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폴리머 나노입자와, 상기 폴리머 나노입자의 용해도 계수와 5 이상의 차이가 나는 용해도 계수를 가지는 폴리머 매트릭스가 혼합된 혼합용액을, 기판 상에 적층하는 혼합용액 적층단계;
상기 혼합용액에서 용매를 제거하여, 상기 폴리머 나노입자들이 상기 폴리머 매트릭스 내에서 배열되는 나노입자 박막을 성형하는 나노입자 박막 성형단계;
상기 폴리머 매트릭스를 식각하여 상기 폴리머 나노입자를 노출시키는 노출단계;
상기 폴리머 나노입자의 용해도 계수와 0
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극성 또는 무극성 중 하나의 성질을 가지는 폴리머 나노입자와, 극성 또는 무극성 중 다른 하나의 성질을 가지는 폴리머 매트릭스가 혼합된 혼합용액을, 기판 상에 적층하는 혼합용액 적층단계;
상기 혼합용액에서 용매를 제거하여, 상기 폴리머 나노입자들이 상기 폴리머 매트릭스 내에서 배열되는 나노입자 박막을 성형하는 나노입자 박막 성형단계;
상기 폴리머 매트릭스를 식각하여 상기 폴리머 나노입자를 노출시키는 노출단계;
극성 또는 무극성 중 상기 폴리머 나노입자와 동일한 성질을 가지는 매개용매를 이용하여 노출된 폴리머 나노입자를 용해시킴으로써, 상기 나노입자 박막의 상면에 나노패턴을 형성하는 용해단계; 및
상기 나노패턴 상에 금속 물질을 적층하여 나노 임프린트용 스탬프를 형성하는 스탬프 형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 나노입자 박막은,
상기 폴리머 나노입자들이 상기 폴리머 매트릭스 내에서 이웃하게 배열되는 제1나노입자층과, 상기 제1나노입자층의 상측에 배치되며 상기 폴리머 나노입자들이 상기 폴리머 매트릭스 내에서 이웃하게 배열되는 제2나노입자층을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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4
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 폴리머 나노입자는 폴리스티렌(polystyrene) 나노입자이고,
상기 폴리머 매트릭스는 폴리비닐아세테이트(polyvinyl acetate, PVA) 매트릭스이며,
상기 매개용매는 톨루엔(toluene) 또는 클로로포름(chloroform)인 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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5
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 폴리머 나노입자의 지름은 200 nm 이상 500 nm 이하인 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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6
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 혼합용액에서, 상기 폴리머 매트릭스에 대한 상기 폴리머 나노입자의 체적비는 실질적으로 52% 이하인 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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7
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용해단계에서,
상기 폴리머 나노입자의 원활한 용해를 위해, 상기 나노입자 박막이 적층된 기판에 진동을 가하는 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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8
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용해단계와 상기 스탬프 형성단계 사이에서,
상기 나노패턴 상에 형성된 나노 임프린트용 스탬프의 이형을 용이하게 하기 위해 상기 나노패턴 상에 표면처리를 수행하는 표면처리단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법
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