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액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법

  • 기술번호 : KST2015128782
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마스크를 통해 기능성 잉크를 도포하여 기판상에 높은 종횡비를 갖는 미세패턴을 형성할 수 있고, 미세패턴 형성과정에서 기판과 마스크 사이의 미세틈으로 기능성 잉크가 침투되는 것을 방지할 수 있는 액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법에 관한 것으로서, 기판상에 패턴을 이루는 개구부가 형성된 마스크를 위치시키는 정렬단계와, 상기 개구부로 충진용액을 주입하는 충진단계와, 상기 충진용액이 상기 기판과 상기 마스크 사이에 마련된 틈으로 스며들어 액체 필름 배리어를 형성하고 상기 개구부에 잔존하는 상기 충진용액이 증발되는 배리어 형성단계와, 상기 개구부로 기능성 잉크를 도포하는 잉크도포 단계와, 도포된 상기 기능성 잉크가 경화되어 미세패턴을 형성하도록 하는 경화단계와, 상기 기판으로부터 상기 마스크를 이탈시키는 마스크 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B41M 5/025 (2006.01) B41M 1/24 (2006.01)
CPC H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01)
출원번호/일자 1020100084871 (2010.08.31)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0999882-0000 (2010.12.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20101209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.31)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신동윤 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0564960-16
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0574461-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.10.22 수리 (Accepted) 9-1-2010-0066565-90
5 등록결정서
Decision to grant		 2010.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0513383-33
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
충진용액이 기판과 상기 기판 상부에 위치하는 마스크 사이에 마련된 틈으로 스며들어 액체 필름 배리어를 형성하고, 상기 마스크에 형성되어 패턴을 이루는 개구부에 잔존하는 상기 충진용액이 증발되는 배리어 형성단계;상기 개구부로 기능성 잉크를 도포하는 잉크도포 단계;도포된 상기 기능성 잉크가 경화되어 미세패턴을 형성하도록 하는 경화단계;상기 기판으로부터 상기 마스크를 이탈시키는 마스크 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 기판 상부에 상기 마스크를 위치시키는 정렬단계;상기 개구부로 상기 충진용액을 주입하는 충진단계를 수행하고 상기 배리어 형성단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
3 3
제1항에 있어서,상기 기판상에 상기 충진용액을 도포하는 배리어액 도포단계;배리어액이 도포된 상기 기판 상부에 상기 마스크를 위치시키는 정렬단계를 수행하고 상기 배리어 형성단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
4 4
제1항에 있어서상기 충진용액의 끓는점이 상기 기능성 잉크의 경화온도보다 높은 것을 특징으로 하는 액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
5 5
제1항에 있어서,상기 충진용액의 극성이 상기 기능성 잉크와 상이하여 서로 혼입되지 않는 것을 특징으로 하는 액체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
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1 지식경제부 삼익THK(주) 신재생에너지기술개발사업 결정질 실리콘태양전지용 잉크젯 전극형성 기술적용사업