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기판과;
상기 기판에 각각 독립적으로 배열되어 광학 기능을 수행하는 복수의 렌즈부를 포함하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이
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제1항에 있어서,
상기 기판은 자외선이 통과할 수 있고 렌즈부들을 지지할 수 있는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이
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3
제1항에 있어서,
상기 기판에는 렌즈부가 삽입되게 배치되는 복수의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이
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4
제1항에 있어서,
상기 렌즈부들은 기판의 표면에 일정 간격을 두고 각각 배열되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이
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5
기판의 표면에 도포된 광학 폴리머를 가압하여 광학기능을 수행하는 복수의 렌즈부를 형성하는 몰드부재를 포함하고,
상기 몰드부재에는 광학 기능을 수행하는 렌즈부 영역을 제외한 나머지 영역에 자외선이 조사되는 것을 차단하는 자외선 차단막이 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 성형장치
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6
제5항에 있어서,
상기 몰드부재는 그 하면에 복수의 렌즈 캐비티가 형성되고, 상기 렌즈 캐비티들 사이에 자외선 차단막이 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 성형장치
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7
제5항에 있어서,
상기 몰드부재는 기판의 상면에 배치되는 제1몰드부재와, 기판의 하면에 배치되는 제2몰드부재로 구성되고, 자외선 차단막은 제1몰드부재와 제2몰드부재 중 적어도 어느 하나에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 성형장치
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8
제5항에 있어서,
상기 기판의 표면에 렌즈부 영역을 제외한 나머지 영역에 자외선이 조사되는 것을 차단하는 자외선 차단막이 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 성형장치
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9
제5항에 있어서,
상기 자외선 차단막은 상기 몰드부재 또는 기판의 표면에 얇은 금속막을 부착하여 형성하거나, 금속 박막 증착공정을 통해 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 성형장치
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10
복수의 렌즈 캐비티가 형성된 몰드부재를 배치하고 기판 표면에 렌즈 재료인 광학 폴리머를 도포하는 단계와;
상기 몰드부재와 기판 중 적어도 어느 하나에 비광학 영역을 막아주는 자외선 차단막을 설치하는 단계와;
상기 몰드부재를 광학 폴리머에 가압하여 기판 표면에 광학 영역인 복수의 렌즈부들을 성형하고, 비광학 영역인 잔류층에 상기 자외선 차단막을 덮는 단계와;
자외선을 조사하여 상기 렌즈부들만 경화시키는 단계와;
상기 몰드부재를 기판에서 분리한 후 경화되지 않은 잔류층을 제거하는 단계를 포함하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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11
제10항에 있어서,
상기 광학 폴리머는 광투과성이 우수한 광 경화성 폴리머가 사용되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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12
제10항에 있어서,
상기 자외선 차단막은 몰드부재의 렌즈 캐비티를 제외한 나머지 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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13
제10항에 있어서,
상기 자외선 차단막은 상기 몰드부재 또는 기판의 표면에 얇은 금속막을 부착하여 형성하거나, 금속 박막 증착공정을 통해 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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14
복수의 관통홀이 형성되는 기판을 준비하는 단계와;
기판의 상측에 제1몰드부재를 배치하고 기판의 하측에 제2몰드부재를 배치하고, 제1몰드부재와 제2몰드부재 중 적어도 어느 하나에 광학 영역을 제외한 나머지 영역에 자외선 차단막을 설치하는 단계와;
기판의 상면에 렌즈 재료인 광학 폴리머를 도포하여 광학 폴리머가 관통홀에 삽입되도록 하는 단계와;
제1몰드부재를 광학 폴리머에 가압하여 기판 표면에 복수의 렌즈부들을 성형하는 단계와;
상기 렌즈부들에 자외선을 조사하여 경화시키는 단계와;
상기 제1몰드부재와 제2몰드부재를 기판에서 분리한 후 세척하여 렌즈부들 사이의 경화되지 않은 잔류층을 제거하는 단계를 포함하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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제14항에 있어서,
상기 광학 폴리머는 기판의 관통홀에 각각 독립적으로 도포되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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제14항에 있어서,
상기 광학 폴리머는 기판의 상면에 전체적으로 균일하게 도포되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 제조방법
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