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플레이트 저면에 6자유도방식으로 위치 및 자세를 제어할 수 있는 임프린팅 모듈 복수 개를 설치하여, 콘트롤러의 제어에 의해 상기 플레이트를 하강시켜 각각의 임프린팅 모듈 저면에 형성된 패턴을 임프린팅 대상물 표면에 일정한 영역단위로 임프린팅 할 때 대상물 표면의 조건에 따라 상기 임프린팅을 수행하는 각 모듈의 위치 및 자세가 독립적으로 제어되도록 하여 몰드의 패턴이 기판의 표면에 밀접하게 성형 되게 하고, 또한 각 모듈의 임프린팅 순서를 다양하게 제어하는 것을 특징으로 하는 조합/분리형 독립구동이 가능한 복수 개의 모듈을 갖는 임프린팅 장치
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제 1항에 있어서, 상기 임프린팅 장치는, 별도의 구동장치에 의해 승하강 왕복운동하는 플레이트; 상기 플레이트의 하부에 설치되고, 6자유도방식으로 위치 및 자세가 독립적으로 제어되어 그 저면에 설치된 패턴을 임프린팅 대상물의 표면에 성형하는 모듈;을 포함하며, 여기서, 상기 모듈은 기둥형상의 몸체를 가지며, 상기 플레이트의 하부에 복수 개가 독립적으로 구동가능하게 설치되고 그 저면에 패턴이 형성된 몰드가 각각 부착되어, 콘트롤러의 제어에 의해 미세 이동하여 상기 몰드를 임프린팅 대상물의 표면에 밀착되도록 구동하는 엑츄에이터; 상기 각 엑츄에이터의 저면에 몰드를 부착고정시키는 부착수단; 외부프레임이 상기 플레이트 저면에 고정되고, 상기 외부프레임 내부에 구비된 내부프레임이 6자유도방식에 의해 위치 및 자세가 제어되도록 구성되고 이 내부프레임에 상기 엑츄에이터를 설치하여, 대상물 표면에 몰드의 패턴을 임프린팅할 때 그 임프린팅 표면의 조건에 따라 상기 엑츄에이터를 상하좌우 병진운동 및 요동운동 가능하게 보정하는 보정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 조합/분리형 독립구동이 가능한 복수 개의 모듈을 갖는 임프린팅 장치
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제 2항에 있어서, 상기 플레이트는 판상의 몸체를 갖는 상부 패널;상기 상부 패널 저면에 암,수도브테일 방식으로 끼워맞춤식 조립되는 적어도 하나 이상의 블록;상기 블록에 저면에 암,수도브테일 방식으로 끼워맞춤식 조립되고, 그 저면에 상기 보정부재를 체결고정하는 어뎁터;를 포함하며,여기서, 상기 블록 및 어뎁터는 끼워맞춤 상태에서 보울트로 체결고정되는 것을 특징으로 하는 조합/분리형 독립구동이 가능한 복수 개의 모듈을 갖는 임프린팅 장치
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제 2항에 있어서, 상기 부착수단은엑츄에이터 저면과 몰드의 부착면에 도포된 상태에서 자외선에 노출될 때 이 자외선에 반응하여 굳어지면서 몰드를 엑츄에이터에 부착시키는 감광막인 것을 특징으로 하는 조합/분리형 독립구동이 가능한 복수 개의 모듈을 갖는 임프린팅 장치
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제 2항에 있어서, 상기 보정부재는내부에 수용공간이 형성된 몸체를 갖는 외부프레임;상기 외부프레임의 수용공간에 수용되고 상하 병진운동 및 요동운동이 가능하게 설치되어, 그 저면에 상기 엑츄에이터를 고정하는 내부프레임; 및 상기 내부프레임이 전후좌우 병진운동 및 회전운동 가능하게 할 수 있도록 상기 내부프레임과 외부프레임을 연결하는 복수 개의 연결부재;를 포함하며,여기서, 상기 몰드를 임프린팅 할 때 임프린팅 대상물의 표면 조건에 따라 엑츄에이터가 설치된 내부프레임은 연결부재의 탄성에 의해 위치 및 자세가 보정되는 것을 특징으로 하는 조합/분리형 독립구동이 가능한 복수 개의 모듈을 갖는 임프린팅 장치
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