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펨토초 레이저로 공작물을 정밀 가공하는 레이저 가공장치로서,펨토초 레이저를 생성하는 레이저 발진기와,상기 레이저 발진기에서 발생한 펨토초 레이저 빔을 전송하는 레이저 빔전송부와,상기 빔전송부로부터 전송되는 레이저 빔을 집속하는 빔집속부와 상기 빔집속부로부터 나오는 레이저 빔의 초점 위치에 공작물을 고정하여 지지하는 공작물 지지장치를 구비하는 레이저 가공 스테이션을 포함하며,상기 빔전송부는 레이저빔을 적어도 두 개의 경로로 나누는 빔분할기를 구비하며,상기 레이저 가공 스테이션은 상기 각각의 레이저 경로를 통하여 전달되는 레이저 빔으로 가공할 수 있도록 각각 빔집속부와 공작물 지지장치를 갖는 제1 레이저 가공 스테이션과 제2 레이저 가공 스테이션이 구비되며,상기 제1 레이저 가공 스테이션은 제1 빔집속부와, 제1 공작물 지지장치와, 제1 이송 스테이지를 구비하여 공작물을 이동시키며 가공할 수 있으며,상기 제2 레이저 가공 스테이션은 빔편향부와, 제2 빔집속부와, 제2 공작물 지지장치를 구비하여 공작물을 고정하고 빔편향부에서 레이저 빔을 편향시켜 조사함으로써 가공할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제2항에 있어서, 상기 제1 빔집속부는 다수의 렌즈 세트 중 집속에 사용할 렌즈 세트를 선택할 수 있는 리볼버인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제2항에 있어서, 제2 레이저 가공 스테이션의 빔편향부는 갈바노 스캐너를 구비하며, 제2 빔집속부는 에프-쎄타 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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펨토초 레이저로 공작물을 정밀 가공하는 레이저 가공장치로서,펨토초 레이저를 생성하는 레이저 발진기와,상기 레이저 발진기에서 발생한 펨토초 레이저 빔을 전송하는 레이저 빔전송부와,상기 빔전송부로부터 전송되는 레이저 빔을 집속하는 빔집속부와 상기 빔집속부로부터 나오는 레이저 빔의 초점 위치에 공작물을 고정하여 지지하는 공작물 지지장치를 구비하는 레이저 가공 스테이션을 포함하며,공작물은 투명한 재료로 이루어지며 상기 레이저 가공 스테이션의 빔집속부는 상기 공작물의 아랫면에 초점을 맞춰 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제2항 내지 제5항 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 공작물 지지장치는 내부에 공간이 마련되고 상부가 개방된 몸통과, 상기 개방된 상부를 공작물이 덮도록 공작물을 고정하는 공작물 고정장치를 구비하여 내부에 공작물과 몸통으로 형성되는 챔버를 형성하며, 상기 공작물 지지장치는 상기 챔버에 연결되는 진공 펌프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제6항에 있어서, 상기 공작물 지지장치는 상기 챔버와 연결되는 가스공급장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제2항 내지 제5항 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 가공되는 공작물의 상태를 확인하는 모니터링부를 더 포함하며, 상기 모니터링부는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제8항에 있어서, 상기 카메라는 동축 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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제2항 내지 제5항 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 레이저 가공 스테이션은 가공시 발생하는 잔여물을 제공하기 위한 블로우어와 흡입장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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레이저 가공장치에서 사용하기 위한 공작물 지지장치로서,내부에 공간이 마련되고 상부가 개방된 몸통과,상기 개방된 상부를 공작물이 덮도록 공작물을 고정하는 공작물 고정장치를 포함함으로서 내부에 공작물과 몸통으로 형성되는 챔버를 형성하며,상기 챔버에 연결되는 진공펌프와 가스공급장치를 더 포함하는 공작물 지지장치
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각각 빔집속부와 공작물 지지장치를 갖는 2개의 가공 스테이션을 갖는 레이저 가공장치로 펨토초 레이저를 이용하여 공작물을 가공하는 공작물 가공방법으로서, 상기 공작물을 공작물 지지장치에 장착하는 단계와, 레이저를 발진시켜 레이저 빔을 생성하고 이를 분할하여 상기 2개의 가공 스테이션에 전송하는 단계와, 상기 레이저 빔을 빔집속부를 통하여 공작물에 조사하는 단계를 포함하며, 상기 2개의 가공 스테이션 중 하나에서는 공작물을 고정하고 레이저 빔을 편향시켜 조사할 수 있고, 상기 다른 하나에서는 공작물을 이동시키며 레이저 빔을 조사할 수 있는 레이저 가공 방법
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제13항에 있어서, 상기 레이저빔을 공작물에 조사하는 단계는 상기 공작물의 아랫면에 초점이 맞도록 레이저빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 방법
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펨토초 레이저로 공작물을 정밀 가공하는 레이저 가공장치로서,펨토초 레이저를 생성하는 레이저 발진기와,상기 레이저 발진기에서 발생한 펨토초 레이저 빔을 전송하는 레이저 빔전송부와,상기 빔전송부로부터 전송되는 레이저 빔을 집속하는 빔집속부와 상기 빔집속부로부터 나오는 레이저 빔의 초점 위치에 공작물을 고정하여 지지하는 공작물 지지장치를 구비하는 레이저 가공 스테이션을 포함하며,상기 공작물 지지장치는 내부에 공간이 마련되고 상부가 개방된 몸통과, 상기 개방된 상부를 공작물이 덮도록 공작물을 고정하는 공작물 고정장치를 구비하여 내부에 공작물과 몸통으로 형성되는 챔버를 형성하며,상기 공작물 지지장치는 상기 챔버에 연결되는 진공 펌프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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펨토초 레이저로 공작물을 정밀 가공하는 레이저 가공장치로서,펨토초 레이저를 생성하는 레이저 발진기와,상기 레이저 발진기에서 발생한 펨토초 레이저 빔을 전송하는 레이저 빔전송부와,상기 빔전송부로부터 전송되는 레이저 빔을 집속하는 빔집속부와 상기 빔집속부로부터 나오는 레이저 빔의 초점 위치에 공작물을 고정하여 지지하는 공작물 지지장치를 구비하는 레이저 가공 스테이션을 포함하며,상기 레이저 가공 스테이션은 가공시 발생하는 잔여물을 제공하기 위한 블로우어와 흡입장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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