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타겟(31) 및 프로브(32)를 포함하는 초정밀 갭 센서(30)의 초기위치를 조정하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에 있어서, 고정단(20)에 고정되는 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 포함하는 프레임부(110); 상기 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113) 사이에 배치되어, 상기 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)이 사루스 운동(sarrus mechanism) 가능하도록 상호 연결시키는 사루스 링크부(130); 및 상기 하부 프레임(113)을 관통하여 상기 상부 프레임(111) 하부면에 체결되는 것으로, 상기 사루스 링크부(130)를 구동시키는 구동볼트(150)를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치
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제 1항에 있어서, 상기 상부 프레임(111)의 상면은 상기 초정밀 갭 센서(30)의 프로브(32) 하면과 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착되는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치
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제 2항에 있어서, 상기 상부 프레임(111) 상면 및 상기 프로브(32) 하면은 에폭시계 접착제를 이용하여 접착되는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치
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제 1항에 있어서, 상기 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)에는 관통공(111a)이 형성되고, 상기 관통공(111a)에 결합하는 고정볼트(24a, 24b)를 통해 상기 고정단(20)에 고정되는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치
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제 1항에 있어서, 상기 사루스 링크부(130)는, 상기 상부 프레임(111) 하부면 일측과, 상기 상부 프레임(111) 하부면 일측과 마주보는 상기 하부 프레임(113) 상부면 일측에 상하방향으로 결합되는 제1 탄성힌지부(135); 및 상기 상부 프레임(111) 하부면의 다른 일측과, 상기 상부 프레임(111) 하부면의 다른 일측과 마주보는 상기 하부 프레임(113) 상부면의 다른 일측에 상하방향으로 결합되는 제2 탄성힌지부(137)를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 이용하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법에 있어서, 초정밀 갭 센서(30)의 타겟(31) 및 프로브(32)를 밀착시킨 후, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)를 상기 프로브(32) 하면과 소정크기의 틸트 간격을 갖도록 배치하고, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 하부 프레임(113)을 고정단(20)에 고정하는 제1 단계; 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 상부 프레임(111) 상면과 상기 프로브(32) 하면을 에폭시계 접착제로 접착하는 제2 단계; 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 상기 구동볼트(150)를 회전시킴으로써, 상기 프로브(32)를 상기 타겟(31)으로부터 이격시켜 갭을 조정하는 제3 단계; 및 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 상부 프레임(111)을 고정단(20)에 고정하는 제4 단계를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법
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