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중심원소로서 실리콘을 가지는 전구체, 초순수, 및 촉매를 포함하는 솔-젤 용액과;
용매로서 상기 솔-젤 용액을 안정적으로 분산시키는 주 용매와, 건조 속도가 상기 주 용매와는 다른 보조 용매를 포함하며,
상기 주 용매는 에틸 알코올(ethyl alcohol), 메틸 알코올(methyl alcohol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 아세톤(acetone), 2-메톡시 에탄올(2-methoxy ethanol), 프로필 알코올(propyl alcohol), 펜틸 알코올(pentyl alcohol), 헥실 알코올(hexyl alcohol), 부틸 알코올(butyl alcohol), 및 옥틸 알코올(octyl alcohol)중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어지고,
상기 보조 용매는 에틸렌글리콜(ethylene glycol), 디에틸렌글리콜(diethylene glycol), 트리에틸렌글리콜(triethylene glycol), 폴리에틸렌 글리콜 (poly-ethylene glycol), 프로필렌 글리콜(propylene glycol), 디프로필렌 글리콜(dipropylene glycol), 헥실렌 글리콜(hexylene glycol), 글리세린(glycerine), 2-메톡시 에탄올(2-methoxy ethanol), 프로필 알코올(propyl alcohol), 펜틸 알코올(pentyl alcohol), 헥실 알코올(hexyl alcohol), 부틸 알코올(butyl alcohol), 옥틸 알코올(octyl alcohol), 포름 아미드(Form amide), 메틸 에틸 케톤(methyl ethyl ketone), 다이옥산 (dioxane), 다이메틸포름아마이드 (dimethylformamide), 터피놀 (terpinol), 폴리에틸렌 글리콜 (polyethylene glycol), 에탄올아민 (ethanolamine), 및 다이에탄올아민 (diethanolamine) 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어지고,
상기 보조 용매는 점도, 표면 장력 또는 증발 속도가 다른 둘 이상의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는
유전체 잉크
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제1항에 있어서, 상기 솔-젤 용액은 0
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제1항에 있어서, 상기 주 용매와 보조 용매의 비율은 중량비로 70:30 ~ 30:70의 범위인 유전체 잉크
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제1항에 있어서, 상기 촉매는 염산, 황산, 질산 중에서 선택되는 어느 하나인 유전체 잉크
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제1항에 있어서, 상기 전구체는 실리콘을 가지며 유기관능기를 갖는 제1전구체, 및 실리콘 또는 전이금속을 가지는 제2전구체를 포함하는 유전체 잉크
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제5항에 있어서, 상기 제1전구체는
메틸트리메톡시실란 (methyltrimethoxysilane), 메틸트리에톡시실란 (methyltriethoxysilane), 페닐트리에톡시실란 (phenyltriethoxysilane),
페닐트리메톡시실란 (phenyltrimethoxysilane), 다이페닐다이에틸헥실록시다이에톡시실란 (diphenyldiethylhexyloxydiethoxysilane), 메타크릴록시프로필트리메톡시실란 (3-methacryloxypropyltrimethoxysilane), 글리시딜록시프로필트리메톡시실란 (3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane), 비닐트리메톡시실란 (vinyltrimethoxysilane), 머켑토프로필트리메톡시실란 (mercaptopropyltrimethoxysilane), 비닐트리메톡시실란 (vinyltrimethoxysilane), 머켑토프로필트리에톡시실란 (mercaptopropyltriethoxysilane) 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어지는 유전체 잉크
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제5항에 있어서, 상기 제2전구체는
메틸트리에톡시실란(methyltriethoxysilane), 메틸트리메톡시실란 (methyltrimethoxysilane), 에틸트리에틱시실란 (ethyltriethoxysilane), 에틸트리메톡시실란 (ethyltrimethoxysilane), 테트라에틸오쏘실리케이트(tetraethylorthosilicate), 페닐트리에톡시실란(phenyltriethoxysilane), 페닐트리메톡시실란(phenyltrimethoxysilane), 다이페닐다이에틸헥실록시다이에톡시실란 (diphenyldiethylhexyloxydiethoxysilane), 아미노프로필트리에톡시실란 (aminopropyltriethoxysilane), 아미노프로필트리메톡시실란 (aminopropyltrimethoxysilane), 다이페닐실란다이올 (diphenylsilanediol), 다이메틸다이메톡시실란 (dimethyldimethoxysilane), 지르코늄 에톡사이드 (zirconium ethoxide), 지르코늄 이소프로폭사이드 (zirconium isopropoxide), 지르코늄 프로폭사이드 (zirconium propoxide), 타이타늄 부톡사이드 (titanium butoxide), 타이타늄 에톡사이드 (titanium ethoxide), 타이타늄 이소프로폭사이드 (titanium isopropoxide), 타이타늄 프로폭사이드 (titanium propoxide), 타이타늄 메톡사이드 (titanium methoxide), 탄탈륨 부톡사이드 (tantalum butoxide), 탄탈륨 에톡사이드 (tantalum ethoxide), 탄탈륨 메톡사이드 (tantalum methoxide), 하프늄 터트뷰톡사이드 (hafnium tert-butoxide), 및 하프늄 뷰톡사이드 (hafnium N-butoxide) 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어지는 유전체 잉크
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제1항에 있어서, 상기 보조 용매는 주 용매와 표면 장력이 다른 것을 특징으로 하는 유전체 잉크
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중심원소로서 실리콘을 가지는 전구체, 초순수, 및 촉매를 포함하는 솔-젤 용액과; 용매로서 상기 솔-젤 용액을 안정적으로 분산시키는 주 용매와, 건조 속도가 상기 주 용매와는 다른 보조 용매를 포함하는 유전체 잉크를 사용하여 잉크젯 프린팅으로 형성하며,
상기 주 용매는 에틸 알코올(ethyl alcohol), 메틸 알코올(methyl alcohol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 아세톤(acetone), 2-메톡시 에탄올(2-methoxy ethanol), 프로필 알코올(propyl alcohol), 펜틸 알코올(pentyl alcohol), 헥실 알코올(hexyl alcohol), 부틸 알코올(butyl alcohol), 및 옥틸 알코올(octyl alcohol)중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어지고,
상기 보조 용매는 에틸렌글리콜(ethylene glycol), 디에틸렌글리콜(diethylene glycol), 트리에틸렌글리콜(triethylene glycol), 폴리에틸렌 글리콜 (poly-ethylene glycol), 프로필렌 글리콜(propylene glycol), 디프로필렌 글리콜(dipropylene glycol), 헥실렌 글리콜(hexylene glycol), 글리세린(glycerine), 2-메톡시 에탄올(2-methoxy ethanol), 프로필 알코올(propyl alcohol), 펜틸 알코올(pentyl alcohol), 헥실 알코올(hexyl alcohol), 부틸 알코올(butyl alcohol), 옥틸 알코올(octyl alcohol), 포름 아미드(Form amide), 메틸 에틸 케톤(methyl ethyl ketone), 다이옥산 (dioxane), 다이메틸포름아마이드 (dimethylformamide), 터피놀 (terpinol), 폴리에틸렌 글리콜 (polyethylene glycol), 에탄올아민 (ethanolamine), 및 다이에탄올아민 (diethanolamine) 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어지고,
상기 보조 용매는 점도, 표면 장력 또는 증발 속도가 다른 둘 이상의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는
유전체 박막
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청구항 12항의 유전체 박막을 게이트 절연막으로 구비하는 유기박막 트랜지스터
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