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전자선 조사와 열분해를 이용한 패턴화된 금 나노입자 필름제조 방법, 이에 의해 제조된 금 나노입자 필름 및 상기 금 나노입자 필름을 포함하는 생화학 센서

  • 기술번호 : KST2015118458
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자선 조사와 열분해를 이용한 패턴화된 금 나노입자 필름 제조 방법, 이에 의해 제조된 금 나노입자 필름 및 상기 금 나노입자 필름을 포함하는 생화학 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 금 전구체 필름에 전자선을 선택적으로 조사하여 패턴화된 금 전구체 필름을 만들고, 열분해를 통해 상기 패턴화된 금 전구체 필름을 금 나노입자로 변환시켜 패턴화된 금 나노입자 필름을 제조하는 방법, 이에 의해 제조된 금 나노입자 필름 및 상기 금 나노입자 필름을 포함하는 생화학 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 선택적 전자선 조사를 통하여 대면적에 패턴화된 금 전구체 필름을 효율적으로 생산할 수 있고, 열분해를 통하여 고순도의 패턴화된 금 전구체 필름을 대면적 및 고속 생산할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 금 나노입자 필름은 전기적, 광학적 특성이 매우 우수하므로, 미소량의 생화학물질을 감지할 수 있는 민감도가 우수한 생화학 센서로 활용될 수 있을 뿐만 아니라, 단백질과 같은 특정 생물학적 작용기를 인식하는 바이오칩 (biochip)에도 유용하게 사용할 수 있다. 금속, 나노, 전자선, 열분해, SERS
Int. CL B29D 7/01 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) C08J 5/18 (2006.01)
CPC C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01) C08J 5/18(2013.01)
출원번호/일자 1020090003832 (2009.01.16)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1079744-0000 (2011.10.28)
공개번호/일자 10-2010-0084372 (2010.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (20111103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성오 대한민국 대전광역시 유성구
2 김용남 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0030123-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.07.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.08.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0049068-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0058867-68
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0236515-97
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0236516-32
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0624240-28
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
사염화금산(HAuCl4, Hydrogen tetrachloroaurate(III)), 삼염화금(AuCl3, Gold trichloride), 사염화금칼륨(KAuCl4, Potassium Tetrachloroaurate), 수산화금(Au(OH)3, Gold(III) hydroxide), 산화금(Au2O3, Goldoxide) 및 황화금(Au2S3, Gold sulfide) 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 또는 이의 혼합물인 금 전구체의 수용액을 제조하는 단계(단계 1); 상기 단계 1의 금 전구체 수용액에 폴리디알릴디메틸암모늄 클로라이드(poly(diallyldimethyl ammonium chloride)) 수용액과 에틸렌글리콜을 혼합하여 금 전구체 혼합 용액을 제조하는 단계(단계 2): 상기 단계 2의 혼합 용액을 기판 표면에 코팅하여 금 전구체 필름을 형성하는 단계(단계 3); 상기 단계 3의 금 전구체 필름에 선택적으로 전자선을 조사하여 전구체 물질을 가교(cross-linking)시킨 후, 현상(developing)을 통해 패턴화된 금 전구체 필름을 형성시키는 단계(단계 4); 및 상기 단계 4의 패턴화된 전구체 필름을 열분해하여 금 나노입자 필름을 형성시키는 단계(단계 5)를 포함하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 금 전구체 수용액은 금 전구체의 농도가 0
5 5
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 혼합은 상기 단계 1의 금 전구체 수용액, 폴리디알릴디메틸암모늄 클로라이드(poly(diallyldimethyl ammonium chloride)) 수용액과 에틸렌글리콜은 부피비로 0
6 6
제1항에 있어서, 상기 단계 3의 금 전구체 필름은 두께가 0
7 7
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 전자선을 조사하는 것은 마스크를 이용하여 상기 단계 3의 금 전구체 층을 선택적으로 조사하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 전자선은 10 ~ 30 keV 의 세기로 조사하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 전자선은 30 ~ 65 μA·cm-2 의 전류밀도로 조사하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 전자선은 1 ~ 10 분 동안 조사하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 단계 5의 열분해는 500 ~ 600 ℃ 에서 10 분 ~ 1 시간동안 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
12 12
제1항에 있어서, 상기 금 나노입자는 직경이 10 ~ 150 nm 인 것을 특징으로 하는 패턴화된 금 나노입자 필름의 제조 방법
13 13
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14 14
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15 15
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국과학기술원 원자력연구개발사업 전자선을 이용한 첨단 기능성 나노물질 생산기술 개발