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열센서를 이용한 가스센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015125885
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열센서를 이용한 가스센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 즉, 본 발명은 두 개의 열전대층을 낮은 열 전도도를 갖는 열저항층 상단에 형성하여 기판으로 빠져나가는 기생열전달 효과를 감소시킬 수 있고, 특히 두 개의 열전대층 중 촉매층 상단에 고온 접합부를 형성한 감지 열전대층 및 촉매층 없이 형성된 참조 열전대층을 하나의 기판상에 구성하여, 온도 및 습도 변화와 같은 외부 환경적 요인에 의한 전기적 잡음을 배제하면서 감지 열전대층과 참조 열전대층 간의 기전력 차이를 차동 증폭기를 이용하여 손쉽게 구할 수 있도록 함으로써, 높은 안정성과 감도, 간단한 제조 공정, 저렴한 제조 단가 등을 실현할 수 있는 열센서를 이용한 가스센서 및 그 제조 방법을 제공하고자 한 것이다. 가스센서, 열센서, 감지 열전대층, 참조 열전대층, 제1금속저항층, 제2금속저항층, 차동 증폭기, 기전력 차이, 촉매층
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)
CPC G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01)
출원번호/일자 1020070051215 (2007.05.28)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0896482-0000 (2009.04.29)
공개번호/일자 10-2008-0104440 (2008.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20090508) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.28)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용준 대한민국 서울 용산구
2 송순호 대한민국 서울 양천구
3 박세철 대한민국 전남 순천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0385688-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0022244-71
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0587450-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0034571-03
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0034572-48
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0043666-99
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0076945-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 감지 열전대층의 제1금속저항층은 촉매층을 중심으로 그 양쪽의 기판표면에 빗살무늬 배열로 형성되고, 제2금속저항층도 촉매층을 중심으로 그 양쪽의 기판표면에서 제1금속저항층과 엇갈리는 빗살무늬 배열로 형성되어, 상기 감지 열전대층의 제1 및 제2금속저항층은 서로 지그재그 배열을 이루는 동시에 그 양끝단이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
3 3
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 감지 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 안쪽단은 상기 촉매층상에 적층 접촉되며 서로 연결된 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
4 4
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 감지 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 안쪽단 연결부분과, 상기 촉매층의 안쪽 부분은 상기 열저항층으로 덮혀지지 않는 영역으로서, 고온 접합부 영역으로 형성되고; 상기 감지 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 바깥쪽단 연결부분은 열저항층으로 덮혀지는 영역으로서, 저온 접합부 영역으로 형성된 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
5 5
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 참조 열전대층의 제1금속저항층은 촉매층이 형성되지 않은 반대쪽 기판 표면에서 서로 대칭을 이루는 2열의 빗살무늬 배열로 형성되고, 제2금속저항층도 기판표면에서 제1금속저항층과 엇갈리는 빗살무늬 배열로 형성되어, 상기 참조 열전대층의 제1 및 제2금속저항층은 서로 지그재그 배열을 이루는 동시에 그 양끝단이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
6 6
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 참조 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 안쪽단 연결부분은 상기 열저항층으로 덮혀지지 않는 영역으로서, 고온 접합부 영역으로 형성되고; 상기 참조 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 바깥쪽단 연결부분은 열저항층으로 덮혀지는 영역으로서, 저온 접합부 영역으로 형성된 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
7 7
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 감지 열전대층 및 참조 열전대층은 각각 기판상에 부착된 한 쌍의 컨택 패드에 의하여 연결되며, 이 컨택패드에는 차동 증폭기를 포함하는 측정 모듈과 연결되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
8 8
열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 기판은 열전도도가 낮고, 열저항성이 높은 소라다임 기판인 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
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열전도도가 낮은 기판과, 상기 기판의 상단면 일측에 특정 가스와 반응하도록 형성된 2열 라인의 촉매층과, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 이루어진 감지 열전대층과, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 이루어진 참조 열전대층과, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 형성되는 열저항층을 포함하여 구성된 열센서를 이용한 가스센서에 있어서, 상기 감지 열전대층 및 참조 열전대층을 구성하는 제1금속저항층과 제2금속저항층은 비스무트-안티몬, 백금-로듐, 구리-니켈, 크롬-알루미늄, 크롬-니켈 또는 철-니켈크롬 합금, 비스무트-크롬의 조합중 선택된 어느 하나의 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서
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삭제
11 11
열전도도가 낮고 열저항성이 높은 기판의 제공 단계와, 상기 기판의 일측쪽 상면에 특정가스와 반응하는 2열 라인의 촉매층을 형성하는 단계와, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 감지 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 참조 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 열저항층을 형성하는 단계와, 상기 감지 열전대층 및 참조 열전대층이 각각 기판상에 부착된 한 쌍의 컨택 패드에 의하여 연결되는 단계와, 상기 컨택패드에 차동 증폭기를 포함하는 측정 모듈을 연결시키는 단계를 포함하여 이루어진 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법에 있어서, 상기 감지 열전대층을 구성하는 단계에 있어서, 제1금속저항층이 상기 촉매층을 중심으로 그 양쪽의 기판표면에 빗살무늬 배열로 형성되고, 제2금속저항층이 상기 촉매층을 중심으로 그 양쪽의 기판표면에서 제1금속저항층과 엇갈리는 빗살무늬 배열로 형성되어, 상기 제1 및 제2금속저항층이 서로 지그재그 배열을 이루는 동시에 그 양쪽단이 서로 연결되되, 제1 및 제2금속저항층의 안쪽단은 상기 촉매층상에 적층 접촉되며 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법
12 12
열전도도가 낮고 열저항성이 높은 기판의 제공 단계와, 상기 기판의 일측쪽 상면에 특정가스와 반응하는 2열 라인의 촉매층을 형성하는 단계와, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 감지 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 참조 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 열저항층을 형성하는 단계와, 상기 감지 열전대층 및 참조 열전대층이 각각 기판상에 부착된 한 쌍의 컨택 패드에 의하여 연결되는 단계와, 상기 컨택패드에 차동 증폭기를 포함하는 측정 모듈을 연결시키는 단계를 포함하여 이루어진 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법에 있어서, 상기 참조 열전대층을 구성하는 단계에 있어서, 제1금속저항층이 촉매층이 형성되지 않은 반대쪽 기판 표면에서 서로 대칭을 이루는 2열의 빗살무늬 배열로 형성되고, 제2금속저항층도 기판표면에서 제1금속저항층과 엇갈리는 빗살무늬 배열로 형성되어, 상기 참조 열전대층의 제1 및 제2금속저항층은 서로 지그재그 배열을 이루는 동시에 그 양끝단이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법
13 13
열전도도가 낮고 열저항성이 높은 기판의 제공 단계와, 상기 기판의 일측쪽 상면에 특정가스와 반응하는 2열 라인의 촉매층을 형성하는 단계와, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 감지 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 참조 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 열저항층을 형성하는 단계와, 상기 감지 열전대층 및 참조 열전대층이 각각 기판상에 부착된 한 쌍의 컨택 패드에 의하여 연결되는 단계와, 상기 컨택패드에 차동 증폭기를 포함하는 측정 모듈을 연결시키는 단계를 포함하여 이루어진 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법에 있어서, 상기 기판상에 열저항층을 형성하는 단계에서, 상기 감지 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 안쪽단 연결부분과, 상기 촉매층의 안쪽 부분은 상기 열저항층으로 덮혀지지 않는 고온 접합부 영역으로 형성되고, 상기 감지 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 바깥쪽단 연결부분은 열저항층으로 덮혀지는 저온 접합부 영역으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법
14 14
열전도도가 낮고 열저항성이 높은 기판의 제공 단계와, 상기 기판의 일측쪽 상면에 특정가스와 반응하는 2열 라인의 촉매층을 형성하는 단계와, 상기 촉매층과 접촉되도록 제1 및 제2금속저항층을 기판상에 형성하여 감지 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 촉매층 및 상기 감지 열전대층이 형성된 반대쪽 기판상에 제1 및 제2금속저항층이 형성하여 참조 열전대층을 구성하는 단계와, 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층의 고온 접합부와 저온 접합부의 구분하는 동시에 상기 감지 열전대층과 참조 열전대층을 보호하기 위해 기판상에 열저항층을 형성하는 단계와, 상기 감지 열전대층 및 참조 열전대층이 각각 기판상에 부착된 한 쌍의 컨택 패드에 의하여 연결되는 단계와, 상기 컨택패드에 차동 증폭기를 포함하는 측정 모듈을 연결시키는 단계를 포함하여 이루어진 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법에 있어서, 상기 기판상에 열저항층을 형성하는 단계에서, 상기 참조 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 안쪽단 연결부분은 상기 열저항층으로 덮혀지지 않는 고온 접합부 영역으로 형성되고, 상기 참조 열전대층의 제1 및 제2금속저항층의 각 바깥쪽단 연결부분은 열저항층으로 덮혀지는 저온 접합부 영역으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열센서를 이용한 가스센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.