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곡면 기층, 유리 기판 및 미리 설정된 패턴을 갖는 마스크를 준비하는 단계;상기 마스크를 상기 유리 기판의 하부에 부착하는 단계;감광액을 상기 곡면 기층의 표면에 코팅하는 단계;상기 곡면 기층을 상기 마스크에 빛의 회절이 없는 범위 이내로 근접 배치시키는 단계; 및회전 노광 장치를 이용하여 상기 곡면 기층에코팅된 감광액을 노광하는 단계;를 포함하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 곡면 기층은 원통 형상의 실린더로 이루어진 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 곡면 기층은 구형으로 이루어진 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 회전 노광 장치는 상기 곡면 기층을 중심축을 중심으로 회전시키면서 노광을 수행하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제4항에 있어서, 상기 회전 노광 장치는 상기 곡면 기층이 중심축을 중심으로 회전 시 자외선이 조사되는 면적이 일정하도록 노광을 수행하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제5항에 있어서, 상기 회전 노광 장치는 상기 곡면 기층이 중심축을 중심으로 일정한 속도로 회전시켜 노광을 수행하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 마스크로 유연성 마스크를 이용하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제7항에 있어서, 상기 유연성 마스크는 필름 마스크를 이용하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 마스크의 패턴 간격은 20㎛ 이하로 형성되는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 마스크를 상기 유리 기판의 하부에 부착하는 것은 정렬키를 이용하여 수행되는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 감광액을 상기 곡면 기층의 표면에 코팅하는 것은 상기 곡면 기층을 감광액에 침지시켜 수행되는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 감광액이 상기 곡면 기층에 코팅된 두께를 20㎛ 이하로 형성시키는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제12항에 있어서, 상기 곡면 기층에 코팅된 감광액의 두께 조절은 닥터 블레이드(doctor blade)에 의해 수행되는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 곡면 기층을 상기 마스크에 빛의 회절이 없는 범위 이내로 근접 배치시키는 것은 상기 곡면 기층의 중심축 및 상기 유리 기판 면에 모두 수직한 방향으로 이루어지는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 빛의 회절이 없는 범위는 상기 곡면 기층과 상기 마스크까지의 거리가 100㎛인 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 곡면 기층을 준비하는 단계에서는 상기 곡면 기층의 표면을 개질하는 전처리 단계를 더욱 포함하는 곡면 기층의 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 감광액을 노광하는 단계에서는 상기 감광액을 현상하는 단계를 더욱 포함하는 곡면기층의 패터닝 방법
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제1항 내지 제17항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 패터닝된 곡면 기층
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광원인 램프; 패턴이 형성된 유연성 필름이 하면에 부착된 유리 기판; 상기 램프로부터 조사된 광을 유리 기판으로 반사시키는 복수의 미러; 상기 유리 기판의 하부에 배치되고 회전 가능한 지그; 및 상기 지그에 결합되어 노광시 중심축을 중심으로 회전하며 상기 마스크에 상기 마스크에 빛의 회절이 없는 범위 이내로 근접 배치되는 곡면 기층; 을 포함하는 곡면 기층의 회전 노광 장치
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제19항에 있어서, 상기 빛의 회절이 없는 범위는 상기 곡면 기층과 상기 마스크까지의 거리가 100㎛인 곡면 기층의 회전 노광 장치
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