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마이크로 시스템의 밀폐된 순환 회로를 갖는 마이크로 채널과, 온도차에 의한 비등과 응축을 통해 상기 마이크로 채널의 동공 내에서 순환하는 작동 유체와, 상기 작동 유체의 비등과 응축을 통해 상하로 왕복운동하여 열 에너지를 기계적 운동 에너지로 변환하는 운동자와, 상기 운동자의 상하 왕복운동에 의해 기계적 운동 에너지를 전기 에너지로 변환하는 발전 소자와, 상기 작동 유체가 마이크로 채널의 동공내에서 역류가 되지 않도록 하는 역류 방지수단을, 포함하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 1에 있어서, 상기 작동 유체는 마이크로 채널 하부에 위치된 가열부와, 상부와 측부에 위치된 냉각부에 의해 비등과 응축됨을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 1에 있어서, 상기 마이크로 채널은 운동자 하부에 위치되는 박막에 의해 폐쇄되고, 작동 유체의 비등에 의해 박막이 팽창하여 개방됨을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 운동자는 마그네트인 것을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 4에 있어서, 상기 발전 소자는 마그네트에 다층으로 권취된 코일인 것을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 운동자는 단순히 질량만을 가진 더미 메스(Dummy mass)인 것을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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7
청구항 6에 있어서, 상기 발전소자는 더미 메스의 가장 자리에 연결된 PZT인 것을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 1에 있어서, 상기 역류 방지수단은 비등이 일어나고 있는 마이크로 채널에 설치된 마이크로 밸브인 것을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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청구항 1에 있어서, 상기 역류 방지수단은 비등이 일어나고 있는 마이크로 채널에 작동 유체를 공급하는 모세관 펌프인 것을 특징으로 하는 폐쇄 순환형 미세 발전기
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