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가공툴을 이용하여 가공지그 상에 장착되는 가공재에 제1홈을 가공하는 제1가공단계;상기 제1홈에 충진재를 충진하는 충진단계;상기 가공툴을 이용하여 상기 가공재에 상기 제1홈을 가로지르는 제2홈을 가공하는 제2가공단계;마이크로 구조물이 형성되도록 상기 제1홈 내에 남아있는 충진재를 제거하는 제거단계;를 포함하되,상기 충진단계는 상기 제1홈 내에 액체 상태의 충진재를 충진하는 단계와 상기 가공지그에 형성되는 냉매 삽입공 내에 냉매를 유입시킴으로써 상기 충진재를 경화하는 경화단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제1항에 있어서,상기 충진단계는 상기 가공지그를 가열하는 단계; 상기 제1홈 내에 고체 상태의 열가소성 충진재를 충진하는 단계; 가열된 상기 가공지그로부터 열을 제공받아 상기 충진재가 용융되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제4항에 있어서,상기 가공지그를 가열하는 단계는 상기 가공지그에 형성되는 가열봉 삽입공 내에 가열봉을 삽입하여 상기 가공지그를 가열하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제5항에 있어서,상기 충진재가 용융되는 단계 이후에 상기 가공지그에 형성되는 냉매 삽입공에 냉매를 유입시킴으로써 상기 용융된 충진재를 경화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제1항에 있어서,상기 제거단계는 상기 충진재가 용융하여 제거되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제7항에 있어서,상기 제거단계는 상기 가공지그 내에 형성되는 가열봉 삽입공 내에 가열봉을 삽입하여 상기 충진재를 용융시킴으로써 제거하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제1항 또는 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가공재의 용융점은 상기 충진재의 용융점보다 높은 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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제9항에 있어서,상기 제1가공단계는 상기 가공지그를 이송하여 상기 가공재를 가공하는 단계; 상기 가공지그의 이송방향과 수직인 방향을 따라서 상기 가공툴을 소정간격 이동시켜 가공위치를 변경하는 단계;를 반복하여 상기 제1홈을 복수개 가공하되,상기 제2가공단계는 상기 가공툴을 이송하여 상기 가공재를 가공하는 단계; 상기 가공툴의 이송방향과 수직인 방향을 따라서 상기 가공지그를 소정간격 이동시켜 가공위치를 변경하는 단계;를 반복하여 상기 제2홈을 복수개 가공하는 것을 특징으로 하는 절삭과 충진공정을 이용한 고종횡비 마이크로 구조물 어레이 가공방법
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마이크로 구조물 어레이를 가공하기 위한 장치에 있어서,측면에 가열봉이 삽입되는 가열봉 삽입공과 냉매가 삽입되는 냉매 삽입공이 형성되며, 상면에 가공재가 장착되기 위한 장착부가 형성되며, 소정의 방향을 따라 왕복 이송가능하도록 구성되는 가공지그;상기 가공지그의 이송방향과 수직인 방향을 따라 왕복 이송되며, 상기 가공지그에 장착되는 가공재의 상면에 접촉하여 상기 가공재를 가공하는 가공툴;을 포함하며,상기 가공재 상에 상기 가공툴이 접촉한 상태에서 상기 가공지그 또는 상기 가공툴 중 어느 하나가 직선이송됨으로써 상기 가공재 상에 직육면체 기둥 형상이 반복적으로 형성되는 마이크로 구조물 어레이를 가공하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 어레이 가공장치
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