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광을 조사하는 광원;피측정물로 향하거나 피측정물에서 반사된 광이 통과하고, 상기 광원에서 조사된 광을 집속시키기 위한 하나 이상의 렌즈를 포함하는 릴레이 렌즈부;상기 릴레이 렌즈부를 통해 집속된 광이 입사되는 마이크로 렌즈가 다수 개 배열되어 마이크로 렌즈 어레이를 이루며, 상기 마이크로 렌즈 어레이를 통해 광이 피측정물의 표면에 포커싱되는 멀티 광 프로브;상기 피측정물로부터 반사된 후 상기 마이크로 렌즈 및 릴레이 렌즈부를 거쳐 입사되는 광을 검출하는 광전검출기(photo detector);를 포함하여상기 마이크로 렌즈 어레이의 피측정물의 측정거리를 증가시키고, 마이크로 렌즈의 초점거리와 마이크로 렌즈와 피측정물 사이의 거리에 의해서 정해지는 후초점과 상기 릴레이 렌즈부의 초점은 동일 평면상에 위치하도록 하되, 상기 후초점은 마이크로 렌즈의 초점거리를 f, 마이크로 렌즈와 피측정물 사이의 거리를 f+x라 할 때 아래의 산출식에 의해 결정되며,상기 릴레이 렌즈부의 초점과 상기 마이크로 렌즈의 후초점이 만나는 초점면상에는 핀홀을 갖는 어퍼쳐가 설치된 다중 병렬 공초점 시스템
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제1항에 있어서, 상기 릴레이 렌즈부는 어퍼쳐(aperture)를 포함하는 다중 병렬 공초점 시스템
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제1항에 있어서, 상기 릴레이 렌즈부는 텔레센트릭 렌즈(Telecentric lens)를 가지는 다중 병렬 공초점 시스템
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제4항에 있어서, 상기 광원은 상기 텔레센트릭 렌즈의 상부 광축상에 배치되는 다중 병렬 공초점 시스템
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제4항에 있어서, 상기 광원은 상기 텔레센트릭 렌즈의 하부 광축상에 배치되는 다중 병렬 공초점 시스템
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 광원에서 조사되는 광의 진행경로를 변환시킬 수 있는 빔스프리터를 더 포함하는 다중 병렬 공초점 시스템
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제1항에 있어서, 마이크로렌즈 어레이(microlens array)로 이루어진 멀티 광 프로브는,마이크로렌즈(microlens)(M1)가 횡렬로 배치되는 제1열(111); 및마이크로렌즈(microlens)(M2)가 상기 제1열(111)과 종렬로 배치되어 형성되며, 상기 제1열(111)을 구성하는 상기 마이크로렌즈(M1) 사이에 일부가 위치되는 제2열(112);을 포함하는 다중 병렬 공초점 시스템
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제9항에 있어서,상기 제2열(112)은,상기 제1열(111)과 동일한 이격 간격의 마이크로렌즈 어레이를 가지고, 상기 제1열(111)에 대해 횡방향 상대위치를 가지도록 배치되는 다중 병렬 공초점 시스템
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제9항에 있어서,상기 제2열(112)은,상기 제1열(111)과 다른 이격 간격의 마이크로렌즈 어레이를 가지는 다중 병렬 공초점 시스템
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제9항에 있어서,상기 제1열(111)은,상기 마이크로렌즈(M1)가 상기 마이크로렌즈(M1)의 사이즈보다 작은 이격 간격으로 배치되며,상기 제2열(112)은,상기 마이크로렌즈(M2)의 횡방향 단부 또는 중간부가 상기 제1열(111)을 구성하는 마이크로렌즈(M1)의 이격 간격 사이로 돌출되거나 가로지르도록 배치되는 다중 병렬 공초점 시스템
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제9항에 있어서,마이크로렌즈(microlens)(M3)가 상기 제1열(111), 제2열(112)과 종렬로 배치되어 형성되되, 상기 제1열(111) 또는 제2열(112)을 구성하는 상기 마이크로렌즈(M1, M2) 사이에 일부가 위치되는 제3열(113);을 더 포함하는 다중 병렬 공초점 시스템
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