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미세장치 매립형 온도센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015117784
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세장치 매립형 온도센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 실리사이드물질과 비귀금속물질을 통해 열전대 및 온도보상 회로를 구성하여 미세장치 내부와 같은 국소공간이나 유동장에 방해를 주지 않고 온도구배 측정이 필요한 부위에 직접 설치되어 넓은 온도 영역대를 계측할 수 있으며, 실리사이드물질과 비귀금속물질을 통해 센서의 민감도를 높이고 선형성을 확보하면서 귀금속 물질대비 경제적이고 성능이 우수하다.
Int. CL G01K 7/13 (2006.01) G01K 7/12 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G01K 1/20 (2006.01)
CPC G01K 7/13(2013.01) G01K 7/13(2013.01) G01K 7/13(2013.01) G01K 7/13(2013.01)
출원번호/일자 1020120012036 (2012.02.06)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1386594-0000 (2014.04.11)
공개번호/일자 10-2013-0090706 (2013.08.14) 문서열기
공고번호/일자 (20140417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.06)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권세진 대한민국 대전 유성구
2 박현철 대한민국 대전 유성구
3 정은상 대한민국 대전 유성구
4 문용준 대한민국 대전 유성구
5 김용대 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아주 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-0097013-41
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0033299-91
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0386263-20
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0709680-42
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0709681-98
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0872125-50
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0068049-84
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0068050-20
11 등록결정서
Decision to grant
2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0222139-11
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 이종물질로 이격되어 각각 길게 배치된 제 1열전대와 제 2열전대; 상기 제 1열전대와 상기 제 2열전대의 일측 끝단이 서로 접촉된 고온대; 상기 제 1열전대의 타측 끝단에 배치된 저온대; 및 상기 제 1열전대와 상기 제 2열전대의 타측 끝단 사이에 배치된 RTD(Resistance Temperature Detector)방식의 온도보상부를 포함하되, 상기 제 1열전대는 실리사이드 계열물질이고, 상기 제 2열전대와 상기 온도보상부는 비귀금속 물질인 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 실리사이드 계열물질은 크롬실리사이드이고, 상기 비귀금속 물질은 니켈인 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서
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삭제
5 5
삭제
6 6
기판 상에 제 1열전대를 형성하기 위한 제 1마스크를 통해 제 1감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 제 1감광막 패턴이 형성된 전면에 제 1열전대물질을 증착하고 열처리를 진행하는 단계; 상기 열처리를 진행한 후 상기 제 1감광막 패턴이 제거되도록 전면식각하여 상기 제 1열전대를 형성하는 단계; 상기 제 1열전대를 형성한 후 제 2열전대 및 온도보상부를 형성하기 위한 제 2마스크를 통해 제 2감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 제 2감광막 패턴이 형성된 전면에 제 2열전대물질을 증착하는 단계; 상기 제 2열전대물질을 증착한 결과물을 전면식각하여 상기 제 2감광막 패턴을 제거한 후 전면에 절연막을 증착하는 단계; 및 상기 절연막을 증착한 후 제 3마스크를 통해 식각하여 접촉부위를 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서의 제조방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 제 1열전대물질은 실리사이드 계열물질인 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서의 제조방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 실리사이드 계열물질은 크롬실리사이드인 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서의 제조방법
9 9
제 6항에 있어서, 상기 제 2열전대물질은 비귀금속 물질인 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서의 제조방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 비귀금속 물질은 니켈인 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서의 제조방법
11 11
제 6항에 있어서, 상기 제 1열전대물질 및 상기 제 2열전대물질은 스퍼터링방식으로 증착하는 것을 특징으로 하는 미세장치 매립형 온도센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.