맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

반도체생산 공정에서 배출되는 함불소가스를 효과적으로 분해하기 위한 흡착농축시스템과 결합된 열분해복합공정

  • 기술번호 : KST2015123067
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 혹은 함불소가스 생산공정에서 대량으로 배출되는 배기가스 중 희박농도로 존재하는 함불소가스를 경제적이면서도 효율적으로 분해하기 위한 공정기술에 관한 것으로, 배가스의 함불소가스를 탄소계 물질로 충진된 흡착/탈착탑을 이용하여 함불소가스를 배가스로부터 분리하고, 다시 흡착 함불소가스의 탈착을 유도하여 고농도의 함불소가스를 생성하고, 다시 플라즈마 혹은 소각과 같은 열분해장치로 이송하여 함불소가스를 99.99 % 이상 제거한다. 본 발명기술은 함불소가스가 함유된 폐가스를 효율적으로 분해하기 위해서 폐가스의 총 부피를 최대한으로 감소시켜, 농축된 함불소가스를 처리함으로서 열분해 과정에서 발생되는 2차 오염과 분해하는데 사용되는 전기, 메탄가스 및 수소와 같은 에너지사용을 최소화하여 함불소가스를 효과적으로 무해화하는 방법에 대한 것이다. 지구온난화가스, 함불소가스 흡착농축공정, 함불소가스 열분해공정, 반도체공정, CDM
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC B08B 7/0085(2013.01) B08B 7/0085(2013.01) B08B 7/0085(2013.01)
출원번호/일자 1020090047382 (2009.05.29)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1052064-0000 (2011.07.20)
공개번호/일자 10-2010-0128778 (2010.12.08) 문서열기
공고번호/일자 (20110727) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.29)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이중기 대한민국 서울특별시 강남구
2 조병원 대한민국 서울특별시 은평구
3 이화영 대한민국 서울특별시 노원구
4 이상득 대한민국 서울 송파구
5 우주만 대한민국 서울특별시 노원구
6 장원영 대한민국 서울특별시 서초구
7 유경선 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0325231-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.11.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0813882-16
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0813941-12
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2010-0074938-59
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0089535-31
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0189464-64
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0189463-18
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0353550-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
12 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent		 2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
배가스로부터 흡착제에 함불소가스를 흡착시키는 1 단계; 상기 흡착된 함불소가스를 흡착제에서 50 ~ 200 ℃의 온도로 탈착시키는 2 단계; 및 상기 탈착된 함불소가스를 열처리하여 제거하는 3 단계 를 포함하는 함불소가스의 제거방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 흡착제는 A1216 활성탄, A836 활성탄, A1261 활성탄, ZSM-5 제올라이트 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 함불소가스의 제거방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 3 단계의 열처리는 플라즈마 열분해하는 것을 특징으로 하는 함불소가스의 제거방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 3 단계의 열처리는 열소각하는 것을 특징으로 하는 함불소가스의 제거방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.