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적층세라믹캐패시터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015122664
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부전극층과 유전체나노시트가 교번 적층된 적층세라믹캐패시터를 구현함에 있어서 수직 방향으로 이웃하는 내부전극층들을 서로 연결되도록 함으로써 별도의 외부전극이 요구되지 않는 적층세라믹캐패시터 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 적층세라믹캐패시터는 내부전극층과 유전체나노시트가 교번하여 반복 적층된 구조를 이루며, 홀수번째 적층된 내부전극층은 제 1 내부전극층, 짝수번째 적층된 내부전극층은 제 2 내부전극층이며, 제 1 내부전극층의 일부는 유전체나노시트의 제 1 방향으로 외부로 노출되고, 제 2 내부전극층의 일부는 유전체나노시트의 제 2 방향으로 외부로 노출되며, 노출된 제 1 내부전극층들 각각, 노출된 제 2 내부전극층들 각각은 수직 방향으로 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01G 4/30 (2006.01) H01G 4/12 (2006.01)
CPC H01G 4/12(2013.01) H01G 4/12(2013.01) H01G 4/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130156283 (2013.12.16)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1522666-0000 (2015.05.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150526) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최지원 대한민국 서울 강남구
2 임해나 대한민국 서울 관악구
3 윤석진 대한민국 서울 도봉구
4 강종윤 대한민국 서울 서초구
5 김성근 대한민국 서울 성북구
6 권범진 대한민국 서울특별시 성북구
7 백승협 대한민국 서울 성북구
8 김진상 대한민국 서울 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-1148282-59
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0078407-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0106182-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.02.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0188389-18
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0188396-27
8 등록결정서
Decision to grant
2015.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0313357-04
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번호 청구항
1 1
내부전극층과 유전체나노시트가 교번하여 반복 적층된 구조를 이루며, 홀수번째 적층된 내부전극층은 제 1 내부전극층, 짝수번째 적층된 내부전극층은 제 2 내부전극층이며, 제 1 내부전극층의 일부는 유전체나노시트의 제 1 방향으로 외부로 노출되고, 제 2 내부전극층의 일부는 유전체나노시트의 제 2 방향으로 외부로 노출되며, 노출된 제 1 내부전극층들 각각, 노출된 제 2 내부전극층들 각각은 수직 방향으로 서로 전기적으로 연결되며, 상기 유전체나노시트는 아래의 화학식 1 내지 화학식 3 중 어느 한 유전체 조성물로 이루어지거나 Ca2(1-x)M2xNb3O10(M은 Sr, Ba, Cu, Ag, Bi 중 어느 하나이며, 몰분율 x는 0≤x≤1), Sr2(1-x)M2xNb3O10(M은 Ba, Cu, Ag, Bi 중 어느 하나이며, 몰분율 x는 0≤x≤1), Ti2NbO7 중 어느 한 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층세라믹캐패시터
2 2
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3 3
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6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 반대 방향인 것을 특징으로 하는 적층세라믹캐패시터
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절연성 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 유전체나노시트를 적층하는 제 1 단계; 상기 유전체나노시트 상에 제 1 내부전극층을 형성하는 제 2 단계; 상기 제 1 내부전극층 상에 유전체나노시트를 적층하는 제 3 단계; 및 상기 유전체나노시트 상에 제 2 내부전극층을 형성하는 제 4 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 단계 내지 제 4 단계는 복수번 반복 진행되며, 제 1 내부전극층의 일부는 유전체나노시트의 제 1 방향으로 외부로 노출되는 형태로 형성되고, 제 2 내부전극층의 일부는 유전체나노시트의 제 2 방향으로 외부로 노출되는 형태로 형성되며, 노출된 제 1 내부전극층들 각각, 노출된 제 2 내부전극층들 각각은 수직 방향으로 서로 전기적으로 연결되며, 상기 유전체나노시트는 아래의 화학식 1 내지 화학식 3 중 어느 한 유전체 조성물로 이루어지거나 Ca2(1-x)M2xNb3O10(M은 Sr, Ba, Cu, Ag, Bi 중 어느 하나이며, 몰분율 x는 0≤x≤1), Sr2(1-x)M2xNb3O10(M은 Ba, Cu, Ag, Bi 중 어느 하나이며, 몰분율 x는 0≤x≤1), Ti2NbO7 중 어느 한 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층세라믹캐패시터의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 유전체나노시트 상에 제 1 내부전극층을 형성하는 제 2 단계는, 상기 유전체나노시트 상에, 유전체나노시트의 일부 영역 및 상기 제 1 방향의 기판 일부를 노출시키는 제 1 마스크패턴을 형성하는 공정과, 상기 제 1 마스크패턴에 의해 노출된 영역에 도전성 물질을 증착하여 제 1 내부전극층을 형성하는 공정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 적층세라믹캐패시터의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 유전체나노시트 상에 제 2 내부전극층을 형성하는 제 4 단계는, 상기 유전체나노시트 상에, 유전체나노시트의 일부 영역 및 상기 제 2 방향의 기판 일부를 노출시키는 제 2 마스크패턴을 형성하는 공정과, 상기 제 2 마스크패턴에 의해 노출된 영역에 도전성 물질을 증착하여 제 2 내부전극층을 형성하는 공정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 적층세라믹캐패시터의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1 내부전극층, 제 2 내부전극층 및 유전체나노시트는 랭뮈어-블라젯법(Langmuir-Blodgett), 물리기상증착법, 화학기상증착법, 원자층증착법, 용해증착법(solution deposition) 중 어느 한 방법을 통해 적층되는 것을 특징으로 하는 적층세라믹캐패시터의 제조방법
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1 JP05965466 JP 일본 FAMILY
2 JP27119184 JP 일본 FAMILY

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1 JP2015119184 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP5965466 JP 일본 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 이화여자대학교산학협력단(참여기관:한국과학기술연구원) 부품소재산업경쟁력향상(소재부품기술개발) 유전율 400이상을 갖는 유전체 무기 나노시트의 합성기술 및 이를 이용한 MLCC 소자용 고유전체 박막 제조기술 개발