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빔이 통과할 수 있으며 그 직경이 통과하는 빔의 파장보다 작은 개구부가 형성된 몸체와,상기 개구부를 통과한 빔이 증폭되도록 상기 개구부 근처의 몸체로부터 돌출되어 있으며 끝단이 뾰족한 미세팁을 포함하는 주사 탐침
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제1항의 주사 탐침에 있어서, 상기 주사 탐침은 몸체와 연결되는 아암을 구비하여 캔틸레버형인 주사 탐침
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제1항의 주사 탐침에 있어서, 상기 주사 탐침의 몸체는 광화이버로 이루어지는 주사 탐침
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제1항의 주사 탐침에 있어서, 상기 미세팁의 재료는 금, 은, 알루미늄 또는 카본나노튜브(CNT) 중 하나인 주사 탐침
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제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 청구항의 주사 탐침의 미세팁을 형성하는 방법으로서,탐침을 금속 코팅하는 하는 단계와,집속 이온 빔(FIB) 가공, 에칭하는 단계를 포함하는 미세팁 형성 방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 청구항의 주사 탐침의 미세팁을 형성하는 방법으로서,탐침에 니켈 코팅하는 단계와,카본나노튜브를 플라즈마 화학 증착(PECVD)으로 성장시키는 단계를 포함하는 미세팁 형성방법
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빔이 통과할 수 있으며 그 직경이 통과하는 빔의 파장보다 작은 개구부가 형성된 몸체와, 상기 개구부를 통과한 빔이 증폭되도록 상기 개구부 근처의 몸체로부터 돌출되어 있으며 끝단이 뾰족한 미세팁을 포함하는 주사 탐침을 포함하는 측정장치를 이용하여 상기 탐침의 미세팁을 시료에 근접시켜 시료를 측정하는 방법으로서,상기 탐침의 개구부를 통해 시료로 빔을 조사하고 시료로부터 반사되거나 시료를 통과한 빔을 검출하는 단계와,상기 탐침과 시료 사이의 원자간력을 측정하여 이 신호를 상기 탐침 또는 시료를 미세하게 이동시키는 미세이동장치로 보내는 단계와,상기 탐침과 시료 사이에 전압을 인가하는 단계를 포함하는 시료 측정 방법
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제7항의 시료 측정 방법에 있어서, 상기 탐침의 개구부를 통해 가공용 레이저빔을 시료에 조사하는 패터닝 단계를 더 포함하는 시료 측정 방법
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레이저빔을 시료에 조사하여 패터닝하는 방법으로서,레이저빔이 통과할 수 있으며 그 직경이 통과하는 레이저빔의 파장보다 작은 개구부가 형성된 몸체와, 상기 개구부를 통과한 레이저빔이 증폭되도록 상기 개구부 근처의 몸체로부터 돌출되어 있으며 끝단이 뾰족한 미세팁을 포함하는 주사 탐침의 상기 개구부를 통해 레이저빔을 시료로 조사하는 단계와,상기 탐침의 미세팁과 시료가 근접한 상태를 유지하며 상기 탐침 또는 시료를 상기 미세팁과 시료의 거리방향과 대체로 직각인 방향을 따라 평면이동시켜 시료에 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 레이저 패터닝 방법
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