요약 |
본 발명은 화학기상응축법에 의한 탄화물이 코팅된 철(Fe) 나노분말 제조공정에 관한 것이다. 본 발명의 화학기상응축법에 의한 탄화물이 코팅된 철(Fe) 나노분말 제조공정은, 철(Fe)을 함유한 전구체(Precursor)를 기화시키는 기화단계(S1)와; 상기 기화단계(S1)에서 기화된 기화물(120)과 반응기체(140)를 열분해반응이 일어나는 반응로(220)에 동시에 주입하거나, 상기 기화물(120)을 상기 반응로(220)에서 입자(222)로 형성시킨 후 반응기체(140)를 주입하여 반응시키는 반응단계(S2)와; 상기 반응단계(S2)에서 형성된 코팅나노분말(320)을 응축시켜 회수하는 응축·회수단계(S3)를 포함하여 구성되고; 상기 전구체(Precursor)는 철펜타카보닐[Fe(CO)5], 철에톡사이드[Fe(OCH2CH3)3], 철아세테이드[(CH3CO2)2Fe] 중 어느 하나이며, 상기 반응기체(140)는 일산화탄소(CO), 메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2), 에틸렌(C2H4)과 이들의 혼합기체 중 어느 하나임을 특징으로 한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 금속 나노입자의 표면에 탄화물 코팅을 균일하고 안정적으로 할 수 있는 이점이 있다. 화학기상응축법, 전구체, 반응기체, 반응지연튜브, 코팅나노분말
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