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곡면 기층의 노광 장치, 이를 이용한 곡면 기층의 패터닝방법 및 그방법으로 패터닝된 곡면 기층

  • 기술번호 : KST2015128381
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 곡면 기층에 패터닝하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 곡면 기층의 패터닝 방법은 곡면 기층 및 미리 설정된 패턴을 갖는 마스크를 준비하는 단계, 상기 곡면 기층을 감광액으로 코팅하는 단계, 상기 마스크를 패턴이 형성될 상기 곡면 기층의 표면에 감싸는 단계, 및 회전 노광 장치를 이용하여 상기 곡면 기층에 코팅된 감광액층을 노광하는 단계를 포함한다. 패터닝, 곡면 기층, 마스크, 회전 노광 장치
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/703(2013.01) G03F 7/703(2013.01)
출원번호/일자 1020070004581 (2007.01.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0837338-0000 (2008.06.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.16)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정대 대한민국 대전광역시 유성구
2 유종수 대한민국 대전 유성구
3 김광영 대한민국 경상남도 창원시
4 이응숙 대한민국 대전 유성구
5 최병오 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0042160-15
2 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430437-02
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.10.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2007-0064647-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0056496-93
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0232889-60
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0232887-79
8 등록결정서
Decision to grant		 2008.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0291446-11
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
곡면 기층 및 미리 설정된 패턴을 갖는 마스크를 준비하는 단계;상기 곡면 기층을 감광액으로 코팅하는 단계;상기 마스크가 접착제에 의해 상기 곡면 기층의 표면에 밀착되어 상기 곡면 기층을 감싸도록 상기 마스크를 설치하는 단계; 및회전 노광 장치를 이용하여 상기 곡면 기층에 코팅된 감광액층을 노광하는 단계;를 포함하는 곡면 기층의 패터닝 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 곡면 기층은 원통 형상의 실린더로 이루어진 곡면 기층의 패터닝 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 회전 노광 장치는 상기 곡면 기층의 중심축을 중심으로 회전시키면서 노광을 수행하는 곡면 기층의 패터닝 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 회전 노광 장치는 상기 곡면 기층이 중심축을 중심으로 회전 시 자외선이 조사되는 면적이 일정하도록 노광을 수행하는 곡면 기층의 패터닝 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 회전 노광 장치는 상기 곡면 기층이 중심축을 중심으로 일정한 속도로 회전시켜 노광을 수행하는 곡면 기층의 패터닝 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 마스크로 유연성 마스크를 이용하는 곡면 기층의 패터닝 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 유연성 마스크는 필름 마스크를 이용하는 곡면 기층의 패터닝 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 마스크에 형성된 패턴 사이의 간격은 20㎛ 이하로 형성되는 곡면 기층의 패터닝 방법
9 9
삭제
10 10
제1항에 있어서, 상기 감광액을 상기 곡면 기층의 표면에 코팅하는 것은 상기 곡면 기층을 감광액에 침지시켜 수행되는 곡면 기층의 패터닝방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 감광액이 상기 곡면 기층에 코팅된 두께를 20㎛ 이하로 형성시키는 곡면 기층의 패터닝 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 곡면 기층에 코팅된감광액의 두께 조절은 닥터 블레이드(doctor blade)에 의해 수행되는 곡면 기층의 패터닝 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 곡면 기층을 준비하는 단계에서는 상기 곡면 기층의 표면을 개질하는 전처리 단계를 더욱 포함하는 곡면 기층의 패터닝 방법
14 14
제1항에 있어서, 상기 감광액을 노광하는 단계에서는 상기 감광액을 현상하는 단계를 더욱 포함하는 곡면기층의 패터닝 방법
15 15
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 패터닝된 곡면 기층
16 16
광원인 램프; 상기 램프로부터 조사된 광을 반사시키는 복수의 미러; 상기 복수의 미러에서 반사된 광이 입사되고, 회전 가능한 지그; 상기 지그에 결합되어 노광시 중심축을 중심으로 회전되는 곡면 기층; 및 접착제에 의해 상기 곡면 기층의 표면에 밀착되어 상기 곡면 기층을 감싸도록 고정된 유연성 마스크; 를 포함하는 곡면 기층의 노광 장치
17 17
제16항에 있어서, 상기 마스크에는 전사할 패턴이 형성된 곡면 기층의 노광 장치
18 18
제17항에 있어서, 상기 마스크는 필름 마스크인 곡면 기층의 노광 장치
19 19
제18항에 있어서, 상기 필름 마스크에 형성된 패턴의 간격은 20 ㎛ 이하로 형성된 곡면 기층의 노광 장치
20 20
제16항에 있어서, 상기 지그의 회전 속도를 제어하는 제어기를 더욱 포함하는 곡면 기층의 노광 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.