맞춤기술찾기

이전대상기술

마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치

  • 기술번호 : KST2015124732
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치에 관한 것으로서, 낮은 전압 조건에서 마이크로 크기의 미세한 라인을 구현할 수 있는 효과가 있다.이를 위한 본 발명에 의한 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치는, 기판상에 입자상 물질을 패터닝하는 패터닝 장치에 있어서, 상기 입자상 물질이 포함된 용액을 일정한 수력학적 압력으로 분무하는 노즐; 상기 노즐로부터 이격된 거리에 위치하는 원뿔형 접지전극; 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 위치하며, 상기 기판을 유지하면서 이동시키는 스테이지; 및 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 전압을 인가하는 전원공급장치를 포함하고, 상기 용액이 분무될 때 상기 전원공급장치로부터 상기 노즐과 상기 원뿔형 접지전극 사이에 전압을 인가하여 분무형태를 원뿔형 액주모드로 변환시키고, 상기 변환된 분무형태로 미리 설정된 패턴형상에 따라 상기 용액을 상기 기판에 부착시키는 것을 특징으로 한다.마이크로, 패터닝, 전기-수력학적 분무, 원뿔형 액주모드, 텅스텐
Int. CL H05K 3/14 (2006.01) H05K 13/00 (2006.01)
CPC H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01)
출원번호/일자 1020060016583 (2006.02.21)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0725252-0000 (2007.05.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070604) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.02.21)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황정호 대한민국 서울시 용산구
2 류태우 대한민국 서울 서초구
3 이대영 대한민국 서울 성북구
4 유재훈 대한민국 인천 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 강응선 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(특허법인(유)화우)
2 송재련 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, **층 (서초동, 남강빌딩)
3 김양오 대한민국 서울특별시 종로구 우정국로 ** (관훈동) 동덕빌딩, *층(세한국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0125126-07
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2006.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-5015578-56
3 보정요구서
Request for Amendment
2006.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0027673-76
4 안내문(직권수리)
Notification(Ex officio Acceptance)
2006.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0033900-32
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0073758-31
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0752936-48
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.02.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0137783-33
9 의견서
Written Opinion
2007.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0137735-52
10 등록결정서
Decision to grant
2007.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0225591-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
기판상에 입자상 물질을 패터닝하는 패터닝 장치에 있어서,상기 입자상 물질이 포함된 용액을 일정한 수력학적 압력으로 분무하는 노즐;상기 노즐로부터 이격된 거리에 위치하고, 그 팁(tip)의 직경이 1 내지 1000 ㎛인 원뿔형 접지전극;상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 위치하며, 상기 기판을 유지하면서 이동시키는 스테이지; 및상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 전압을 인가하는 전원공급장치를 포함하고,상기 용액이 분무될 때 상기 전원공급장치로부터 상기 노즐과 상기 원뿔형 접지전극 사이에 전압을 인가하여 분무형태를 원뿔형 액주모드로 변환시키고, 상기 변환된 분무형태로 미리 설정된 패턴형상에 따라 상기 용액을 상기 기판에 부착시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 원뿔형 접지전극은 텅스텐 재질인 것을 특징으로 하는 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.