베이스(100)와, 대상물(9)을 구비한 미세 위치결정 구동장치에 있어서,

상기 베이스(100)의 내부에 위치함과 아울러 제1 조인트(10)를 거쳐 레버(13)를 미세하게 작동시키는 직선구동기(8)와;

상기 직선구동기(8)의 변위를 레버(13)로 전달하는 제1 조인트(10)와;

상기 베이스(100)의 내부 일측에 위치함과 아울러 상기 제1조인트(10)의 움직임에 따라 상기 직선구동기(8)의 변위를 증폭하는 레버(13)와;

상기 레버(4)의 일측 상단면에 위치함과 아울러 베이스(100)에 고정되어 상기 레버(13)의 움직임에 따라 제3 조인트(12)를 통해 구동하려는 대상물(9)에 힘을 전달하는 제2 조인트(11)와;

상기 대상물(9)에 가해지는 힘을 직선구동기(8)가 전적으로 담당하지 않도록 함과 아울러 동적인 안정성을 확보할 수 있도록 하는 보조중량체(14)와;

상기 대상물(9)에 한 방향으로만 힘이나 변위를 전달시키는 스프링가이드(15a)(15b)(15c)(15d)와;

상기 대상물(9)의 이송량을 측정하는 측정 센서(16)로 구성된 것을 특징으로 하는 미세 위치결정 구동장치

제 1 항에 있어서,

베이스(200)와, 대상물(18)을 구비한 미세 위치결정 구동장치에 있어서,

상기 베이스(200)의 상단면에 위치함과 아울러 보조중량체(17)의 내부에 설치되어 제1 조인트(21a) 및 제2 조인트(21b)를 거쳐 각각 제1 레버(20a) 및 제2 레버(20b)를 미세하게 작동시키는 직선구동기(19)와;

상기 제1 레버(20a) 및 제2 레버(20b)의 일측 끝단부의 저면에 위치함과 아울러 상기 직선구동기(19)의 변위를 제1 레버(20a) 및 제2 레버(20b)로 전달하는 제1 조인트(21a) 및 제2 조인트(21b)와;

상기 베이스(200)의 상단면에 위치함과 아울러 보조중량체(17) 및 대상물(18)의 일측에 설치되어 상기 제1 조인트(21a) 및 제2 조인트(21b)의 움직임에 따라 상기 직선구동기(19)의 변위를 증폭하는 제1 레버(20a) 및 제2 레버(20b)와;

상기 제1 레버(20a) 및 제2 레버(20b)의 타측 끝단부의 저면과 대상물(18) 사이에 위치됨과 아울러 제1 레버(20a) 및 제2 레버(20b)의 타측 끝단부로 전달된 변위에 따라 상기 대상물(18)을 미세하게 움직이는 제3 조인트(22a) 및 제4 조인트(22b)와;