1 기판 상에 초기 미세 구조 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (ii) 단계에서,열산화(thermal oxidation), 화학기상증착(chemical vapor deposition) 및 플라즈마 스퍼터링(plasma sputtering) 중의 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 초기 미세 구조 패턴을 변형시켜 상기 미세 구조 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (iii)단계의 고분자 용액은 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 에폭시(Epoxy)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (v)단계의 고분자 용액은 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 에폭시(Epoxy)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (iii) 단계에서, 상기 도포된 고분자 용액 상에 지지기판을 부착시키고, 상기 지지기판 상에 500 내지 5,000 mJ/㎠의 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시키는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 6에 있어서, 롤링(rolling)을 통해 기포 없이 상기 고분자 용액에 상기 지지기판을 부착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (v) 단계에서상기 고분자 용액에 5 내지 20 mJ/㎠의 자외선을 조사하는 방법으로상기 고분자 용액을 반경화시키는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (vi) 단계에서, 상기 제 2 기판 상에 500 내지 5,000 mJ/㎠의 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시키는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (vi) 단계에서, 롤링(rolling)을 통해 기포 없이 상기 고분자 용액에 상기 제 2 기판을 부착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제 2 기판은 COC(cyclic olefin copolymer), 유리(glass), PET(polyethylene terephthalate), 종이(paper), 금속 박(metal foil), 직물(fabric), 그리드(grid) 및 플라스틱(plastic) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 몰드를 이용한 미세 구조의 제조 방법
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미세 구조에 있어서, 청구항 1 내지 11의 어느 하나의 방법으로 제조되며플렉시블(flexible)한 표면에 부착하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 미세 구조
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미세 구조를 포함하는 장치에 있어서, 청구항 12의 미세 구조를 포함하며, 바이오 칩, 바이오 센서, 웨어러블 센서(wearable sensor), 광학 부품 및 배터리 제조 기판 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조를 포함하는 장치
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