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수직공진 표면발광 레이저

  • 기술번호 : KST2015118334
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광인도관로들로 형성된 광도파형 수직공진 표면발광 레이저에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 수직공진 표면발광 레이저는; 기판 하면에 하부전극을 형성하고 기판 상에 하부 브래그 반사경층, 활성층, 상부 브래그 반사경층, 상기 상부 브래그 반사경층, 및 상부전극을 순차적으로 적층하며, 자신의 내에 중앙부를 중심으로 하여 둘러싸고 있는 주변부에 복수 개의 광인도관로를 마련하여 광도파로 구조를 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래와 같이 물성을 변화시키지 않고도 광인도관로들로 유효 굴절율을 변화시킬 수 있는 광도파로 구조를 형성하여 다양한 광 모드 조절이 가능하므로 반도체 산업 발전에 지대한 영향을 줄 것며, 이러한 광인도관로들은 물질계에 관계없이 반도체 레이저에 형성 가능하고 종래의 산화막 형성과는 달리 쉬운 재현성으로 간단한 공정만으로도 형성 가능하다. 광인도관로, 광도파로 구조, 단일 광모드, 유효 굴절률, 발진 파장
Int. CL H01S 5/18 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020020377 (2002.04.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0465915-0000 (2005.01.03)
공개번호/일자 10-2003-0081918 (2003.10.22) 문서열기
공고번호/일자 (20050113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.04.15)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이용희 대한민국 대전광역시서구
2 송대성 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-0111585-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0001894-42
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0215952-04
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.06.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0281830-77
8 의견서
Written Opinion
2004.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2004-0281823-57
9 등록결정서
Decision to grant
2004.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0557769-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

기판 하면에 하부전극을 형성하고 기판 상에 하부 브래그 반사경층, 활성층, 상부 브래그 반사경층 및 상부전극이 순차적으로 적층되며;

코어부로 이루어진 중앙부와 상기 중앙부를 중심으로하여 둘러싸고 있는 클래드부로 이루어지며 상기 주변부에는 복수 개의 광인도관로가 마련되되, 상기 광인도관로들은 하나의 광인도관로의 중심에서 인접하는 다른 광인도관로의 중심까지의 거리값, 즉 광인도관로 중심 거리값 Λ은 발진 파장의 1∼50배로서 일정한 값을 갖도록 일정한 형상으로 배열되고, 상기 코어부의 직경 a는 0

2 2

기판 하면에 하부전극을 형성하고 기판 상에 하부 브래그 반사경층, 활성층, 상부 브래그 반사경층 및 상부전극이 순차적으로 적층되며;

코어부로 이루어진 중앙부와 상기 중앙부를 중심으로하여 둘러싸고 있는 클래드부로 이루어지며 상기 주변부에는 복수 개의 광인도관로가 마련되되, 상기 광인도관로들은 하나의 광인도관로의 중심에서 인접하는 다른 광인도관로의 중심까지의 거리값, 즉 광인도관로 중심 거리값 Λ들은 발진 파장의 1∼50배이지만 모두 서로 다른 중심 거리값을 갖거나 또는 일부의 광인도관로 중심 거리값만이 동일한 값을 갖도록 배열되고, 상기 코어부의 직경 a는 0

3 3

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광도파로 구조는 상기 상부 브래그 반사경층, 활성층 및 하부 브래그 반사경층 중에서 선택된 적어도 하나의 층에 형성되고;

상기 전류 제한 구조는 상기 상부 브래그 반사경층, 활성층 및 하부 브래그 반사경층 중에서 선택된 적어도 하나의 층에 이온 주입하거나 산화막층을 형성함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

4 4

삭제

5 5

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들의 상기 배열의 형상은 원, 타원 또는 다각형의 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

6 6

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들의 상기 배열은 방사 대칭으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

7 7

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들의 단면은, 원, 타원 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

8 8

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들의 단면의 크기는, 상기 중앙부에서 멀어질수록 커지는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

9 9

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들 각각 길이를, 동일한 길이로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

10 10

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들 각각 길이를, 상기 중심부에서 멀어질 수록 길게 형성하는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

11 11

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들 각각의 길이는, 0

12 12

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광인도관로들은 자신의 내부를 공기, 금속, 반도체 물 질, 또는 유기물질로 채우는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

13 13

제 12항에 있어서, 상기 금속은 Au, AuZn, 또는 AuSn이며, 상기 반도체 물질은 GaAs, AlGaAs, AlAs, InP, InGaAsP, InGaAs, 또는 InAlAs 이고, 상기 유기 물질은 에폭시 또는 폴리이미드인 것을 특징으로 하는 수직공진 표면발광 레이저

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.