| 1 |
1
잉크가 수용된 잉크공급채널과, 상기 잉크공급채널과 연통되는 분사챔버와, 상기 분사챔버의 말단부에 형성되는 노즐부로 이루어진 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드에 있어서,
상기 노즐부에 (+)전압 또는 (-)전압 인가하여 이를 통과하는 잉크가 양전하 또는 음전하로 대전되도록 함을 포함하고;
상기 노즐부의 하부에 위치하며, 상기 노즐부에서 배출되는 잉크를 전기장에 의해 응집시키는 응집전극층;
상기 응집전극층의 하부에 위치하며, 상기 노즐부에 인가된 전류의 극성과 반대되는 극성을 갖도록 전류를 인가하여 상기 잉크와의 상호간 자기력 작용에 의해 잉크가 유도 배출되도록 하는 그라운드 전극층;으로 이루어진 분사유도모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 분사유도모듈은, 상기 응집전극층과 그라운드 전극층의 사이에 적층되는 중간 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 분사유도모듈은, 상기 응집전극층의 상부와 그라운드 전극층의 하부에 적층되는 상,하부 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,
상기 중간 절연층과 외부 절연층은 에폭시 글라스인 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 5 |
5
제3항에 있어서,
상기 상부 절연층에는 상기 노즐부가 끼움 결합되는 끼움부가 구비된 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 6 |
6
제3항에 있어서,
상기 상부 절연층과 노즐부가 일체로 구성된 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,
상기 응집전극층과 그라운드 전극층은 구리 또는 알루미늄인 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,
상기 응집전극층에는 (+) 또는 (-)전압을 인가하여, 이 응집전극층의 두께방향으로 관통되게 형성된 잉크배출구의 벽면을 따라 같은 극의 전기장이 발생되게 함으로써 잉크배출구를 통과하는 잉크가 같은 극 끼리 밀어내는 척력으로 인해 잉크배출구의 중심방향으로 응집되도록 한 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,
상기 잉크공급채널은 공압발생수단에서 제공되는 공압에 의해 항상 일정한 압력이 유지되게 한 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,
상기 공압발생수단은 공압펌프인 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
| 11 |
11
제1항에 있어서, 상기 노즐부에는 양전압을 인가하여 양펄스가 형성되도록 하고, 상기 그라운드 전극층에는 음전압을 인가하여 음펄스가 형성되도록 하여, 노즐부와 그라운드 전극층 간의 전위차가 크게 되도록 한 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 잉크젯 프린터 헤드
|
