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대변위 작동형 구동기

  • 기술번호 : KST2015120809
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대변위 작동형 구동기에 관한 것이다. 보다 상세하게는 구동기의 양 전극간 간격을 최소한의 선폭을 갖도록 줄임으로서 서브 마이크로 간격이 형성된 영역에서 변위를 최대한으로 증대시킬 수 있는 기술에 관한 것이다. 본 발명은 대변위 작동형 구동기에 있어서, 고정된 상태에서 자세를 유지하여 변위를 발생시키는 고정전극(100)과; 가동전극 구동빔(210)이 선단에 돌출되어 형성되며, 구동기가 구동될 때 상기 고정전극(100) 방향으로 근접하여 변위를 발생시키는 지지빔(200)을 구비하며; 상기 고정전극(100)과 가동전극 구동빔(210)이 결합될 때, 상기 가동전극 구동빔(210)의 지지빔(200)이 결합된 부위의 전극간 초기에는 공정 가능한 최소 선폭 만큼의 전극 간격(300)을 유지하여 최소한의 구동력을 얻으며, 동작시에는 고정전극(100)과 가동전극 구동빔(210) 간의 간격이 적어도 1㎛ 이하의 서브마이크로 간격(400)을 갖도록 유지하여 대변위의 구동력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 대변위 작동형 구동기가 제시된다. 따라서, 본 발명은 대변위 작동형 구동기를 구현함으로서 전기도금 공정을 이용하여 고 형상비를 갖는 구조물을 제작할 경우 광스위치, 광 셔터(shutter), x-y 스테이지 등에 적용할 수 있다. MEMS, 구동기, 대변위, 서브 마이크로 간격
Int. CL B81B 7/00 (2006.01)
CPC B81B 3/0021(2013.01) B81B 3/0021(2013.01) B81B 3/0021(2013.01) B81B 3/0021(2013.01)
출원번호/일자 1020010066261 (2001.10.26)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0485592-0000 (2005.04.18)
공개번호/일자 10-2003-0034609 (2003.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20050427) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도 남양주시
2 채경수 대한민국 서울특별시 은평구
3 강호관 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0276037-55
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2001-0296986-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061212-36
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2003-0024185-38
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0352003-91
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2003-0418165-57
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2003-0460621-06
10 의견서
Written Opinion		 2004.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2004-0002949-80
11 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.01.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0002952-17
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0325875-88
13 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2004-0456685-02
14 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2004-0518974-24
15 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2004-0578648-40
16 의견서
Written Opinion		 2005.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2005-0013149-63
17 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0013148-17
18 등록결정서
Decision to grant		 2005.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0057671-41
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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대변위 작동형 구동기에 있어서, 고정된 상태에서 자세를 유지하여 변위를 발생시키는 고정전극(100)과; 가동전극 구동빔(210)이 선단에 돌출되어 형성되며, 구동기가 구동될 때 상기 고정전극(100) 방향으로 근접하여 변위를 발생시키는 지지빔(200)을 구비하며; 상기 고정전극(100)과 가동전극 구동빔(210)이 결합될 때, 상기 가동전극 구동빔(210)의 지지빔(200)이 결합된 부위의 전극간 초기에는 공정 가능한 최소 선폭 만큼의 전극 간격(300)을 유지하여 최소한의 구동력을 얻으며, 동작시에는 고정전극(100)과 가동전극 구동빔(210) 간의 간격이 적어도 1㎛ 이하의 서브마이크로 간격(400)을 갖도록 유지하여 대변위의 구동력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 대변위 작동형 구동기
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