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마스크 기판 위에 제1 금속층을 형성하는 단계,상기 마스크 기판의 아래에서 상기 제1 금속층에 레이저 빔을 조사하여 제1 개구부를 형성하여 제1 금속 패턴층을 형성하는 단계,상기 마스크 기판 및 제1 금속 패턴층 위에 제2 금속층을 형성하는 단계,상기 마스크 기판의 아래에서 상기 제2 금속층에 레이저 빔을 조사하여 제2 개구부를 형성하여 제2 금속 패턴층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부는 동일한 패턴 폭을 가지는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제5항에서,상기 제1 개구부를 형성하는 단계에서, 상기 마스크 기판과 상기 제1 금속층의 경계면에 상기 레이저 빔을 포커싱하여 상기 제1 금속층의 일부를 제거하여 상기 제1 개구부를 형성하는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제6항에서,상기 제2 개구부를 형성하는 단계에서, 상기 마스크 기판과 상기 제2 금속층의 경계면에 상기 레이저 빔을 포커싱하여 상기 제2 금속층의 일부를 제거하여 상기 제2 개구부를 형성하는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제7항에서,상기 레이저 빔을 이용하여 상기 제1 개구부에 형성된 상기 제2 금속층을 제거하는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제5항에서,프로젝션 어블레이션 시 자외선 영역의 레이저 빔이 입사되는 경우 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층 중 어느 하나는 구리, 몰리브덴, 알루미늄 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제9항에서,상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층은 서로 다른 물질로 형성하는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제9항에서,상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층은 동일한 물질로 형성하는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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제9항에서,상기 제2 금속 패턴층 위에 제3 금속층을 형성하는 단계,상기 마스크 기판의 아래에서 상기 제3 금속층에 레이저 빔을 조사하여 제3 개구부를 형성하여 제3 금속 패턴층을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 제3 개구부는 상기 제2 개구부와 동일한 패턴 폭을 가지는 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
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