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광자기.타원 분광기

  • 기술번호 : KST2015117601
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광자기 커 회전각과 타원율을 빛의 파장을 바꾸어가면서 측정할 수 있는 광자기 커 분광기(magneto-optical Kerr spectrometer)와 광학적 특성을 측정할 수 있는 분광 타원 해석기(spectroscopic ellipsometer)의 기능을 동시에 갖춘 광자기ㆍ타원 분광기에 관한 것으로, 특히 2개의 서로 다른 방향에 놓인 제1 시료 및 제2 시료에 조사하는 빔을 발생시키는 광원과; 상기 광원에서 조사된 빔이 자기장안에 놓인 제1 시료의 광자기 커 효과에 의하여 타원평광되는 빔이 후기의 이중 광검출 수단에 입력되도록 하는 자기 광학적 수단과; 상기 광원에서 조사된 빔이 제2 시료의 광학적 성질에 의하여 그 편광상태가 변화되어 이중 광검출 수단에 입력되도록 하는 분광 타원 해석적 수단과; 상기 자기 광학적 수단 및 분광 타원 해석적 수단에서 입력되는 광을 선택적으로 받아들여 광측정 수단에 출력하는 이중 광검출 수단 및 상기 이중 광검출 수단에서 입력되는 빛을 이용하여 선택적으로 커 회전각 및 타원율을 측정하는 광자기 커 분광 분석 기능을 수행하거나 복소 굴절율을 측정하는 분광 타원 해석기능을 수행하는 광측정 수단으로 구성되는 광자기ㆍ타원 분광기 제공하여, 각기 다른 장비인 광자기 커 분광기와 분광 타원 해석기를 독립적으로 이용해야만 하는 광자기 효과에 대한 연구를 하나의 장비를 이용해서 가능케 하여, 제작시의 단가 절감은 물론 데이터의 분석과 해석의 용이함을 극대화할 수 있다.
Int. CL G01J 3/00 (2006.01) G01N 21/00 (2006.01)
CPC G01J 3/0275(2013.01) G01J 3/0275(2013.01) G01J 3/0275(2013.01)
출원번호/일자 1019970032574 (1997.07.14)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0222320-0000 (1999.07.05)
공개번호/일자 10-1999-0009974 (1999.02.05) 문서열기
공고번호/일자 (19991001) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.07.14)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신성철 대한민국 대전광역시 유성구
2 유천열 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.14 수리 (Accepted) 1-1-1997-0104211-18
2 특허출원서
Patent Application		 1997.07.14 수리 (Accepted) 1-1-1997-0104210-73
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.07.14 수리 (Accepted) 1-1-1997-0104212-64
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0105086-91
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1999.05.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5203597-78
10 의견서
Written Opinion		 1999.05.31 수리 (Accepted) 1-1-1999-5203596-22
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
12 등록사정서
Decision to grant		 1999.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0208646-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

제1 시료 및 제2 시료에 조사하는 빔을 발생시키는 광원과; 상기 광원에서 조사된 빔이 자기장안에 놓인 제1 시료의 광자기 커 효과에 의하여 타원편광되는 빔이 후기의 이중 광검출 수단에 입력되도록 하는 자기 광학적 수단과; 상기 광원에서 조사된 빔이 제2 시료의 광학적 성질에 의하여 그 편광상태가 변화되어 이중 광검출 수단에 입력되도록 하는 분광 타원 해석적 수단과; 상기 자기 광학적 수단 및 분광 타원 해석적 수단에서 입력되는 광을 선택적으로 받아들여 광측정 수단에 출력하는 이중 광검출 수단 및; 상기 이중 광검출 수단에서 입력되는 빛을 이용하여 선택적으로 커 회전각 및 타원율을 측정하는 광자기 커 분광 기능을 수행하거나 복소 굴절율을 측정하는 분광 타원 해석 기능을 수행하는 광측정 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광자기ㆍ타원 분광기

2 2

제1항에 있어서, 상기 광원은 서로 다른 방향에 놓인 제1 시료 및 제2 시료에 빔이 조사되도록 2개의 서로 다른 방향으로 조사빔을 발생시키는 것을 특징으로 하는 광자기ㆍ타원 분광기

3 3

제1항에 있어서, 상기 자기 광학적 수단은 상기 광원에서 발생되는 조사빔이 상기 제1 시료에 수직으로 입사하도록 소정 형태로 소정 위치로 놓이며, 입사되는 빛의 강도를 높이는 제1타원경과; 상기 제1타원경을 통과하는 빔을 편광시키는 제1편광자와; 상기 제1편광자를 통과한 조사빔이 제1 시료에 수직으로 입사되어 반사될 때에 자기 광학 효과에 의해 타원편광되도록 자기장을 발생시키는 전자석과; 타원편광된 조사빔이 상기 이중 광검출 수단으로 입사되는 경로에 순차적으로 놓이는 광의 위상을 변조하는 제1검광자 및 상기 제1검광자를 통과한 빛을 상기 이중 광검출 수단의 입사슬릿으로 반사시키는 제2타원경을 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기ㆍ타원 분광기

4 4

제1항에 있어서, 상기 분광 타원 해석적 수단은, 상기 광원에서 발생되어 제3타원경을 통한 조사빔을 선편광시키는 제2편광자와; 선편광된 조사빔이 제2 시료에 소정의 경사각으로 입사하기 전에 광의 위상을 변조도록 놓여지는 제2광탄성변조기와; 상기 제2 시료의 광학적 성질에 의해서 그 편광상태가 변화되어 반사되는 조사빔이 상기 이중 광검출 수단으로 입사되는 경로에 순차적으로 놓이는 편광상태의 빛에서 광학축의 방향으로 투영된 성분을 검출하는 제2검광자 및 상기 제2검광자를 통과한 빛을 상기 이중 광검출 수단의 입사슬릿으로 반사시키는 제4타원경을 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기ㆍ타원 분광기

5 5

제1항에 있어서, 상기 이중 광검출 수단은 상기 자기 광학적 수단과 분광 타원 해석적 수단으로부터 빔이 입력되도록 2개의 입사 슬릿을 구비하며, 2개의 입사 슬릿 중 어느 하나의 슬릿으로 조사빔이 선택적으로 입사되도록 하는 평면 거울과; 상기 평면 거울의 각도를 조절할 수 있는 각도조절수단과; 상기 평면 거울에서 반사되는 빔이 슬릿을 통해 광측정 수단에 입력되도록 경로를 설정하는 경로설정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기ㆍ타원 분광기

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.