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포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 ＶＯＣ 센서 제작 방법 및 그 방법으로 제작된 ＶＯＣ 센서

  • 기술번호 : KST2015125813
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법 및 그 방법으로 제작된 VOC 센서가 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법은 기판 상에 한쌍의 마이크로 전극을 형성하는 전극형성단계; 상기 한쌍의 마이크로 전극 사이를 산화아연나노선으로 감지부를 형성하는 감지부합성단계; 및 상기 산화아연나노선에 포피린을 증착시키는 기능화처리단계를 포함한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01)
출원번호/일자 1020120057261 (2012.05.30)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1308421-0000 (2013.09.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130916) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기 고양시 덕양구
2 이경훈 대한민국 부산광역시 연제구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0431997-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0054149-98
6 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0604245-67
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 한쌍의 마이크로 전극을 형성하는 전극형성단계;상기 한쌍의 마이크로 전극 사이를 산화아연나노선으로 감지부를 형성하는 감지부합성단계; 및상기 산화아연나노선에 포피린을 증착시키는 기능화처리단계를 포함하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 전극 형성 단계는 열산화(thermal oxidation) 공정으로 SOI(Silicon on Insulator)기판 양면에 이산화규소층(SiO2)을 형성하는 절연층형성단계; 포토리소그래피(photo lithography) 공정으로 PR(photoresist)을 상기 SOI기판 양면에 패터닝하는 PR패터닝단계; 상기 PR을 마스크로 이용하여 반응성 이온식각(RIE, Reactive Ion Etching)공정으로 상기 이산화규소층에 패턴을 전사하는 마스크패터닝단계; 패터닝된 상기 이산화규소층을 마스크로 이용하여 심도 반응성 이온 식각(DRIE, Deep Reactive Ion Etching) 공정으로 상기 SOI기판의 상, 하부 실리콘층(silocone layer) 을 식각하여 상기 마이크로 전극)을 형성하는 기판식각단계; 및 습식식각(wet etching) 방식으로 상기 상, 하부 실리콘층 사이의 매몰산화층(buried oxide layer) 및 상기 SOI기판 양면의 이산화규소 층을 제거하는 절연층제거단계를 포함하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 절연층형성단계 이후에, 상기 SOI기판의 상, 하부 실리콘 층 중 상대적으로 두꺼운 상기 하부 실리콘층에 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정으로 이산화규소층을 추가로 형성하는 절연층추가형성단계(S1-1b)를 더 포함하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 기판식각단계는, 상기 SOI기판의 상부 실리콘층을 식각하여 한쌍의 상기 마이크로 전극을 형성하는 소자층식각단계 및 상기 한쌍의 마이크로 전극이 자유단부끼리 상호 대향되는 외팔보 형상 을 이루도록 상기 SOI기판의 하부 실리콘층을 식각하는 기판층식각단계를 포함하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 감지부합성단계는, 상기 한쌍의 마이크로 전극 대향단부 표면에 산화아연 버퍼층을 증착하는 버퍼층증착단계; 및 열수합성법에 의해 상기 버퍼층이 증착된 부분에 산화아연 나노선을 합성하는 산화아연 나노합성단계; 를 포함하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 버퍼층 증착단계는, 상기 한쌍의 마이크로 전극의 대향단부에 대응되는 위치에만 홀이 형성된 쉐도우 마스크 (shadow mask)를 이용하며, 전자빔 진공증착법 (E-beam evaporation)으로 이루어지는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 기능화처리단계는 상기 산화아연나노선 하부에 보우트를 설치하고, 포피린 시료를 보우트에 넣은 후 포피린을 승화시켜 상기 산화아연 나노선에 포피린이 증착되도록 하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서 제작 방법
8 8
상호 대향되게 배치되는 한쌍의 마이크로 전극; 및 상기 한쌍의 마이크로 전극 대향단부 표면을 공중에서 상호 연결하여 형성되는 산화아연 나노선을 포함하며, 상기 산화아연 나노선에는 포피린이 증착된 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 VOC 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 환경부 연세대학교 산학협력단 환경융합신기술개발사업 개인 노출 환경의 미세먼지(PM2.5)와 TVOCs 동시 분석을 위한 통합 측정기 개발