1 |
1
광흡수층 및 전면 투명전극층을 구비하는 Se 또는 S계 박막태양전지에 있어서, 상기 전면 투명전극층은 하부 투명전극층과 상부 투명전극층으로 구성되며, 상기 하부 투명전극층은 Zn의 산화물과 Mg의 산화물이 혼합된 혼합산화물에 불순물 원소가 혼입된 산화물계 박막(이하, '불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막'이라 함)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 광학 밴드갭이 3
|
3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 Mg/(Zn+Mg)의 원자조성비가 45atom% 이하인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 (Zn+Mg)/(Zn+Mg+불순물 원소)의 원자조성비가 90∼99atom% 인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막에 도핑되는 불순물 원소는 3족 원소, 4족 원소, 전이금속, 유리금속, 할로겐 원소 중 어느 하나 또는 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 3족 원소는 B, Al, Ga, In이고, 상기 4족 원소는 Si, Ge, Sn 이며, 상기 전이금속은 Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Ag, Cd이며, 상기 할로겐 원소는 F, 상기 유리금속은 Sb 인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 Mg의 조성비가 커질수록 광학 밴드갭이 증가하는 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 상부 투명전극층은 ZnO계 박막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지
|
9 |
9
광흡수층, 하부 투명전극층 및 상부 투명전극층을 구비하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법에 있어서, Zn의 산화물과 Mg의 산화물이 혼합된 혼합산화물에 불순물 원소가 혼입된 산화물계 박막(이하, '불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막'이라 함)을 형성하는 단계; 및 상기 하부 투명전극층 상에 결정질 구조의 산화물계 박막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|
10 |
10
제 9 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 광학 밴드갭이 3
|
11 |
11
제 9 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 Mg/(Zn+Mg)의 원자조성비가 45atom% 이하인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|
12 |
12
제 9 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막은 (Zn+Mg)/(Zn+Mg+불순물 원소)의 원자조성비가 90∼99atom% 인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|
13 |
13
제 9 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막에 도핑되는 불순물 원소는 3족 원소, 4족 원소, 전이금속, 유리금속, 할로겐 원소 중 어느 하나 또는 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|
14 |
14
제 13 항에 있어서, 상기 3족 원소는 B, Al, Ga, In이고, 상기 4족 원소는 Si, Ge, Sn 이며, 상기 전이금속은 Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Ag, Cd이며, 상기 할로겐 원소는 F, 상기 유리금속은 Sb 인 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|
15 |
15
제 9 항에 있어서, 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막에 있어서, Mg의 조성비를 제어하여 상기 불순물 도핑된 Zn-Mg계 산화물 박막의 광학 밴드갭을 조절하며, Mg의 조성비가 커질수록 광학 밴드갭이 증가하는 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|
16 |
16
제 9 항에 있어서, 상기 상부 투명전극층은 ZnO계 박막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 Se 또는 S계 박막태양전지의 제조방법
|