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이온클러스터빔을이용한레이저거울의제조방법

  • 기술번호 : KST2015120064
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저를 발생시키는 장비, 또는 레이저를 이용하는 장비에 필수적으로 장착되어야 하는 레이저 거울의 제조방법에 관한 것으로, 원자의 증착이 아닌 102 ∼ 103개 원자들의 모임인 덩어리를 이온화시키고 고전압을 걸어 가속화시켜서 기판을 때림으로서 기판에서 퍼지는 현상이 일어나도록 함으로써 1. 고밀도 금속 박막, 2. 고 평탄성 금속 박막, 3. 기판과 금속간의 고 접착력, 4. 제조한 금속 박막과 기판간의 예리한 계면 형성 등을 모두 만족하는 레이저 거울을 제작하도록 한 것이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01) H01S 3/18 (2006.01)
CPC H01L 21/2855(2013.01) H01L 21/2855(2013.01) H01L 21/2855(2013.01)
출원번호/일자 1019940025241 (1994.10.01)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0134547-0000 (1997.12.31)
공개번호/일자 10-1996-0016030 (1996.05.22) 문서열기
공고번호/일자 (19980420) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.10.01)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고석근 대한민국 서울특별시성북구
2 정형진 대한민국 서울특별시성동구
3 이지연 대한민국 서울특별시동작구
4 김철호 대한민국 서울특별시종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 주식회사 유남옵틱스 경기도 이천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1994.10.01 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114386-64
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.10.01 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114388-55
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.10.01 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114387-10
4 등록사정서
Decision to grant		 1997.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0064184-24
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

금속재료를 클러스터 형성부분과, 이온화부분과, 그리고 가속화부분으로 이루어진 금속이온원의 도가니에 넣고 도가니의 압력을 조정하는 단계와, 레이저 거울의 제조를 위한 기판을 진공장치에 장착하는 단계와, 금속이온원에 전원을 공급하는 단계와, 도가니 필라멘트를 작동시켜 열전자를 방출시키고 도가니 필라멘트와 도가니 사이에 고전압을 인가하고 도가니에 온도를 가열하여 금속 증기입자, 또는 클러스터를 발생시키는 단계와, 금속 증기 입자, 또는 클러스터를 이온화 필라멘트와 이온화 전압을 이용하여 이온하시키는 단계와, 기판에 걸어준 가속 전압을 이용하여 금속 중기 입자, 또는 클러스터에 에너지를 부여하여 기판에 증착시키는 단계의 순으로 진행함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법

2 2

제1항에 있어서, 도가니 압력 조정단계에서 도가니의 압력을 10-6 torr 이하로 유지함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법

3 3

제1항에 있어서, 금속 증기 입자, 또는 클러스터를 발생시키는 단계에서 도가니의 온도를 1500-1600°C 로 유지함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법

4 4

제1항에 있어서, 가속 전압을 3kV로 유지함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.