| 요약 |
본 발명은 투명 공통전극 형성과 무기 액정배향막 형성의 공정을 일원화한 액정표시장치의 상부기판 제조방법에 관한 것으로서, 하나의 진공증착장비에서 투명 공통전극을 형성한 뒤 이어 액정배향막을 일괄적으로 형성하는 액정표시장치의 상부기판 제조방법에 관한 것이다. 특히, 하나의 진공증착장비에서 컬러필터가 패터닝된 유리기판(CF 기판) 위에 투명 공통전극을 증착한 뒤 그 위에 Ag를 도핑하고 이어 액정배향막이 되는 무기박막을 연속적으로 증착하여, 투명 공통전극의 형성부터 액정배향막의 형성까지를 하나의 진공증착장비에서 일괄적으로 진행하는 것을 주된 특징으로 하고 있는 것이다. 이러한 본 발명의 제조방법에 따르면, 주요공정을 단일 장비에서 수행하게 되면서 불량률 및 공정비용을 줄일 수 있게 된다. 즉, 종래와 같은 투명 금속전극 증착, 배향막 도포, 러빙 공정을 하나의 진공증착장비를 통해서 금속막 증착, 무기박막 증착으로 단순화시킬 수 있으며, 복잡한 코팅, 베이킹(baking), 세정, 러빙 등의 공정이 삭제될 수 있어 파티클의 영향을 적게 받게 됨은 물론, 러빙 공정을 거치치 않게 되면서 정전기 문제가 해결되고, 이에 불량률 및 공정시간, 공정비용을 절약하는 것이 가능해진다. 또한 투명 공통전극 위에 Ag를 도핑함으로써 저저항의 개선된 전기 특성을 얻을 수 있게 된다. LCD, 액정표시장치, 진공증착장비, 투명 공통전극, 액정배향막, 무기박막, Ag
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