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박막 특성의 모델링 방법

  • 기술번호 : KST2015125347
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 박막 특성의 모델링 방법이 제공된다. 상기 박막 특성의 모델링 방법은 기판 상에 박막을 증착하는 단계, 상기 증착된 박막으로부터 스펙트럼 데이터를 수집하는 단계, 상기 수집된 스펙트럼 데이터로부터 예비 데이터를 선택하는 단계, 상기 예비 데이터로부터 주성분을 추출하는 단계, 상기 박막의 전기적인 특성을 측정하는 단계, 그리고 상기 추출된 주성분과 상기 박막의 전기적인 특성을 포함하는 모델링 변수들 간의 상관관계를 모델링하는 단계를 포함한다. 신경망 모델링, 스펙트럼 데이터
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G06F 17/5036(2013.01) G06F 17/5036(2013.01) G06F 17/5036(2013.01)
출원번호/일자 1020080118892 (2008.11.27)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1008337-0000 (2011.01.07)
공개번호/일자 10-2010-0060327 (2010.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20110114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.27)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤일구 대한민국 서울특별시 강남구
2 김창은 대한민국 서울특별시 서대문구
3 문평 대한민국 서울특별시 구로구
4 고영돈 대한민국 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0819110-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.08.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2010-0058226-95
4 등록결정서
Decision to grant		 2010.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0474582-63
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 박막을 증착하는 단계; 상기 증착된 박막으로부터 스펙트럼 데이터를 수집하는 단계; 상기 수집된 스펙트럼 데이터로부터 예비 데이터를 선택하는 단계; 상기 예비 데이터로부터 주성분을 추출하는 단계; 상기 박막의 전기적인 특성을 측정하는 단계; 그리고 상기 추출된 주성분과 상기 박막의 전기적인 특성을 포함하는 모델링 변수들 간의 상관관계를 모델링하는 단계를 포함하는 박막 특성의 모델링 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 예비 데이터로부터 주성분을 추출하는 단계는 주성분 분석(Principal component analysis) 방법을 사용하는 박막 특성의 모델링 방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 모델링하는 단계는 신경망(neural network) 모델링을 이용하는 박막특성의 모델링 방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 스펙트럼 데이터는 X선 회절 데이터를 포함하는 박막 특성의 모델링 방법
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 예비 데이터는 표준화된 X선 회절 데이터를 이용하여 선택되는 박막 특성의 모델링 방법
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 스펙트럼 데이터는 광루미네선스(photoluminescence), 투과도(transmittance) 중 어느 하나를 포함하는 박막 특성의 모델링 방법
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 모델링 변수는 상기 박막의 증착을 위한 공정 변수들을 더 포함하는 박막 특성의 모델링 방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 공정 변수는 공정 챔버 내의 압력, 기판 또는 소스의 온도 중 적어도 어느 하나를 포함하는 박막 특성의 모델링 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.