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양자점 형성방법

  • 기술번호 : KST2015120992
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 양자점 형성방법은 반도체 기판 위에 기판 물질과 격자 불일치를 이루는 층으로서의 유사안정 양자우물층을 자발 형성 양자점이 형성되는 임계 두께 이하로 성장시킨 후 국소적으로 외부 에너지를 인가함으로써 양자점을 형성한다. 따라서, 본 발명은 기판에 젖은 층이 형성되지 않고, 공간적으로 대칭 구조의 양자점을 형성할 수 있으며, 양자점의 위치를 정확하게 제어할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 31/035236(2013.01) H01L 31/035236(2013.01) H01L 31/035236(2013.01) H01L 31/035236(2013.01) H01L 31/035236(2013.01)
출원번호/일자 1020030073451 (2003.10.21)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0523545-0000 (2005.10.17)
공개번호/일자 10-2005-0038215 (2005.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20051025) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.10.21)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용주 대한민국 서울특별시성북구
2 김광무 대한민국 서울특별시노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2003-0392089-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2005-0035754-34
4 등록결정서
Decision to grant
2005.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0491918-92
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 기판 위에 기판 물질과 격자 불일치를 이루는 층으로서의 유사안정 양자우물층을 자발 형성 양자점이 형성되는 임계 두께 이하로 성장시킨 후 국소적으로 외부 에너지를 인가함으로써 양자점을 형성하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 유사안정 양자우물층은 상기 임계 두께의 60%∼95%로 형성되는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 유사안정 양자우물층의 두께는 1nm∼50nm인 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 기판 물질은 갈륨비소 또는 인듐인으로 이루어지고, 상기 유사안정 양자우물층은 인듐비소 또는 인듐갈륨비소로 이루어진 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 유사안정 양자우물층의 인듐 몰분율을 성장 방향에 따라 일정하게 하거나 변화를 주어 양자점의 공간적 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
6 6
제 5항에 있어서, 성장 방향에 따른 상기 유사안정 양자우물층의 인듐 몰분율이 직선형, 단일 피크형 곡선 또는 다중 피크형 곡선으로 변하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
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제 6항에 있어서, 상기 인듐 몰분율의 변화 곡선은 상기 유사안정 양자우물층의 성장 시 인듐과 갈륨의 비율을 계단형으로 조절하거나 인듐비소/갈륨비소 초격자의 두께의 비율을 조절하여 만들어 내는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 유사안정 양자우물층은 단일층 구조 또는 다층 구조로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 유사안정 양자우물층이 다층 구조인 경우 유사안정 양자우물층들 사이에 간격층이 존재하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 간격층의 두께는 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
11 11
제 1항에 있어서, 상기 외부 에너지는 국소적인 기계적 응력, 열 응력, 초음파, 광자 또는 전계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
12 12
제 11항에 있어서, 상기 전계는 주사 탐침 현미경의 탐침을 이용하여 인가되는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
13 13
제 1항에 있어서, 상기 외부 에너지로서 미세 전극을 균일하게 배열하거나 주기적인 미세 패턴의 광원을 조사하여 주기적인 배열을 갖는 양자점을 형성하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
14 14
제 13항에 있어서, 상기 미세 패턴 광원의 조사는 레이저 홀로리소그래피 또는 전자빔 리소그래피 기술을 이용하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
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제 13항에 있어서, 상기 미세 전극의 하부 층에 형성된 양자점을 단일 전자소자로 사용하고 상기 미세 전극은 접합용 패드로 사용하여 전자소자들을 전기적으로 연결함으로써 회로를 구성하는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
16 16
제 1항에 있어서, 상기 외부 에너지의 인가에 의해 상기 유사안정 양자우물층에서 발생하는 양자점의 상전이가 안정적으로 이루어질 수 있도록 상기 유사안정 양자우물층 위에 덮개층이 있는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
17 17
제 16항에 있어서, 상기 덮개층의 두께는 5μm 이하인 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
18 18
제 1항에 있어서, 상기 양자점은 구형 또는 럭비공 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
19 18
제 1항에 있어서, 상기 양자점은 구형 또는 럭비공 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 양자점 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.