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(1) Cu의 전구체, Zn의 전구체 및 Sn의 전구체들을 서로 혼합하는 단계;(2) 상기 혼합 전구체를 용매에 용해시키고, 고분자 바인더를 첨가하여 페이스트 또는 잉크를 수득하는 단계;(3) 상기 수득된 전구체 페이스트를 전도성 기판에 코팅한 후 이를 공기 또는 산소 기체 분위기에서 열처리하여 잔존 유기물을 제거하고 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 수득하는 단계; 및(4) 상기 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 황 또는 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하고, 상기 Cu의 전구체, Zn의 전구체 및 Sn의 전구체는 이것의 수산화물, 질산염, 황산염, 아세트산염, 염화물 중에서 1종 이상 선택되며,잔존 탄소량이 5 at% 이하인 태양전지용 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 Cu의 전구체: Zn의 전구체: Sn 전구체의 몰비가 2 : 0
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제1항에 있어서, 상기 단계 (2)에서 사용되는 용매는 물, 알코올, 아세톤 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 고분자 바인더는 에틸 셀룰로스, 팔미트산, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리프로필렌카보네이트 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 단계 (2)에서 분산제를 더 첨가하는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 분산제는 α-터피에놀, 에틸렌글리콜, 티오아세트아미드, 에틸렌다이아민, 모노에틸렌아민 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (1) 또는 단계 (2)에서 Na, K, Ni, P, As, Sb, Bi 성분 또는 이들의 혼합물 중에서 선택된 도펀트(dopant)로 첨가하는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (3)에서, 상기 페이스트의 코팅은 닥터 블레이드 코팅, 스핀 코팅, 스크린 코팅법 또는 스프레이 코팅법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (3)에서, 상기 공기 또는 산소 기체 분위기에서의 열처리는 200 내지 700℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (4)에서, 황 분위기는 H2S, S 증기 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (4)에서, 셀레늄 분위기는 H2Se, Se 증기, 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (4)에서, 황화 또는 셀렌화시의 열처리는 400 내지 600℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법
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(1) Cu의 전구체, Zn의 전구체 및 Sn의 전구체들을 서로 혼합하는 단계;(2) 상기 혼합 전구체를 용매에 용해시키고, 고분자 바인더를 첨가하여 페이스트 또는 잉크를 수득하는 단계;(3) 상기 수득된 전구체 페이스트를 전도성 기판에 코팅한 후 이를 공기 또는 산소 기체 분위기에서 열처리하여 잔존 유기물을 제거하고 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 수득하는 단계; (4) 상기 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 황 분위기에서 열처리하여 구리아연주석황화(CZTS)계 박막을 제조하는 단계; 및(5) 상기 구리아연주석황화(CZTS)계 박막을 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하고,상기 Cu의 전구체, Zn의 전구체 및 Sn의 전구체는 이것의 수산화물, 질산염, 황산염, 아세트산염, 염화물 중에서 1종 이상 선택되며,잔존 탄소량이 5 at% 이하인 태양전지용 구리아연주석황화셀렌(CZTSSe)계 박막을 제조하는 방법
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제1항에 따른 박막의 제조 방법에 의해 제조되며, 잔존 탄소량이 5 at% 이하인 것을 특징으로 하는 태양전지용 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막
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제14항에 따른 박막의 제조 방법에 의해 제조되며, 잔존 탄소량이 5 at% 이하인 것을 특징으로 하는 태양전지용 구리아연주석황화셀렌(CZTSSe)계 박막
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